株式會社村田制作所（以下簡稱本公司）研發(fā)了能支持要求達(dá)到ASIL D(1)的系統(tǒng)的6軸一體封裝、3D MEMS慣性力傳感器“SCHA600系列”（以下簡稱本產(chǎn)品），并計(jì)劃于2020年12月底開始批量生產(chǎn)。

(1) 指Automotive Safety Integrity Level（車輛安全完整性等級）。一般按A < B < C < D的順序，要求高水準(zhǔn)安全措施。

近年來汽車行業(yè)因高級駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）的高精度化，需要在只靠全球衛(wèi)星導(dǎo)航系統(tǒng)（GNSS）無法定位的隧道里、橋梁下也能精確檢測車輛位置的傳感器技術(shù)。本產(chǎn)品充分運(yùn)用本公司獨(dú)家3D MEMS技術(shù)(2)，定位精確度能達(dá)到誤差數(shù)十厘米的水準(zhǔn)，為高級駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）、自動駕駛等各系統(tǒng)的高精度化做貢獻(xiàn)。

(2) 即靜電容量型3D MEMS (3維微機(jī)電系統(tǒng))。將硅材料加工成3維結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了傳感器精度優(yōu)異、組件尺寸小、功耗低。

產(chǎn)品的特點(diǎn)

1. 為車載系統(tǒng)高性能化和提高設(shè)計(jì)自由度做貢獻(xiàn)

由獨(dú)家3DMEMS結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的偏壓穩(wěn)定性、低噪、高抗振性能

將3軸角速度和加速度一體封裝，能夠隨意設(shè)置

2. 自我診斷功能(3)

失效安全功能是本產(chǎn)品的特點(diǎn)，它運(yùn)用參考信號進(jìn)行監(jiān)控，檢測通信異常、檢驗(yàn)bit錯(cuò)誤的校驗(yàn)以及飽和、超出額定范圍等異常信號。已取得專利的本公司的自我診斷功能可以對MEMS元件內(nèi)部工作情況至整個(gè)信號電路是否正常工作進(jìn)行驗(yàn)證。

(3) 自我檢測異常進(jìn)行診斷，并通過輸出進(jìn)行通知的功能

3. 為車載系統(tǒng)的安全性做貢獻(xiàn)

本6軸慣性力傳感器符合ASIL D功能安全開發(fā)的ISO26262符合AEC-Q100(4)標(biāo)準(zhǔn)

(4) Automobile Electronics Council（汽車電子協(xié)會）規(guī)定的集成電路和IC的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)

主要技術(shù)規(guī)格

主要用途

本產(chǎn)品以環(huán)境條件嚴(yán)酷，需要更高性能傳感器的下列用途為對象。

高級駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）

自動駕駛（AD）

車道保持輔助系統(tǒng)（LKA）

航位推算法