半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備系統(tǒng)大致包括以下兩部分：半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)。

其中，前者負(fù)責(zé)測(cè)試晶圓器件參數(shù)（如IV，CV，Vt，Ion/Ioff等），或者可靠性（如HCI，NBTI，TDDB等）測(cè)試，通常稱作半導(dǎo)體測(cè)試儀，簡(jiǎn)稱“半測(cè)儀”。

而后者是由晶圓承載臺(tái)及其配套設(shè)備，如馬達(dá)步進(jìn)驅(qū)動(dòng)，針座/針卡等構(gòu)成為晶圓測(cè)試提供測(cè)試支持的設(shè)備系統(tǒng)，通常稱作“探針臺(tái)”。探針臺(tái)根據(jù)測(cè)試自動(dòng)化程度不同，分為這樣三種分類：手動(dòng)探針臺(tái)，半自動(dòng)探針臺(tái)，全自動(dòng)探針臺(tái)。

下面介紹季豐電子的半測(cè)儀和探針臺(tái)設(shè)備。

半測(cè)儀設(shè)備介紹：

Keysight B1500：

B1500半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是一款一體化器件表征分析儀，能夠測(cè)量表征大多數(shù)電子器件、材料、半導(dǎo)體和有源/無(wú)源元器件的主要基本參數(shù)。其電壓電流的高精度和穩(wěn)定性經(jīng)過多年口碑沉積，是目前半導(dǎo)體業(yè)界標(biāo)桿式的測(cè)試設(shè)備。

概倫FS-PRO

FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓 (IV)測(cè)試、電容電壓 (CV) 測(cè)試、脈沖式 IV 測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、高速時(shí)域信號(hào)釆集以及低頻噪聲測(cè)試能力。

幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測(cè)試系統(tǒng)中完成。幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測(cè)試系統(tǒng)中完成。其全面而強(qiáng)大的參數(shù)測(cè)試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)和評(píng)估進(jìn)程。

Keysight WAT 4082F

Keysight是德科技WAT 4082是目前業(yè)界主流WAT測(cè)試機(jī)，其一貫精確和穩(wěn)定的性能有口皆碑。季豐電子和Keysight是德科技開展戰(zhàn)略合作，已引入WAT4082測(cè)試機(jī)。同時(shí)購(gòu)入Accretech AP3000e全自動(dòng)探針臺(tái)，搭配成完整WAT測(cè)試系統(tǒng)，如上圖所示?？蔀榭蛻籼峁┛煽繉I(yè)的WAT相關(guān)測(cè)試服務(wù)。

另外季豐電子也可以為客戶提供標(biāo)準(zhǔn)或定制所需全自動(dòng)各類WAT針卡的服務(wù)。

探針臺(tái)設(shè)備介紹：

半自動(dòng)探針臺(tái)Formfactor CM300

CM300探針臺(tái)是一款優(yōu)秀的晶圓測(cè)試支持平臺(tái)，可應(yīng)對(duì)極其復(fù)雜的環(huán)境帶來的測(cè)量挑戰(zhàn)，支持8寸和12寸晶圓。其可以靈活穩(wěn)定完成DC、AC 和 RF微波器件特性、WLR等測(cè)試任務(wù)。該探針臺(tái)設(shè)備可以隨意搭配B1500或概倫FS-PRO半測(cè)儀設(shè)備。

全自動(dòng)探針臺(tái)Accrotech （TSK）

AP3000e

全自動(dòng)探針臺(tái)Accrotech （TSK）AP3000e是高精度、高效率（index移動(dòng)、晶圓搬送、晶圓對(duì)齊）、低震動(dòng)、低噪音、新一代高性能探針臺(tái)。其能力足夠覆蓋大部分半導(dǎo)體器件驗(yàn)證測(cè)試項(xiàng)目。

同時(shí)，由于高低溫（-50~150°C）晶圓全自動(dòng)探針臺(tái)的自動(dòng)対針換片功能的使用，使得多片晶圓和多測(cè)試結(jié)構(gòu)的測(cè)試效率較之半自動(dòng)探針臺(tái)均有顯著提升。

特別聲明，以上測(cè)試設(shè)備所提供的測(cè)試服務(wù)均是非量產(chǎn)測(cè)試，客戶如需ATE量產(chǎn)CP/FT測(cè)試，可以安排在季豐電子的嘉善測(cè)試基地執(zhí)行。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域，深耕集成電路檢測(cè)相關(guān)的軟硬件研發(fā)及技術(shù)服務(wù)的賦能型平臺(tái)科技公司。公司業(yè)務(wù)分為四大板塊，分別為基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室、軟硬件開發(fā)、測(cè)試封裝和儀器設(shè)備，可為芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試、材料裝備等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領(lǐng)域公司提供一站式的檢測(cè)分析解決方案。

季豐電子通過國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”、國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術(shù)中心、研發(fā)機(jī)構(gòu)、公共服務(wù)平臺(tái)等企業(yè)資質(zhì)認(rèn)定，通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認(rèn)證。公司員工超1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設(shè)有子公司。