整個(gè)工廠的無塵房間和機(jī)器數(shù)量是非常的可觀的,因?yàn)橹圃煲粋€(gè)CPU晶圓片的工藝過程是非常的復(fù)雜的。
一個(gè)Pentium 4 CPU要使用26道光刻掩膜(photolithographic mask)工序。每一個(gè)工序又需要很多的處理步驟,再加上攙雜以及金屬鍍層等,最后一個(gè)CPU制造工序就有上百道。
在這里順便給大家說一下,很多車間中需要使用紫外線照射,這是必不可少的,但是在無塵車間(clean room)中通常要使用白光,而我們剛介紹的無塵車間使用的是橙色光,這又與其他的無塵車間使用的不同,因?yàn)檫@里是晶圓加工的初步工序,而原因是 photoresist層對白光非常敏感。
安裝“lot”晶圓盒子
工作人間不能直接的接觸晶圓片,而是要放在一個(gè)叫“lot”的黑色方盒子中,每個(gè)盒子能放25張晶圓片。在Intel工廠中,lot采用的是鋁材料做金屬層,并且為黑色,晶圓片采用的銅做材料,為橙色。
評 論
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