Keithley 6517B靜電計(jì)/吉時(shí)利6517B高阻表

半機(jī)架型吉時(shí)利Keithley 6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對(duì)于 接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測(cè)量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測(cè)量所需的準(zhǔn)確 度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡(jiǎn)化漏流測(cè)試、擊穿電壓測(cè)試 和電阻測(cè)試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測(cè)量。

Keithley 6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過(guò)電流、電阻、電壓和電荷測(cè)量滿量程：

? 電流測(cè)量范圍：10aA - 20mA

? 電壓測(cè)量范圍：1μV - 200V

? 電阻測(cè)量范圍：1Ω - 1018Ω

? 電荷測(cè)量范圍：1fC - 2μC

主要特點(diǎn)

電阻測(cè)量可達(dá)1018 Ω

電流測(cè)量范圍10aA - 20mA

最小電流量程輸入端壓降<20μV

200TΩ 輸入阻抗

<3fA 偏置電流

測(cè)試速率高達(dá)425 rdgs/s

噪聲0.75fA p-p

內(nèi)置±1kV電壓源

獨(dú)特的高電阻測(cè)量電壓反接方法

可選的插件式掃描卡

吉時(shí)利6517B型靜電計(jì)/高阻表使用變換電極法，實(shí)際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的第一級(jí)和第二級(jí)漂移。變換電極法施加一個(gè)正極性 電壓，然后在指定延遲（測(cè)量時(shí)間）后測(cè)量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測(cè)量電流。連續(xù)重復(fù)這個(gè)過(guò)程，并根據(jù)4個(gè)最新電 流測(cè)量結(jié)果的加權(quán)平均值計(jì)算出電阻。對(duì)大多數(shù)材料來(lái)說(shuō)，通過(guò)7次反轉(zhuǎn)(即 舍棄前三個(gè)讀數(shù))，這個(gè)方法通常生成可高度重復(fù)、準(zhǔn)確的電阻（或電阻 率）測(cè)量結(jié)果。例如，利用8009型測(cè)試夾具0.3%的重復(fù)度，可對(duì)1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進(jìn)行測(cè)量，在15秒測(cè)試周期內(nèi)其背景電流低于200fA。

吉時(shí)利6517B型靜電計(jì)/高阻表采用與數(shù) 字多用表類(lèi)似的簡(jiǎn)易操作，可通過(guò)前 面板，利用單一按鈕控制電阻測(cè)量等 重要功能。還可以通過(guò)內(nèi)置IEEE-488 接口實(shí)施控制，因此，可利用計(jì)算機(jī) 控制器通過(guò)總線對(duì)所有功能進(jìn)行編程。