昨日（9月9日），據(jù)《重慶日?qǐng)?bào)》報(bào)道，奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目通線投產(chǎn)，重慶市委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)出席了通線投產(chǎn)活動(dòng)。

奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目總投資達(dá)35億元，用地面積約230畝，位于西部（重慶）科學(xué)城，是西部科學(xué)城重慶高新區(qū)的重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目之一，亦是重慶首個(gè)8英寸MEMS特色芯片全產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目。

▲來(lái)源：重慶西部科學(xué)城

奧松半導(dǎo)體重慶8英寸MEMS項(xiàng)目包括8英寸MEMS特色傳感器芯片量產(chǎn)線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車規(guī)級(jí)傳感器可靠性檢測(cè)中心、產(chǎn)學(xué)研科研中心及奧松半導(dǎo)體研發(fā)辦公大樓等建設(shè)項(xiàng)目。

據(jù)此前資料顯示，該MEMS芯片產(chǎn)線技術(shù)能力覆蓋CMOS+MEMS特色工藝，可全面開展表面硅、體硅以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)和量產(chǎn)；具有MEMS壓阻、壓電、硅光、磁材料、MOX、微流控等相關(guān)工藝的研發(fā)和量產(chǎn)設(shè)備，大幅提升產(chǎn)品研發(fā)的成功率，可實(shí)現(xiàn)各類MEMS半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。

據(jù)奧松半導(dǎo)體相關(guān)負(fù)責(zé)人透露，一期項(xiàng)目投產(chǎn)后，將形成每月10000片晶圓的產(chǎn)能。按照計(jì)劃，整個(gè)項(xiàng)目預(yù)計(jì)將在2026年12月實(shí)現(xiàn)達(dá)產(chǎn)。

“奧松構(gòu)建了MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈模式，實(shí)現(xiàn)傳感器從芯片研究到終端應(yīng)用的完全自主研發(fā)、自主可控、定制化及高性價(jià)比；同時(shí)，保障客戶產(chǎn)品快速落地，消除供應(yīng)鏈斷供的風(fēng)險(xiǎn)。”

▲奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目效果圖

公開資料顯示，奧松半導(dǎo)體重慶8英寸MEMS項(xiàng)目于2023年2月，獲得國(guó)家相關(guān)部委批準(zhǔn)，正式落戶西部（重慶）科學(xué)城，同年6月開工建設(shè)。

2025年1月，奧松半導(dǎo)體重慶8英寸MEMS項(xiàng)目一期項(xiàng)目FAB主廠房，建筑面積超過(guò)13萬(wàn)平方米，此后，3號(hào)FAB主廠房、4號(hào)CUB配套動(dòng)力廠房及2號(hào)研發(fā)廠房等主要建筑陸續(xù)封頂。

2025年7月，首臺(tái)8英寸生產(chǎn)線光刻機(jī)設(shè)備進(jìn)場(chǎng)，光刻機(jī)是整個(gè)芯片制造過(guò)程中最關(guān)鍵的核心設(shè)備，首臺(tái)光刻機(jī)成功搬入，標(biāo)志著項(xiàng)目全面進(jìn)入設(shè)備安裝調(diào)試階段。隨后，用于晶圓制造、封裝測(cè)試、模塊生產(chǎn)、系統(tǒng)應(yīng)用等各類工藝和輔助設(shè)備陸續(xù)進(jìn)場(chǎng)，第二臺(tái)光刻機(jī)于8月搬入。

經(jīng)過(guò)一個(gè)多月的調(diào)試，在昨天（9月9日），奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目正式通線投產(chǎn)。

從2023年6月動(dòng)工建設(shè)，到2025年9月投產(chǎn)，奧松半導(dǎo)體重慶8英寸MEMS項(xiàng)目?jī)H用了2年3個(gè)月。

國(guó)內(nèi)首家濕度傳感器企業(yè)！建成粵港澳大灣區(qū)首條6英寸MEMS產(chǎn)線！奧松電子的國(guó)產(chǎn)MEMS IDM艱難歷程

奧松電子成立于2003年9月，總部位于廣州開發(fā)區(qū)科學(xué)城，是應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器特色芯片的國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)。

奧松電子采用自建晶圓生產(chǎn)線的IDM經(jīng)營(yíng)模式，擁有集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、終端應(yīng)用于一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)能力，

奧松電子主營(yíng)傳感器產(chǎn)品種類豐富，有溫濕度傳感器、流量傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器、光學(xué)傳感器、磁傳感器、紅外傳感器、真空傳感器、水蒸氣傳感器、顆粒物傳感器、粒子探測(cè)器、各類變送器等。

目前，奧松電子創(chuàng)始人張賓為公司實(shí)控人，直接持股63.27%，為公司最大股東。

張賓出生于1980年7月，目前擔(dān)任奧松電子董事長(zhǎng)兼首席科學(xué)家等職務(wù)，正高級(jí)工程師職稱。

據(jù)SensorExpo此前專訪奧松電子創(chuàng)始人張賓內(nèi)容顯示，2003年，張賓開始濕度傳感器的研發(fā)，僅僅幾個(gè)月時(shí)間就研制成功第一款產(chǎn)品“電阻式濕度傳感器”并投入量產(chǎn)——奧松電子正式創(chuàng)立，成為國(guó)內(nèi)第一家做濕度傳感器的企業(yè)。

作為奧松電子技術(shù)帶頭人，張賓先后主持和參與國(guó)家、地方和企業(yè)自主研發(fā)項(xiàng)目 120 余項(xiàng)，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)超 150 件，廣東省名優(yōu)高新技術(shù)產(chǎn)品 19 件，參與起草國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 3 項(xiàng)。 2008年，國(guó)際上MEMS技術(shù)開始應(yīng)用在傳感器芯片領(lǐng)域，張賓看好其未來(lái)前景，決定建設(shè)一條自主的MEMS傳感器產(chǎn)線。

2010年，MEMS半導(dǎo)體智能傳感器芯片生產(chǎn)線啟動(dòng)建設(shè)，由于“無(wú)經(jīng)驗(yàn)可循、無(wú)資金可借、無(wú)人脈可用”的處境，以及來(lái)自部分股東的反對(duì)，該項(xiàng)目進(jìn)展緩慢。
2016年，奧松電子MEMS生產(chǎn)線的建設(shè)維護(hù)累計(jì)砸進(jìn)上億元，公司自有資金無(wú)法再支撐長(zhǎng)期研發(fā)，因此奧松電子在2017年6月，引入由海匯投資和藍(lán)山商裕領(lǐng)投的A輪融資。

經(jīng)過(guò)多年努力，2020年9月，奧松電子建成粵港澳大灣區(qū)首條6英寸MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線，進(jìn)入量產(chǎn)，填補(bǔ)了粵港澳大灣區(qū)在智能傳感器制造領(lǐng)域的空白，奧松電子也完全掌握從設(shè)計(jì)研發(fā)、生產(chǎn)制造、封裝測(cè)試到終端應(yīng)用的完整MEMS產(chǎn)業(yè)鏈條。

據(jù)此前規(guī)劃顯示，廣州奧松MEMS芯片產(chǎn)線分三期工程，一期制程節(jié)點(diǎn)為500 nm，可生產(chǎn)溫濕度傳感器、空氣質(zhì)量傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、差壓傳感器等，二期為250 nm，三期為180 nm。二期規(guī)劃在2021年生產(chǎn)，而三期預(yù)計(jì)在2023年生產(chǎn)，全部項(xiàng)目建成后將有4萬(wàn)片/M的投片能力。

▲奧松電子廣州研發(fā)基地
顯然，在MEMS智能傳感器需求日益增長(zhǎng)，技術(shù)要求越來(lái)越高的今天，奧松電子這條遲遲來(lái)到的6英寸芯片產(chǎn)線裝備與國(guó)際同行仍有一定差距，無(wú)法滿足各行業(yè)日益增長(zhǎng)的高端需求，因此奧松電子著力新建一條8英寸MEMS芯片產(chǎn)線——顯然這影響了此前廣州奧松MEMS芯片產(chǎn)線的部分規(guī)劃。
2021年4月, 奧松電子宣布成立珠海子公司，擬建設(shè)8英寸MEMS生產(chǎn)線，但后續(xù)無(wú)進(jìn)展消息。

直至2023年2月，奧松電子8英寸MEMS產(chǎn)線項(xiàng)目落戶西部（重慶）科學(xué)城消息公布，奧松電子的新MEMS產(chǎn)線終于落地。

可以看到，從6英寸MEMS芯片產(chǎn)線的建設(shè)到8英寸MEMS產(chǎn)線的推進(jìn)，奧松電子的國(guó)產(chǎn)MEMS IDM戰(zhàn)略在克服重重困難中前行，這也是我國(guó)早期傳感器技術(shù)研發(fā)企業(yè)艱難發(fā)展的縮影。

奧松電子之所以堅(jiān)持MEMS IDM路線，據(jù)此前南方財(cái)經(jīng)采訪奧松電子副總經(jīng)理陳新準(zhǔn)時(shí)，其表示：

“奧松電子作為集設(shè)計(jì)研發(fā)、芯片制造、封裝測(cè)試以及終端應(yīng)用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡(jiǎn)稱IDM）企業(yè)，這種運(yùn)作模式在國(guó)內(nèi)的智能傳感器領(lǐng)域非常稀少?；贗DM模式，奧松電子對(duì)客戶需求快速響應(yīng)，在短期內(nèi)完成從研發(fā)到應(yīng)用的整個(gè)流程，這是我們最核心的優(yōu)勢(shì)。國(guó)際幾大傳感器巨頭采取的都是IDM模式，所以這些公司能夠在產(chǎn)品的品類以及穩(wěn)定性方面達(dá)到優(yōu)秀水平。因此，奧松電子也選擇了同樣的運(yùn)作模式，并且我們?cè)谄髽I(yè)的發(fā)展過(guò)程中感受到，IDM模式帶來(lái)的強(qiáng)大優(yōu)勢(shì)。例如，疫情導(dǎo)致國(guó)際貿(mào)易活動(dòng)受到?jīng)_擊，IDM模式保證了公司各生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)環(huán)節(jié)安全可控、正常運(yùn)行，奧松電子未來(lái)也會(huì)繼續(xù)堅(jiān)持這條路?！?/p>

值得一提的是，奧松電子MEMS芯片產(chǎn)線除進(jìn)行IDM生產(chǎn)外，亦在2021年8月，啟動(dòng)MEMS芯片代工業(yè)務(wù)。據(jù)介紹：

新冠疫情發(fā)生以后，全球芯片供應(yīng)鏈?zhǔn)艿胶艽笥绊?，芯片交付面臨著嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)客戶在海外流片遇到了困難，紛紛呼吁奧松電子開放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)。因此，奧松電子決定釋放部分產(chǎn)能，開啟MEMS芯片代工業(yè)務(wù)。經(jīng)過(guò)一年的試運(yùn)行，已成功與多家客戶聯(lián)合開發(fā)MEMS芯片，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并通過(guò)了性能測(cè)試和可靠性驗(yàn)證，芯片性能、良率均達(dá)到設(shè)計(jì)指標(biāo)要求?；诮?0年MEMS領(lǐng)域的深入研究，奧松電子可以快速導(dǎo)入、快速驗(yàn)證、快速打通所有工藝流程，為客戶提供定制化的特殊工藝開發(fā)和一站式芯片代工解決方案。

2024年8月份，奧松電子為首批合作客戶代工研發(fā)生物醫(yī)藥傳感器芯片并成功流片，該芯片具有低噪比、低功耗、高精度、高穩(wěn)定性的特征。奧松電子利用成熟的MEMS傳感器技術(shù)，快速研發(fā)出性能優(yōu)異的MEMS芯片，幫助客戶實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的創(chuàng)新性，并同時(shí)滿足客戶對(duì)經(jīng)濟(jì)高效和性能優(yōu)異的雙重要求，增強(qiáng)企業(yè)產(chǎn)品在市場(chǎng)中的競(jìng)爭(zhēng)力，緩解了企業(yè)缺芯的燃眉之急，為國(guó)內(nèi)芯片供應(yīng)提供安全保障。
資料顯示，自成立以來(lái)，奧松電子共進(jìn)行了4輪融資，其中最值得關(guān)注的是2024年9月的D輪融資，該輪融資金額高達(dá)7億元，由重慶產(chǎn)業(yè)投資母基金與重科控股聯(lián)合領(lǐng)投，友博資本等機(jī)構(gòu)跟投。

結(jié)語(yǔ)

隨著奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目的正式投產(chǎn)，作為智能傳感器生產(chǎn)制造中的核心，有望帶動(dòng)重慶等西部地區(qū)的MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展，提升西部地區(qū)MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)實(shí)力。

近年來(lái)，在國(guó)家政策的大力引導(dǎo)下，各地方紛紛出臺(tái)多項(xiàng)MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)政策，多條MEMS芯片生產(chǎn)線已陸續(xù)建設(shè)、投產(chǎn)，我國(guó)MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)已迎來(lái)發(fā)展高潮。