行業(yè)應(yīng)用|立儀光譜共焦位移傳感器對石墨厚度的測量
項(xiàng)目一：測量薄膜下石墨的厚度
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檢測方案：
將產(chǎn)品平置，上下各一個(gè)探頭，進(jìn)行對射測厚，通過傳感器軟件獲取產(chǎn)品的厚度值。
1、采用D15A32R02S3的傳感器。
2、總厚度依次選取圈內(nèi)位置測量，薄膜測量則選取石墨附近位置的薄膜厚度。
測試結(jié)果：
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1、位置1重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.135微米，位置2重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.053微米，位置3重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.073微米，位置4重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.175微米。
2、產(chǎn)品4個(gè)位置總厚度的平均值-薄膜厚度的平均值=4個(gè)位置石墨平均厚度
產(chǎn)品清單：
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項(xiàng)目二：測量石墨的厚度
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行業(yè)應(yīng)用|立儀光譜共焦位移傳感器對石墨厚度的測量
檢測方案：
將產(chǎn)品平置，上下各一個(gè)探頭，進(jìn)行對射測厚，通過傳感器軟件獲取產(chǎn)品的厚度值。
1、采用D15A32R02S3的傳感器。
2、石墨上隨機(jī)取4個(gè)位置測試。
測試結(jié)果：
行業(yè)應(yīng)用|立儀光譜共焦位移傳感器對石墨厚度的測量
位置1重復(fù)25次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.31微米，位置2重復(fù)25次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.168微米，位置3重復(fù)25次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.052微米，位置4重復(fù)25次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.064微米。
產(chǎn)品清單：
審核編輯 黃宇
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