2020年，如果排除掉與防疫物資掛鉤的產(chǎn)業(yè)外，還能用逆勢上揚來描述的話，半導(dǎo)體市場必須榜上有名。即使在國內(nèi)疫情最為嚴(yán)重的一季度，中國仍然是全球半導(dǎo)體市場銷售額增幅最大的國家。 在美國全面挑釁的背景下，發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)更是舉國共識。 事實上，由于半導(dǎo)體市場重資產(chǎn)、成本敏感度較低、海量市場空間、國家政策支持等行業(yè)特性，吸引著越來越多的智能制造裝備廠商“躬身入局”，移動機器人也不例外。 2020年8月22日，新松機器人宣布擬募資18.03億元主要用于建設(shè)半導(dǎo)體領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備及自動化項目，用于IC真空機械手及集束型設(shè)備項目、半導(dǎo)體自動物料搬運系統(tǒng)項目、半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)項目等。 從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來看，其單機自動化早已不是問題，整體工廠的智能化、信息化才是客戶目前的主要訴求。不管是前期的晶圓制造、中期的封裝集成、還是后期的組裝包裝、運輸?shù)?，每一個環(huán)節(jié)都涉及了諸多復(fù)雜的工序，僅是打通制程中不同站點間的搬運工序，就能有效把設(shè)備稼動率提升，為客戶實現(xiàn)降本增效，同時大大降低人為錯誤發(fā)生的概率。 移動機器人進軍半導(dǎo)體市場既是大勢所趨也是挑戰(zhàn)。

真需求

首先從基礎(chǔ)需求來看，半導(dǎo)體生產(chǎn)車間潔凈等級高、布局復(fù)雜、空間狹小、設(shè)備種類繁多、大規(guī)模生產(chǎn)車間中設(shè)備集群式分布，生產(chǎn)過程離散，工藝流程復(fù)雜，訂單需求柔性，無法形成簡單有效的流水線式生產(chǎn)。

以上這些都是導(dǎo)致芯片生產(chǎn)過程中存在物料的多種類多形態(tài)、高頻次高柔性的周轉(zhuǎn)需求。

其次從智能工廠建設(shè)的角度來看，其前提是自動化與信息化的完美融合。 在過去，半導(dǎo)體行業(yè)的物流自動化作用在于保證工藝設(shè)備有事可做，維持足夠的半成品（WIP）流向下一道工序并且使WIP順利地傳送到下一區(qū)域，通常采用人工傳送和存儲WIP的運作模式。 目前，人工WIP處理已經(jīng)被AGV自動化物流系統(tǒng)取代，包括所有工藝設(shè)備之間的傳送、存儲和分發(fā)。AGV中控系統(tǒng)可以滿足MES下一道工藝對加工物料的需求。此外，可以通過AGV控制軟件對物料存儲、管理和傳送線路進行優(yōu)化。 在打通信息化方面，優(yōu)艾智合市場總監(jiān)關(guān)健表示，在廠內(nèi)物流范圍內(nèi)，只要存在一個斷點，就不能算實現(xiàn)了完整廠內(nèi)物流的自動化與信息化。如果在整個搬運過程中實現(xiàn)了機械化、自動化，打破孤島式的作業(yè)產(chǎn)線，補充所有廠內(nèi)物流數(shù)據(jù)，這對于企業(yè)徹底打通物質(zhì)流、信息流是大有裨益的。 只有實現(xiàn)了充分的信息化，才能將整個工廠鏈接成一張完整的智造“大網(wǎng)”，基于信息自動化，可以大大提高設(shè)備管理水平、進行工藝數(shù)據(jù)收集和統(tǒng)計工藝控制、保證物流控制更加順利，同時提高物料送達(dá)的準(zhǔn)確率，從而減少操作和返工現(xiàn)象。 不僅如此，信息自動化還可以改善WIP 的直觀監(jiān)控，實時調(diào)度AGV和人員，提高生產(chǎn)效率。 導(dǎo)入移動機器人是半導(dǎo)體行業(yè)提高工廠自動化與信息化的關(guān)鍵舉措。

高門檻

而對于AGV廠商而言，半導(dǎo)體市場蛋糕雖大，卻不那么容易能吃到。 仙工智能聯(lián)合創(chuàng)始人兼產(chǎn)品總監(jiān)葉楊笙表示，半導(dǎo)體行業(yè)安全性要求非常高，仙工智能推出安全型控制器，就是為了做通做透半導(dǎo)體市場。實際上半導(dǎo)體由于嚴(yán)苛的生產(chǎn)要求因此對上游設(shè)備廠商設(shè)置了一定的“準(zhǔn)入門檻”。 首先是移動機器人運行平穩(wěn)性的要求，由于要搬運晶圓等精密元件，機器人要防震、防抖動；其次是安全性要求，這是半導(dǎo)體封測廠對導(dǎo)入AGV一個非常大的考量點，工廠內(nèi)昂貴的半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)不起任何碰撞；第三則是設(shè)備的潔凈度要求，為達(dá)到客戶的潔凈度要求，仙工智能在整車整機材料使用上擯棄了橡膠、軸承采用不銹鋼、同時做了完整的防塵保護設(shè)計。 至于設(shè)備的高可靠性毫無疑問是客戶運用的首要前提，而ROI對于單臺設(shè)備以億為計算單位的半導(dǎo)體行業(yè)客戶來說，這都是小問題。 深耕半導(dǎo)體市場的優(yōu)艾智合已針對半導(dǎo)體上下游中的晶圓生產(chǎn)車間、封測車間、PCBA車間、組裝車間和自動化倉庫打造了機器人物流整體解決方案。

在具體應(yīng)用中，優(yōu)艾智合移動上下料機器人通過復(fù)合機器人實現(xiàn)半導(dǎo)體封測生產(chǎn)過程中彈夾在各個工序設(shè)備（Die bond、Wire bond）之間的轉(zhuǎn)運。機器人可進行單個彈夾在各個機臺上的上下料操作，同時可以實現(xiàn)整體托盤在烤箱、料架與機臺之間的轉(zhuǎn)運。 迦智科技則針對半導(dǎo)體行業(yè)客戶需求，設(shè)計了一款能符合實際生產(chǎn)需求的可升降的側(cè)向伸縮式插取式載具，以實現(xiàn)AGV與相關(guān)生產(chǎn)設(shè)備的高精高效無縫對接，順暢地完成生產(chǎn)線上的原材料、輔料、配料及半成品、成品運輸?；诩す釹LAM無軌導(dǎo)航技術(shù)，迦智科技AGV在行駛過程中定位精度可達(dá)±1mm/1o，動態(tài)擾動下的對接精度可達(dá)±2mm/0.2o。 在某半導(dǎo)體封測上市公司應(yīng)用案例中，斯坦德機器人使用Oasis3000UL+定制智能料架AMR，由FMS融合工廠的MES和WMS系統(tǒng)，產(chǎn)線缺料后，人工在倉儲備料后放到AMR上后，通過掃描AMR料架上的儲位碼將物料和儲位綁定。整個解決方案下來，斯坦德機器人為客戶替代了物料配送人員8人，物料配送準(zhǔn)確率提升到100%；通過中控系統(tǒng)實時管理物料位置與情況。 隨著中國半導(dǎo)體市場的日益發(fā)展，其對物流自動化、信息化的需求將j加速釋放，這時只有跨過“準(zhǔn)入門檻”的移動機器人廠商才能成為市場的“寵兒”。

原文標(biāo)題：【越疆科技 | 觀察】移動機器人進擊半導(dǎo)體市場

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