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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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據(jù)麥姆斯咨詢報道,MEMS時鐘領域的市場領導者SiTime公司(納斯達克股票代碼:SITM)近日發(fā)布了溫度補償MEMS振蕩器(TCXO):SiT5008...
2021-02-20 標簽:振蕩器mems物聯(lián)網(wǎng) 2531 0
在微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝中,沉積金屬作為掩模是目前較為常用的方法。金屬掩模的制備一般采用濺射與電鍍結合的方式,在襯底上先濺射用于電鍍工藝所沉積金屬的...
“高端慣性傳感器涉及國防、軍工、工業(yè)制造等眾多國家核心與新型市場領域,自主化、國產(chǎn)化的重要性不言而喻。敏芯股份作為中國MEMS行業(yè)的‘拓荒者’,默默通過...
重慶總投資185億元,包括奧松半導體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地等10大項目在渝開工
據(jù)報道,近日,西部科學城重慶高新區(qū)舉行重點產(chǎn)業(yè)項目集中開工活動。本次開工10個重大項目,總投資185億元,含斯達半導體重慶車規(guī)級模塊生產(chǎn)基地項目、8英寸...
新創(chuàng)物聯(lián)網(wǎng)MEMS靜電開關方案
Menlo Microsystems宣布其MEMS開關在廣泛的物聯(lián)網(wǎng)(IoT)應用中取得了進展,除了GE的醫(yī)療系統(tǒng),未來還可作為功率致動器和繼電器,用于...
2018-02-11 標簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng)靜電開關 2523 0
隨著傳感器應用的領域不斷拓展,傳感器市場將持續(xù)保持高速增長,特別是可穿戴設備、汽車電子、醫(yī)療、物聯(lián)網(wǎng)等將成為MEMS傳感器的主要增長點。
MicroVision開發(fā)完成汽車遠程激光雷達A樣硬件和開發(fā)平臺
MicroVision首席執(zhí)行官Sumit Sharma表示:“2020年10月,我們制定了激光雷達產(chǎn)品積極推進的時間表,并預計今年4月完成汽車遠程激光...
中國首條車規(guī)級固態(tài)激光雷達產(chǎn)線落成
從Demo到各個Sample階段,SOP前不同的產(chǎn)品節(jié)點對激光雷達結構、硬件、軟件與測試驗證和可靠性均提出了不同階段的需求,對于車載激光雷達而言,任何新...
我們來探究一下可以提高基于MEMS的OXC系統(tǒng)的連接可靠性的技術和工程設計方法。微機電系統(tǒng)(MEMS)是一種能夠?qū)崿F(xiàn)大的規(guī)模效益、優(yōu)越的旋光性能以及降低...
2011-12-28 標簽:MEMS微機電系統(tǒng)OXC 2516 0
霍尼韋爾發(fā)布新型速率傳感器HG4934 采用微機電系統(tǒng)實現(xiàn)低成本和功耗
據(jù)麥姆斯咨詢報道,近日,霍尼韋爾(Honeywell)發(fā)布了一款新型速率傳感器HG4934,專門用于幫助小型衛(wèi)星在地球表面日益擁擠的軌道上進行導航。...
重要內(nèi)容提示: 1、蘇州敏芯微電子技術股份有限公司(簡稱:敏芯股份)擬作為有限合伙人與蘇州園豐資本管理有限公司、中新蘇州工業(yè)園區(qū)創(chuàng)業(yè)投資有限公司以及蘇州...
意法半導體與Alifax開發(fā)基于MEMS的實時PCR分子診斷技術
* 診斷測試廠商Alifax定制了生物內(nèi)容物和試劑,用于檢測與新冠肺炎大流行相關的遺傳物質(zhì)和其他病毒(和細菌)病原體。 * 意法半導體實時熒光定量PCR...
據(jù)悉,浙江芯晟微機電制造有限公司MEMS芯片制造項目總投資5.4億元,位于高新區(qū)城北園區(qū)的核心區(qū)域,占地74畝,新增建筑面積8.9萬平方米,項目一期建成...
研究人員首次利用MEMS可調(diào)諧波導光柵在實驗中成功演示了低功率光束操縱技術。
賽微計劃在北京懷柔建設6/8英寸MEMS晶圓中試生產(chǎn)線和研發(fā)平臺
MEMS屬于集成電路行業(yè)中的特色工藝。賽微電子MEMS業(yè)務經(jīng)營采用“工藝開發(fā)+代工生產(chǎn)”的模式,MEMS工藝開發(fā)業(yè)務是指根據(jù)客戶提供的芯片設計方案,以滿...
2022年8月,世界權威半導體市場研究機構Yole發(fā)布了《MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀2022》,根據(jù)其統(tǒng)計的2021年數(shù)據(jù),承2019、2020年,賽微電子全資子...
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