冬日寒氣襲人，學(xué)員熱情如火，共聚蘇州，樂享優(yōu)課！由麥姆斯咨詢主辦，上海傳感信息科技有限公司、華強電子網(wǎng)協(xié)辦的《聲學(xué)MEMS和傳感器培訓(xùn)課程》，于2018年12月13日至12月15日在蘇州工業(yè)園區(qū)納米城圓滿收官！

2018年聲學(xué)MEMS和傳感器培訓(xùn)課程學(xué)員合影留念

近年來隨著全球智能手機出貨量增長以及智能語音市場火爆，MEMS麥克風(fēng)市場呈現(xiàn)井噴式增長。此外，MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域各大廠商之間的專利“戰(zhàn)爭”連綿不斷。為此，麥姆斯咨詢特開設(shè)《聲學(xué)MEMS和傳感器培訓(xùn)課程》，旨在提升聲學(xué)MEMS和傳感器相關(guān)企業(yè)人員的基礎(chǔ)理論及實踐應(yīng)用水平，同時，也為非專業(yè)人員提供了解聲學(xué)MEMS技術(shù)的最佳學(xué)習(xí)機會，并從MEMS麥克風(fēng)角度帶領(lǐng)學(xué)員了解企業(yè)競爭利器——專利布局及侵權(quán)訴訟。本次課程詳細講解了MEMS麥克風(fēng)、微型揚聲器和麥克風(fēng)陣列的聲學(xué)物理仿真分析，電容式MEMS麥克風(fēng)的設(shè)計、制造、封裝、測試和專利的詳細分析，壓電式聲學(xué)MEMS器件——水聽器的工作原理以及MEMS麥克風(fēng)ASIC的設(shè)計、制造、案例分析等。同時，為了啟發(fā)學(xué)員結(jié)合典型MEMS器件制造工藝的思考和拓展，特意安排了蘇州MEMS中試平臺——6英寸MEMS制造產(chǎn)線的實地參觀，以期讓每位學(xué)員都能有所收獲！懷著對知識的渴望，對自我不斷提升的期許，來自中國大陸及***地區(qū)的眾多學(xué)員齊聚蘇州納米城，與各位知名講師共同完成為期三天的專業(yè)培訓(xùn)。

培訓(xùn)現(xiàn)場組圖：專注聽課的學(xué)員們

深耕產(chǎn)業(yè)、博文多識的講師團隊，令人嘆服！12月13日上午，本次培訓(xùn)由來自Mentor Graphics MEMS及物聯(lián)網(wǎng)周邊器件負責(zé)人陳昇祐老師的講課拉開了序幕，憑借18年的半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗為大家講解聲學(xué)MEMS設(shè)計工具Tanner軟件及應(yīng)用。課程開始，陳昇祐老師即以電容式MEMS麥克風(fēng)為例，通過2D版圖到3D模型的操作引出Tanner軟件的設(shè)計全流程，突出講解了L-Edit MEMS的特點以及如何應(yīng)用L-Edit MEMS快速完成MEMS麥克風(fēng)設(shè)計等內(nèi)容。接著以可調(diào)濾波器（Tunable filter）為例，結(jié)合有限元分析工具向大家演示了機械-靜電耦合力的分析與仿真流程，以期幫助學(xué)員了解MEMS麥克風(fēng)中的靜電分析。陳昇祐老師氣質(zhì)儒雅，娓娓道來，受到了眾多學(xué)員的關(guān)注和喜愛，課程結(jié)束后紛紛向陳老師請教，陳老師不吝指教，對學(xué)員的問題耐心解答，甚至“線下一對一”輔導(dǎo)，令學(xué)員印象深刻。

Mentor Graphics MEMS及物聯(lián)網(wǎng)周邊器件負責(zé)人陳昇祐老師的授課風(fēng)采

12月13日下午，本次課程最受歡迎的COMSOL中國應(yīng)用工程師鐘振紅老師為大家?guī)砹寺晫W(xué)MEMS和傳感器有限元設(shè)計軟件COMSOL Multiphysics及其應(yīng)用的講解，該課程承襲了當(dāng)天上午課程中Mentor設(shè)計與建模，進一步講解了電容式和壓電式MEMS麥克風(fēng)模型的有限元仿真。在簡單介紹了COMSOL Multiphysics多物理場仿真平臺之后，鐘振紅老師從聲學(xué)MEMS的講解入手，層層剖析，多角度、多層次、多類型地向大家展示了各類物理場效應(yīng)。為了提升課程內(nèi)容的可操作性，此次課程還專門增加了軟件實操演練環(huán)節(jié)，力求讓每位學(xué)員都緊跟講師步伐，完成自己的仿真模型。操作過程中，鐘振紅老師一邊重點講解操作時注意事項，一邊關(guān)注學(xué)員動態(tài)，盡量兼顧學(xué)員，并與學(xué)員頻繁互動，鼓勵大家完成自己的仿真模型，成為MEMS器件仿真“高手”！鐘振紅老師詳盡透徹的講解屢屢讓學(xué)員茅塞頓開，每當(dāng)跟隨講師完整地完成一個仿真模型時，學(xué)員們都異乎尋常地興奮，同時鐘老師在操作過程中設(shè)置的故意犯錯也增加了課程的趣味性。整場課程在輕松的氛圍中完成，學(xué)員們都顯得意猶未盡，紛紛抓緊課下時間再次與老師溝通交流。

COMSOL中國應(yīng)用工程師鐘振紅老師的授課風(fēng)采

12月14日上午，蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司總經(jīng)理李剛老師為大家講解了電容式MEMS麥克風(fēng)的設(shè)計及封測。作為集成微型硅麥克風(fēng)post-CMOS集成工藝的發(fā)明者以及敏芯微電子的創(chuàng)始人，李剛老師既有豐富的理論知識，又有一線的實戰(zhàn)經(jīng)驗，此次課程他從麥克風(fēng)的發(fā)展歷程入手，逐一介紹了幾類麥克風(fēng)的更新迭代（包括碳粒式、動圈式、壓電式、靜電感應(yīng)的電容式或駐極體電容式），以圖表并茂的方式向大家展示了典型麥克風(fēng)之間的PK戰(zhàn)，優(yōu)缺點對比一目了然。其次李剛老師還結(jié)合自身經(jīng)歷及業(yè)界趣事，通過不同MEMS麥克風(fēng)主流廠商間的產(chǎn)品對比，深入講解了電容式MEMS麥克風(fēng)的工作原理、設(shè)計、封裝及測試。最后，李剛老師結(jié)合MEMS麥克風(fēng)典型應(yīng)用（如iPhone、智能音箱、耳機等）對整體課程進行了梳理，通過啟發(fā)性思維的方式引領(lǐng)大家深入探索。李剛老師幽默風(fēng)趣、平易近人的講課風(fēng)格贏得了大批學(xué)員的稱贊，其內(nèi)容講解淺顯易懂，學(xué)員們都表示受益良多！

蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司總經(jīng)理李剛老師的授課風(fēng)采

12月14日下午，由蘇州MEMS中試平臺技術(shù)總監(jiān)馬清杰老師帶來的電容式MEMS麥克風(fēng)制造工藝講解獲得了學(xué)員們的一致好評。馬清杰老師從MEMS基礎(chǔ)知識出發(fā)，通過圖文并茂的方式，結(jié)合現(xiàn)代信息技術(shù)以及MEMS在全球應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)趨勢，逐步引出MEMS電容式麥克風(fēng)的優(yōu)勢，深度解析了電容式MEMS麥克風(fēng)制造工藝流程，尤其對刻蝕工藝的講解更是著墨不少，剖析了MEMS麥克風(fēng)制造工藝過程中遇到的挑戰(zhàn)及解決方案，憑借多年從事MEMS器件研發(fā)及MEMS整合工藝研發(fā)的一線經(jīng)驗為學(xué)員在自身領(lǐng)域的發(fā)展提供了啟發(fā)與引導(dǎo)。馬清杰老師以其獨特的個人魅力贏得了全場學(xué)員的稱贊，學(xué)員們也趁此次難得的機會紛紛提問，下課后也不舍得放掉一分一秒的機會“圍攻”老師。馬清杰老師對學(xué)員們傾囊相授，結(jié)合自身MEMS器件研發(fā)及量產(chǎn)的經(jīng)驗為學(xué)員提供建議，學(xué)員們都大呼過癮！

蘇州MEMS中試平臺技術(shù)總監(jiān)馬清杰老師的授課風(fēng)采

本次課程的最后一天（12月15日）上午，首先由新加坡微電子研究所（IME）前研究員徐景輝老師為大家講解了新興聲學(xué)傳感器技術(shù)——水聽器。在新加坡微電子研究所擁有8年的豐富經(jīng)驗，多年從事基于壓電AlN（氮化鋁）平臺的聲學(xué)、振動及加速度計等工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)傳感器系統(tǒng)研發(fā)的徐景輝老師，在國際和國內(nèi)重大科研項目中擁有超20篇的論文及多項專利。徐景輝老師此次課程由淺入深，先從水聽器的發(fā)展歷程著手，結(jié)合發(fā)展過程中的標(biāo)志性事件引起學(xué)員的興趣，通過圖片展示的方式，更形象地向大家闡述了不同時代的水聽器以及不同類型的水聽器的優(yōu)缺點的對比分析。同時徐景輝老師還與大家分享了MEMS水聽器的產(chǎn)業(yè)鏈分布、設(shè)計、封裝以及測試等，并舉例水聽器在實際應(yīng)用領(lǐng)域的工作原理，為奮戰(zhàn)在一線的員工提供了參考。

新加坡微電子研究所（IME）前研究員徐景輝老師的授課風(fēng)采

當(dāng)天上午第二節(jié)主題為《MEMS麥克風(fēng)ASIC設(shè)計及制造》的課程由蘇州芯儀微電子科技有限公司總經(jīng)理朱瀟挺老師講授。朱瀟挺老師從傳感器ASIC設(shè)計原理出發(fā)，佐以公式和圖表，詳細闡述了電容式MEMS麥克風(fēng)ASIC設(shè)計中需要重點關(guān)注的參數(shù)（如靈敏度、信噪比、總諧波失真、輸出阻抗等）。課程講解中結(jié)合MEMS麥克風(fēng)典型應(yīng)用及發(fā)展趨勢，探討了智能MEMS麥克風(fēng)的實現(xiàn)。朱瀟挺老師資料準(zhǔn)備充分、課程講解細致、概念剖析精準(zhǔn)，令學(xué)員們收獲頗豐。

蘇州芯儀微電子科技有限公司總經(jīng)理朱瀟挺老師的授課風(fēng)采

12月15日下午，迎來了本次培訓(xùn)的最后一節(jié)課——《MEMS麥克風(fēng)專利分析》，由智慧芽信息科技（蘇州）有限公司知識產(chǎn)權(quán)（專利）咨詢顧問張永強老師為大家講授。在半導(dǎo)體和MEMS技術(shù)領(lǐng)域和知識產(chǎn)權(quán)領(lǐng)域有著豐富的理論和實戰(zhàn)經(jīng)驗的張永強老師，從最新的中興、蘋果與高通專利侵權(quán)案件出發(fā)，引出如今專利侵權(quán)訴訟已成為高新技術(shù)企業(yè)競爭的一種常用手段。張永強老師通過分析MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域的宏觀、中觀和微觀的專利信息情報在技術(shù)開發(fā)過程中的實際運用，佐以具體案例，結(jié)合近年來MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域的專利訴訟案件，向大家具體介紹了專利侵權(quán)的判定方法與流程。最后穿插小米、愛立信等公司的專利訴訟案件，為大家提供了專利侵權(quán)規(guī)避的方法和技巧。張永強老師授課重點突出，趣味性與實用性并行，將原本晦澀的知識講解地通俗易懂，學(xué)員們都表示獲益匪淺！

智慧芽信息科技（蘇州）有限公司知識產(chǎn)權(quán)（專利）咨詢顧問張永強老師的授課風(fēng)采

深入MEMS制造產(chǎn)線，結(jié)合應(yīng)用實踐，啟發(fā)思考！此次培訓(xùn)課程中，麥姆斯咨詢依循傳統(tǒng)，精心安排學(xué)員進入蘇州MEMS中試平臺的6英寸MEMS制造產(chǎn)線參觀，該產(chǎn)線是國內(nèi)首條專注于MEMS專業(yè)研發(fā)與代工的中試平臺，可實現(xiàn)以生產(chǎn)代工為核心，以此為基礎(chǔ)拓展包括工藝研發(fā)、無塵室租賃、人才培訓(xùn)等一系列服務(wù)。此次參觀由蘇州MEMS中試平臺技術(shù)總監(jiān)馬清杰老師帶隊，為大家詳細介紹了該條產(chǎn)線的工藝能力、生產(chǎn)制造、檢測檢驗?zāi)芰?、服?wù)模式等方面的內(nèi)容，并熱情地帶領(lǐng)學(xué)員在參觀走廊中實地了解產(chǎn)線。在整個參觀過程中，學(xué)員近距離觀察并了解MEMS制造實況，與馬老師詳細交流了實踐中遇到的問題，從學(xué)習(xí)和業(yè)務(wù)等多角度都頗有收獲。

馬清杰老師帶領(lǐng)學(xué)員參觀學(xué)習(xí)蘇州MEMS中試平臺的MEMS制造產(chǎn)線

勤學(xué)好問、全神貫注的學(xué)員，引人稱贊！整個培訓(xùn)期間，學(xué)員的虛心請教、認真筆記、踴躍提問都感動著麥姆斯咨詢的每一位工作人員，學(xué)員與講師間的交流，學(xué)員與學(xué)員間的討論也讓在一旁的工作人員心生稱贊。雖然培訓(xùn)教室外寒風(fēng)蕭瑟凜冽，但我們的培訓(xùn)課堂內(nèi)卻是學(xué)習(xí)熱情如火。

學(xué)員提問環(huán)節(jié)，互動交流

學(xué)員認真的筆記