IGBT靜態(tài)參數(shù)測(cè)試儀SC5016

一、產(chǎn)品技術(shù)概述

SC5016是面向第三代半導(dǎo)體測(cè)試需求開(kāi)發(fā)的高精度自動(dòng)化測(cè)試平臺(tái)，采用專(zhuān)利型多級(jí)程控電源架構(gòu)，實(shí)現(xiàn)±5000V/1600A測(cè)試范圍內(nèi)0.05%的基本精度。設(shè)備核心采用FPGA+ARM雙處理器架構(gòu)，支持Si/SiC/GaN全材料體系功率器件的靜態(tài)參數(shù)表征，滿(mǎn)足JEDEC JESD24-5、IEC 60747-9等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試要求。

二、核心技術(shù)創(chuàng)新

智能量程切換技術(shù)：

獨(dú)創(chuàng)的12bit分段式ADC采集系統(tǒng)

自動(dòng)識(shí)別0.1μA~2kA量程范圍

小電流檔位分辨率達(dá)1nA（@±100V量程）

在線(xiàn)測(cè)試解決方案：

非破壞性測(cè)試模式（NDT）

支持在路測(cè)試阻抗補(bǔ)償算法

最大支持3mΩ線(xiàn)路阻抗補(bǔ)償

安全防護(hù)體系：

三級(jí)互鎖保護(hù)機(jī)制（機(jī)械/電氣/軟件）

瞬態(tài)過(guò)壓保護(hù)響應(yīng)時(shí)間<100ns

符合IEC 61010-1 CAT IV安全標(biāo)準(zhǔn)

三、詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

類(lèi)別參數(shù)指標(biāo)測(cè)試條件電壓測(cè)試0-±5000V±0.1%+2V電流測(cè)試0-±1600A±0.2%+5mA柵極控制±100V@20mA1mV步進(jìn)脈沖特性50-300μs可調(diào)抖動(dòng)<1μs

四、典型測(cè)試流程

二極管測(cè)試模式：

支持反向恢復(fù)電荷(Qrr)測(cè)試

可測(cè)量結(jié)溫系數(shù)(TC-VF)

軟恢復(fù)特性分析功能

功率模塊測(cè)試：

多芯片并聯(lián)參數(shù)一致性分析

自動(dòng)平衡測(cè)試功能

支持Press-pack封裝測(cè)試夾具

五、行業(yè)應(yīng)用案例

軌道交通：

牽引變流器IGBT模塊批次篩選

門(mén)極驅(qū)動(dòng)電路匹配性驗(yàn)證

新能源發(fā)電：

光伏逆變器失效分析

風(fēng)電變槳系統(tǒng)在線(xiàn)診斷

工業(yè)驅(qū)動(dòng)：

變頻器老化評(píng)估

焊機(jī)功率模塊壽命預(yù)測(cè)

六、數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)

測(cè)試報(bào)告自動(dòng)生成（支持PDF/Excel格式）

SQLite本地?cái)?shù)據(jù)庫(kù)存儲(chǔ)

可對(duì)接MES系統(tǒng)（OPC UA協(xié)議）

趨勢(shì)分析及SPC過(guò)程控制

審核編輯 黃宇