9812DX作為單一完整的低頻噪聲測(cè)試系統(tǒng)，支持多種半導(dǎo)體器件類型在各種工作條件下（如200V高壓、10pA極低電流等）的高精度噪聲測(cè)試。通過(guò)低頻噪聲測(cè)試，可以幫助芯片制造廠檢測(cè)和排除工藝制造缺陷，確保芯片質(zhì)量符合預(yù)期，提高芯片穩(wěn)定性。

晶圓級(jí)噪聲測(cè)試精度和高測(cè)試帶寬，最低測(cè)試噪聲的電流精度低至10-27A2/Hz。

典型噪聲測(cè)試速度提高至一個(gè)偏置條件僅需20s、最高測(cè)試電壓提高到200V。

通過(guò)并行測(cè)試架構(gòu)解決方案以及協(xié)同F(xiàn)S-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)等方式大幅度提高測(cè)試效率和吞吐量。

用于28/14/10/7/5/3nm等各工藝節(jié)點(diǎn)的先進(jìn)工藝研發(fā)和高端集成電路設(shè)計(jì)。

內(nèi)置功能強(qiáng)大的NoiseProPlus軟件，支持1/f噪聲、RTN噪聲測(cè)試和數(shù)據(jù)分析。

產(chǎn)品亮點(diǎn)：

行業(yè)黃金標(biāo)準(zhǔn)：全球半導(dǎo)體行業(yè)低頻噪聲測(cè)試“黃金標(biāo)準(zhǔn)”系統(tǒng)

廣泛采用：已被眾多行業(yè)領(lǐng)先半導(dǎo)體公司所采用的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng)

并行測(cè)試：經(jīng)頭部客戶驗(yàn)證的高精度、高測(cè)試吞吐率并行測(cè)試能力

寬量程：晶圓級(jí)高精度和測(cè)試帶寬寬電壓、寬電流、寬阻抗測(cè)量范圍

系統(tǒng)架構(gòu)：系統(tǒng)體系架構(gòu)經(jīng)行業(yè)認(rèn)可并不斷完善兼具高精度和可靠性

覆蓋廣泛：同時(shí)覆蓋從10Ω到10MΩ的高阻抗器件和低阻抗器件測(cè)試能力

技術(shù)參數(shù)：

寬量程： 最大器件端電壓和電流 : 200V, 200mA

高精度： 最高 DC 電流精度 : 10pA、 系統(tǒng)噪聲電流精度 : <10-27A2 /Hz

測(cè)試速度：典型 1/f 噪聲測(cè)試速度可達(dá) 10 秒 /bias

抗阻范圍：阻抗匹配范圍 : 10?-10 M? Gate/Base

電阻多達(dá) 16 個(gè)選擇

Drain/Collector 電阻多達(dá) 15 個(gè)選擇

系統(tǒng)參數(shù)： 電壓放大器：0.03-10MHz, 0.65nV/Hz(@5kHz)

電流放大器：0.03-1MHz, 0.7pA/ Hz(@5kHz)

寬帶電流放大器：0.03-10MHz, 5pA/ √Hz (@5KHz)

高精度電流放大器：0.03-20KHz, 60fA/ √Hz (@5KHz)

可編程偏置濾波器 、ESD 保護(hù)

內(nèi)置 16 位 DSA

支持多臺(tái)并行測(cè)試

產(chǎn)品應(yīng)用：

先進(jìn)工藝質(zhì)量/工藝評(píng)估和品質(zhì)監(jiān)控

低頻噪聲特性測(cè)試和噪聲數(shù)據(jù)分析

半導(dǎo)體器件SPICE模型庫(kù)開發(fā)

高端集成電路設(shè)計(jì)和驗(yàn)證

審核編輯 黃宇