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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS系統(tǒng)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中有著很重要的應(yīng)用,隨著智能產(chǎn)品的推進(jìn),MEMS在智能化上也有自己的優(yōu)勢(shì),隨著海量的定位需求增加,衛(wèi)導(dǎo)離不開慣導(dǎo),
本項(xiàng)目基于VTI公司的SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創(chuàng)胎心檢測(cè)方法,研制出一種簡(jiǎn)單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒...
MEMS微差壓傳感器在智能消防領(lǐng)域的應(yīng)用
據(jù)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,近十五年來,我國(guó)平均每年有30萬起火災(zāi)發(fā)生,每年的死亡人數(shù)超過1500人,經(jīng)濟(jì)損失更是高達(dá)數(shù)十億!消防安全是國(guó)民經(jīng)濟(jì)與社會(huì)發(fā)展的重要保障...
2022-02-21 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 2956 0
近年來汽車行業(yè)因高級(jí)駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)的高精度化,需要在只靠全球衛(wèi)星導(dǎo)航系統(tǒng)(GNSS)無法定位的隧道里、橋梁下也能精確檢測(cè)車輛位置的傳感器技術(shù)。
2020-06-04 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)mems 2955 0
具有代表性的基于金屬氧化物半導(dǎo)體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應(yīng)用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領(lǐng)域的氣體檢測(cè),該類傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設(shè)的核心節(jié)...
再創(chuàng)佳績(jī)!歌爾MEMS廠商排名升至全球第六
根據(jù)Yole在報(bào)告中的預(yù)測(cè),全球MEMS市場(chǎng)將在2026年達(dá)到182億美元的規(guī)模,MEMS麥克風(fēng)、慣性傳感器和光學(xué)MEMS器件未來增長(zhǎng)趨勢(shì)明顯。
一切面向未來!英飛凌將重磅亮相深圳國(guó)際電子展暨嵌入式系統(tǒng)展
中國(guó)上海訊——9月27日,為期三天的深圳國(guó)際電子展暨嵌入式系統(tǒng)展(ELEXCON 2021)將隆重開幕。
近日,ADI推出一款三軸MEMS加速度計(jì),可用于廣泛的醫(yī)療健康和工業(yè)應(yīng)用,包括生命體征監(jiān)測(cè)、聽力輔助和運(yùn)動(dòng)計(jì)量等設(shè)備。ADXL367加速度計(jì)與上一代器件...
繼去年12月完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資之后,近日MEMS芯片與模組廠商蘇州原位芯片科技有限責(zé)任公司(以下簡(jiǎn)稱“原位芯片”)又宣布已完成由SEE Fun...
CES亮點(diǎn) 一徑科技ML-Xs首次亮相CES 追求極致的遠(yuǎn)距離感知能力
又到一年CES。 毫無疑問,每年的CES已經(jīng)成為全球消費(fèi)電子行業(yè)的重大節(jié)日。 2023年CES展上,一徑科技又一旗艦產(chǎn)品——高性能車規(guī)級(jí)長(zhǎng)距MEMS激光...
奧松電子的絕對(duì)濕度傳感器專利,使得熱敏電阻迅速感應(yīng)到空氣濕度的變化,進(jìn)而提高了其本身的響應(yīng)速度,大大增強(qiáng)了絕對(duì)濕度傳感器的靈敏度。
SiTime發(fā)布溫度補(bǔ)償MEMS振蕩器的一項(xiàng)重要新特性
“在極端低溫的環(huán)境下,航空航天和國(guó)防應(yīng)用依賴于精確而穩(wěn)定的計(jì)時(shí)功能。”SiTime營(yíng)銷執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia表示,“雖然挑戰(zhàn)是巨大的,但...
基于MEMS微橋結(jié)構(gòu)技術(shù)制造的微測(cè)輻射熱計(jì)器件
隨著微加工技術(shù)的發(fā)展,基于MEMS微橋結(jié)構(gòu)技術(shù)制造的微測(cè)輻射熱計(jì)器件,具備與半導(dǎo)體讀出電路單芯片集成并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的能力,逐漸成為非制冷紅外探測(cè)器的主...
未來10年智能傳感器怎么發(fā)展?美國(guó)發(fā)布最新MEMS路線圖
此前,美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì)(下文簡(jiǎn)稱“SIA”)和美國(guó)半導(dǎo)體研究聯(lián)盟(下文簡(jiǎn)稱“SRC”),聯(lián)合發(fā)布了未來10年(2023-2035)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)...
傳感器將各種物理信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)從而將汽車行駛的具體狀態(tài)傳送給電子控制單元來實(shí)現(xiàn)汽車控制。設(shè)計(jì)了基于 MEMS 技術(shù)和智能化信號(hào)調(diào)理的擴(kuò)散硅壓力傳感器應(yīng)...
一款新型基于MEMS光學(xué)掃描技術(shù)的自適應(yīng)遠(yuǎn)光燈系統(tǒng)
自適應(yīng)遠(yuǎn)光燈(Adaptive Driving Beam,ADB)技術(shù)是一種很有吸引力的解決方案,在這種技術(shù)方案中,汽車前照燈會(huì)根據(jù)車速和行駛條件自動(dòng)調(diào)...
聚焦MEMS技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)鏈重塑
MEMS和傳感器呈現(xiàn)多項(xiàng)功能高度集成化和組合化的趨勢(shì)。由于設(shè)計(jì)空間、成本和功耗預(yù)算日益緊縮,在同一襯底上集成多種敏感元器件、制成能夠檢測(cè)多個(gè)參量的多功能...
物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用熱浪推動(dòng) MEMS需求旺盛
消費(fèi)性微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)元件應(yīng)用商機(jī)火速蔓延。為實(shí)現(xiàn)更智慧化的情境感知功能,行動(dòng)、穿戴式電子與物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點(diǎn)等裝置制造商,正大舉內(nèi)建各種MEMS感測(cè)器,...
2014-01-06 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng)可穿戴設(shè)備 2898 0
MEMS技術(shù)的主要分類及應(yīng)用領(lǐng)域
MEMS傳感器是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理...
國(guó)內(nèi)唯一上市MEMS陀螺儀公司深度分析:打破壟斷,把握國(guó)產(chǎn)替代機(jī)遇
核心觀點(diǎn) 高性能MEMS慣性傳感器龍頭打破海外壟斷 公司成立于2012年,基于半導(dǎo)體的行業(yè)積累,獨(dú)創(chuàng)的微納結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),采納先進(jìn)的MEMS工藝,特有的封裝方...
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