聚焦離子雙束顯微鏡測試
型號(hào):
206
測試服務(wù)介紹:
主機(jī)臺(tái):FIB;
分辨率:5nm(30kV,1pA);
放大倍率:600x-500kx;
束流:1pA-20nA;
加速電壓:1-30kV;
電子槍:Ga液態(tài)金屬離子源(LMIS)