由中國(guó)通信工業(yè)協(xié)會(huì)、深圳市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、廣州市半導(dǎo)體協(xié)會(huì)、江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、成都集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)、深圳市中新材會(huì)展有限公司舉辦的“第三屆深圳國(guó)際半導(dǎo)體展”將于12月8-10日深圳國(guó)際會(huì)展中心召開(kāi)，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司將攜帶更多產(chǎn)品亮相及演講，展位號(hào)A196，敬請(qǐng)期待！本屆展會(huì)還將邀請(qǐng)海思半導(dǎo)體、中芯國(guó)際、粵芯、華虹宏力、華天、長(zhǎng)電、國(guó)民技術(shù)等從應(yīng)用到設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、材料和設(shè)備廠商企業(yè)300多家企業(yè)參展.亦是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈或即將進(jìn)入該產(chǎn)業(yè)的專業(yè)人士觀摩洽談的最佳平臺(tái)之一。

北方華創(chuàng)近年來(lái)基于芯片制作對(duì)設(shè)備性能的需求，NAURA積極布局相關(guān)設(shè)備研發(fā)，涵蓋藍(lán)綠光與紅黃光芯片工藝，主要產(chǎn)品包括ICP刻蝕機(jī)、PECVD、PVD（AIN sputter、Metal sputter、ITO sputter）、ALD等一系列設(shè)備。

ELEDEG380A

NAURA LED ICP刻蝕設(shè)備（ELEDEG380A）在傳統(tǒng)ICP刻蝕設(shè)備的基礎(chǔ)上，對(duì)上、下電極系統(tǒng)及設(shè)備加熱控溫系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了刻蝕均勻性的有效提升，完全滿足MiniLED芯片的均勻性及邊緣利用率要求。此設(shè)備適用于MiniLED多種材料刻蝕，覆蓋藍(lán)綠、紅黃芯片全流程，包括深槽隔離刻蝕（Isolation）、電極刻蝕（Mesa）、介質(zhì)反射層刻蝕（DBR）及紅黃光刻蝕（AlGaInP），具有精準(zhǔn)的線寬控制和高速刻蝕能力，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)并具備優(yōu)異的刻蝕均勻性。設(shè)備配置了Cassette in Cassette out自動(dòng)生產(chǎn)模式，可達(dá)到更好的顆粒控制能力。

EPEE i800

NAURA LED PECVD設(shè)備（EPEE i800）采用托盤(pán)載片和多站動(dòng)態(tài)作業(yè)模式，為MiniLED芯片制造提供了優(yōu)良的PECVD工藝解決方案。NAURA通過(guò)對(duì)鍍膜方式進(jìn)行改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了更優(yōu)的片內(nèi)和片間鍍膜均勻性；通過(guò)對(duì)反應(yīng)腔上、下電極系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了更大的單機(jī)產(chǎn)能輸出。EPEE i800設(shè)備的鍍膜均勻性、顆粒控制能力以及自動(dòng)化程度明顯提升，可實(shí)現(xiàn)工廠端自動(dòng)化生產(chǎn)，完全滿足MiniLED對(duì)芯片制造的要求。

NAURA還可提供對(duì)接廠務(wù)MES系統(tǒng)或者其他廠務(wù)自動(dòng)化軟件的解決方案；全流程自動(dòng)化解決方案可幫助客戶實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程的無(wú)人化、信息化和智能化管理。

隨著LED顯示技術(shù)和產(chǎn)品的不斷創(chuàng)新，新技術(shù)的每一次超越與落地，對(duì)于行業(yè)發(fā)展來(lái)說(shuō)都具有重大意義，NAURA愿與業(yè)界同仁一起在半導(dǎo)體顯示技術(shù)領(lǐng)域銳意進(jìn)取、開(kāi)拓創(chuàng)新，共譜新篇章。
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