特征
- 測(cè)量高達(dá)1018歐的電阻
- 10aA (10×10-18A)電流測(cè)量分辨率
- 小于3fA的輸入偏置電流
- 6 1/2位高精度測(cè)量模式
- 最低電流范圍的負(fù)載電壓小于20μV
- 電壓測(cè)量高達(dá)200V，輸入阻抗大于200ω
- 內(nèi)置+/-1000V電壓源
- 獨(dú)特的交變極性電壓源和測(cè)量方法，用于高電阻測(cè)量
- 四種不同器件特性測(cè)試的內(nèi)置測(cè)試序列，表面和體積電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描
- 可選的插入式掃描卡，可通過一個(gè)測(cè)試設(shè)置測(cè)試多達(dá)10個(gè)設(shè)備或材料樣品
