四、特殊氣體（所列資料以硅烷爲主）

　　沉積非晶硅薄膜所用特氣，包括本征用四氫化硅（SiH4）、攙雜用PH3&TMB、改良用CH4&H2及其它用Ar&N2。由於SiH4爲最主要的原料，所占成本最大，其它則用量不多，故本處只談硅烷供應(yīng)。

　　目前世界最大的SiH4特氣原料供應(yīng)商爲REC Group，占有世界超過八成的市場份額，其馀爲日本三井化學、法國Air Liquide及美國MEMC，目前40liter的SiH4已漲到US$92-122/kg，預(yù)期不久將會再有20%的漲幅，而且隨著愈來愈多硅基薄膜廠投産，未來長期上漲的趨勢不變。

　　由於國內(nèi)沒有廠商能夠制造高純度SiH4特氣，主要都是是從國外進口，然後再分裝販賣。雖然目前國內(nèi)各家薄膜廠的産能來看，對SiH4的需求不大，但各家都有擴産計劃，新加入的競爭者也愈來愈多，況且SiH4是LCD、半導體通用原料，産業(yè)需求量亦大，故未來難保供應(yīng)不會出現(xiàn)緊缺狀況。

　　所以，薄膜廠最好及早與特氣供應(yīng)商簽訂長約（最好是直接向制造商或中國最大代理商接洽），以免未來SiH4成本不斷上升，侵蝕利潤。

　　文章參考：3大產(chǎn)業(yè)將掀矽甲烷搶貨大戰(zhàn)，薄膜太陽能明年大產(chǎn)出 半導體、面板廠繃緊神經(jīng)

　　http://www.digitimes.com.tw/n/ar 。。. 78X21ANR2DDVX7OGUK7

　?。保㏒iH4制造商

　　１．林德氣體中國（Linde Gas）

　　http://www.lindegas.com.cn/inter 。。. docbyalias/homepage

　　中國分支：林德深圳、林德廈門、林德蘇州、林德寧波

　　最近概況：林德集團收購BOC對工業(yè)氣體產(chǎn)業(yè)的影響

　　http://info.315.com.cn/sltinfonews？id=186950&page=1

　?。玻夯諝庵袊ˋir Liquide）

　　http://www.cn.airliquide.com/

　　中國分支：http://www.cn.airliquide.com/zh/no-name-3/no-name-9.html

　　最近概況：法國液空公司（Air Liquide）收購了德國化學品公司梅塞爾·格利夏姆（Messer Griesheim）

　　http://germanyfinance.cn/ns_deta 。。. =0091：&catid=91

　?。常諝饣ぶ袊ˋir Product）

　　http://www.airproducts.com.cn/index.htm

　　中國分支：http://www.airproducts.com.cn/corporate/AP.htm

　　最近概況：

　?。矗杖R克斯中國（Praxair）

　　http://www.praxair.com.cn/index.asp

　　中國分支：http://www.praxair.com.cn/contact/index.asp

　　５．大陽日酸中國（Tn-sanso）

　　http://www.stngas.com/Article/Index.asp

　　中國分支：http://www.tn-sanso.co.jp/jp/company/asia_map.html

　?。叮毡救瘜W

　　http://www.mitsui-chem.co.jp/cn/index.htm

　　産品資料：http://www.mitsui-chem.co.jp/cn/pdf/chemcal.pdf

　　中國分支：http://www.mitsui-chem.co.jp/corporate/oversea_04.htm

　?。玻㏒iH4代理商

　?。保本┚G菱氣體科技有限公司（美國Air Gas）

　　http://www.linggas.com/info-cn.htm

　　http://www.linggas.com/specialty_cn.htm

　　産品參數(shù)：http://www.linggas.com/sih4-cn.htm

　　２．天津賽美特

　　http://www.gas-cn.com.cn/

　　産品參數(shù)：

　?。常愀厶胤N氣體（MEMC，論壇代表-硅娃）

　　http://www.hsg.com.hk/chinaweb/index.html

　　産品參數(shù)：http://www.hsg.com.hk/pdf/101-110/P103.PDF

　　最近概況：香港特殊氣體與美國MEMS電子材料聯(lián)合進軍中國市場

　　http://www.semi.org.cn/mems/news_show.aspx？id=724

　?。矗愀垩鯕猓↙inde）

　　http://www.hkoxygen.com/index_c.html

　　産品資料：http://www.hkoxygen.com/products.asp？lang=zh&id=418

　　中國分支：http://www.hkoxygen.com/businessse_c.html

　?。担?**三?；ぃˋir Product）

　　http://www.sfchem.com.tw/cht/index.htm

　　中國分支：http://www.sfchem.com.tw/cht/contact.htm

　?。叮?**亞東工業(yè)氣體（Air Liquide）

　　http://www.tw.airliquide.com/zh_TW/welcome.html

　　産品資料：http://www.tw.airliquide.com/zh_TW/no-name-12/no-name-13.html

　?。罚?**聯(lián)華氣體（Linde/BOC）

　　http://www.boclh.com.tw/ALLMAIN1.htm

　　産品參數(shù)：http://www.boclh.com.tw/ALLMAIN1.htm

　　五、鍍膜靶材（ZnO、Al）

　　靶材市場和其它原料一樣，目前爲歐、美、日少數(shù)幾家大廠寡占，目前全球靶材最大供應(yīng)商為德國HERAEUS，市占率達 60%，國內(nèi)能夠自主生産的企業(yè)屈指可數(shù)，多數(shù)爲進口。

　?。保﹪鴥?nèi)廠商（排序由北而南）

　?。保本┯醒袃|金

　　http://www.grikin.com/

　　産品資料：http://www.grikin.com/products1f.htm

　?。玻畬幉ńS電子材料

　　http://www.kfmic.com/

　　最近概況：江豐電子材料－打破靶材市場國際寡頭壟斷

　　http://www.sichinamag.com/article/html/2007-11/20071123110632.htm

　　３．***光洋應(yīng)用材料（***第一大靶材供應(yīng)商，奧地利Plansee合作伙伴）

　　http://www.solartech.com.tw/solargb/index.htm

　　産品資料：http://www.solartech.com.tw/solargb/index.htm

　?。矗?**鑫科材料（***第二大靶材供應(yīng)商）

　　http://www.e-ttmc.com.tw/inside.html

　　産品資料：http://www.e-ttmc.com.tw/inside_materials_detail.html

　?。担?**研創(chuàng)應(yīng)用材料（論壇代表：guan01cn）

　　www.yansheng.com.tw

　?。ㄗⅲ喊胁拇砩套宸辈患皞漭d，僅摘錄以上數(shù)家）

　?。玻﹪鈴S商（供比價參考用）

　?。保R利氏招遠（德國，占有中國約60%市場份額）

　　http://www.heraeus.com.cn/docc/gsjj-1.htm

　　中國分支：A-賀利氏招遠貴金屬材料

　　http://www.heraeus.com.cn/docc/gsjj.htm

　　B-賀利氏招遠（常熟）電子材料

　　http://www.heraeus.com.cn/docc/gsjj-3.htm

　　C-賀利氏招遠魯鑫電子材料

　　D-上海賀利氏工業(yè)技術(shù)材料

　　http://www.heraeus-hmts.com/chinese/start.html

　?。玻蕰r集團（奧地利）

　　http://www.plansee.com/index.htm

　　産品資料：http://www.plansee.com/coating-technology-sputtering.htm

　　中國分支：北京、上海、廣州、香港、***（以上皆只是銷售分公司，無工廠）

　　http://www.plansee.com/asia.htm

　　最近概況：濺鍍靶材大廠PLANSEE至2010年於奧地利擴廠投資將達1億歐元 充份供應(yīng)全球大尺寸TFT-LCD用靶材

　　http://www.digitimes.com.tw/n/ar 。。. I2JN8HJT8Y8737IOX7M

　　３．上海高展金屬材料（美國Gemch，論壇代表：bssmb）

　　産品資料：http://www.gemch.com/pro_list4.asp

　?。矗钲跉W萊濺射靶材（美國Oryx）

　　http://www.oryx-sz.com/

　　産品資料：http://www.oryx-sz.com/cpzx.asp

　?。担毡緰|曹

　　http://www.tosoh.com/

　　産品資料：http://www.tosoh.com/Products/tcdfilm.htm

　　http://www.tosoh.com/Products+%2 。。. nese%29/DEFAULT.htm

　　中國分支：東曹達（上海）貿(mào)易有限公司

　　http://www.polymer.cn/trade/company/companynet/compatosoh/

　?。叮毡救饘?/p>

　　http://www.mitsui-kinzoku.co.jp/project/hakumaku/

　　産品資料：http://www.mitsui-kinzoku.co.jp/project/hakumaku/04/index.html

　　中國分支：***特格股份有限公司

　　http://www.mitsui-kinzoku.co.jp/project/hakumaku/02/index.html

　　由以上的資料可知，目前硅基薄膜産業(yè)鏈的上游原料，每一項無不爲歐美日幾家大廠掌握，國內(nèi)雖有企業(yè)開始滲入，但尚需時間建立規(guī)模化的實力。由於上述五大原料之中，除FTO導電玻璃是屬於硅基薄膜電池專用原料外，馀多與半導體、LCD及晶硅電池同爲共用原料，各行業(yè)的需求量消耗量大，而且也處在穩(wěn)定或高度成長之中。

　　可以預(yù)見的是，未來這些原料的價格在龐大的需求下，當是易漲難跌，且一、二年內(nèi)很可能出現(xiàn)供應(yīng)緊缺狀況，進一步推升硅基薄膜電池成本，以及影響薄膜廠的産能開出。針對原料成本的控管及貨源的確保，國內(nèi)薄膜廠可有三種的因應(yīng)之道：

　?。保└挠脟b原料

　　這是廢話，不用多做解釋，關(guān)鍵是品質(zhì)要爲薄膜廠所能接受。目前除特氣國內(nèi)不能生産外，其馀原料皆有國內(nèi)企業(yè)投入。以目前來看，超白玻璃已可替代，靶材其次，EVA尚有待努力。而FTO導電玻璃，在中國科技量産之後，相信應(yīng)有機會完成取代，不過還需要國內(nèi)薄膜廠實際試用。

　?。玻S商聯(lián)合采購

　　國內(nèi)的薄膜廠工藝大同小異，所需原料幾乎一樣，差別在於進貨的數(shù)量，以及對於品質(zhì)的要求不一。由於目前國內(nèi)薄膜廠的産能都不大，因此難以從供應(yīng)商手獲得較優(yōu)惠的采購價格，但若將國內(nèi)所有薄膜廠的産能加起來，那麼總需求就很可觀，以08年計起碼有350MW以上。

　　天津津能：25ＭＷ

　　威海藍星： 5MW

　　源暢光電：155MW

　　蚌埠普樂：10MW

　　南通強生：75MW

　　山東東營：10MW

　　慈溪光伏：10MW

　　泉州歐德：30MW

　　深圳拓日：30MW

　　中山詮欣：10MW

　　因此，若是國內(nèi)薄膜廠間能夠聯(lián)合彼此的需求，統(tǒng)一與國內(nèi)或國外原廠或代理商談判，在相信以超過350MW的需求量，其價格應(yīng)會比單一廠商的進貨價低很多。當然，薄膜廠要全部聯(lián)合采購有其難度，但部份薄膜廠間的合作，也許會比較容易實現(xiàn)（如采用同一技術(shù)來源的廠商，如Oerlikon系、華基系、思博露系等）。

　?。常┖炗嗛L期合約

　　情形同硅料，不多解釋。

　　中游制造

　　中游制造概分兩類，一是設(shè)備制造，二是組件制造，本處只列前者，後者請參閱「各硅基薄膜設(shè)備商一覽」資料。筆者根據(jù)各硅基薄膜設(shè)備商概況一覽表，歸納硅基薄膜電池設(shè)備發(fā)展的幾項趨勢如下：

　?。保嫉乜臻g縮小化－＞減少土地、廠房成本。

　　大尺寸設(shè)備商：Oerlikon　20MW　 6，000平方米

　　AMAT　 40MW　20，000平方米

　　ULVAC　 25MW　 25，000平方米

　　XsunX　 25MW　　　　無資料

　　小尺寸設(shè)備商：NanoPV　 5MW　 2，500平方米

　　華基光電 5MW　 3，300平方米

　　北儀創(chuàng)新 5MW　 4，000平方米

　　EnergSolar 5MW　 7，900平方米

　　EPV　　　 5MW　12，000平方米

　　思博露　 5MW　24，000平方米

　　普樂　　 5MW　25，000平方米

　?。玻畬щ姴Ａё灾苹緶p少原料成本。

　　外購原料成本：165　RMB/m2（預(yù)估）

　　自制原料成本： 80　RMB/m2（預(yù)估）

　?。常M件尺寸加大化－＞提高産能。

　　大尺寸設(shè)備商：Oerlikon　20MW　1.1 x 1.3 m2

　　ULVAC 　25MW　1.1 x 1.4 m2

　　XsunX　 25MW　1.0 x 1.6 m2

　　AMAT　 40MW　2.2 x 2.6 m2

　　小尺寸設(shè)備商：NanoPV　 5MW　1.397 x 0.635m2

　　華基光電 5MW　1.245 x 0.635m2

　　北儀創(chuàng)新 5MW　1.245 x 0.635m2

　　EnergSolar 5MW　1.245 x 0.635m2

　　EPV　　　 5MW　1.245 x 0.635m2

　　思博露　 5MW　1.252 x 0.642m2

　　普樂　　 5MW　1.245 x 0.635m2

　　４．生産高度自動化－＞提高良率、增加産能；減少人員成本。

　　大尺寸設(shè)備商：Oerlikon　20MW　130人

　　ULVAC 　25MW　150人

　　AMAT　 40MW　120人

　　小尺寸設(shè)備商：NanoPV　 5MW　120人

　　華基光電 5MW　100人

　　北儀創(chuàng)新 5MW　無資料

　　EnergSolar 5MW　80人

　　EPV　　　 5MW　120人

　　思博露　 5MW　170人

　　普樂　　 5MW　110人

　?。担?guī)格標準面板化－＞減少設(shè)備、維修成本。

　?。ㄗⅲ好姘寤侵概cTFT-LCD業(yè)産相似或一致，如玻璃基板尺寸）

　　６．委托代工臺制化－＞減少設(shè)備、運輸、維修成本，就近服務(wù)客戶。

　　大尺寸設(shè)備商：ULVAC　 北儒精密

　　AMAT　　 北儒精密、帆宣科技

　　小尺寸設(shè)備商：NanoPV　 北儒精密

　　華基光電 中華聯(lián)合

　　EPV　　　北儒精密

　　基本上，要投資一條硅基薄膜電池生産線，其成本包括土地、廠房、設(shè)備、人員、原料、能耗、良率、運輸、維修、稅費等項目的總計，其中設(shè)備居於重要的關(guān)鍵，因爲其它項目的成本，通常是根據(jù)設(shè)備而決定的。

　　由於TFT-LCD面板前段程制與A-Si電池非常相似，二者的設(shè)備具有高度的通用性，所以目前市場上主要的硅基薄膜設(shè)備商，本身多半就是TFT-LCD設(shè)備商。而***目前是世界第四大半導體、第一大TFT-LCD産值地區(qū)，該地具有成熟、完成的産業(yè)供應(yīng)鏈，再加上臺商富彈性、低成本、高品質(zhì)、近市場及良好的經(jīng)營管理能力，故各大小設(shè)備商均不約而同的到***尋找加工廠。

　　換個角度來看，國內(nèi)的設(shè)備商未來若想跨入大尺寸組件市場，或進一步降低設(shè)備的制造成本，那麼在設(shè)備規(guī)格標準的采用設(shè)計上，力求與TFT-LCD産業(yè)合流，并與***TFT-LCD設(shè)備合作，將會是一個重要的發(fā)展方向。其次，與大尺寸設(shè)備商相較，國內(nèi)小尺寸設(shè)備産能小、占地大、人員使用多，於競爭上處於不利地位，故實現(xiàn)生産自動化以減少設(shè)備占地空間、人員使用，當是另一個發(fā)展重點。

　　也許有人會認爲國內(nèi)土地廣大、?？埔陨先肆Y源不虞匱乏，故土地、人員不是問題。但筆者以爲，國內(nèi)爲避免經(jīng)濟過熱，對於土地的管控措施易緊難松，企業(yè)不容易取得大面積而廉價的土地。其次，隨著新勞動合同法的實施，企業(yè)的人事成本只會進一步的增加，不會減少。最後，就是半自動生産線擴産，遠遠比不上自動化生産線容易，對於企業(yè)於産能、速度的競爭上，則是最爲不利的一點。

　　以下，筆者針對EPV技術(shù)系別，羅列相關(guān)的設(shè)備制造商，這是國內(nèi)企業(yè)有實力且有機會切入的區(qū)塊，也是國內(nèi)薄膜廠能否進一步降低成本的關(guān)鍵所在（非采用EPV之薄膜廠，另當別論）。其馀系別，在可見的二、三年內(nèi)，國內(nèi)廠商基本上是沒有參與的馀地，至多只是設(shè)備代工而已。所以，筆者無意爲AMAT、Oerlikon、ULVAC或?qū)淼腏usung打工，替其羅列相關(guān)設(shè)備制造商的資料，有意者請自行搜集。

　　注１：設(shè)備項目依照生産流程排序。

　　注２：資料收集以國內(nèi)廠商爲主、國外爲輔；收集的范圍，一是以有薄膜廠實際采用實績者爲優(yōu)先，二是有産品有明確標示爲硅基薄膜電池用者，三是TFT-LCD設(shè)備商可能跨入者（主要是臺商）。

　　注３：感謝論壇諸大牛、高手提供相關(guān)資料。

　　一、設(shè)備制造類

　　１）玻璃清洗

　?。玻┘す鈩澗€

　?。保K州德龍激光（技術(shù)來源：日本UI）

　　http://www.delphilaser.com/cn/index.asp

　　産品參數(shù)：http://www.delphilaser.com/cn/pr 。。. 4&id_parent=218

　　每臺售價：無資料

　　采用客戶：無資料

　?。玻錆h楚天激光

　　http://www.chutianlaser.com/

　　産品參數(shù)：http://www.chutianlaser.com/pro_show.asp？bookid=392

　　每臺售價：無資料

　　采用客戶：無資料

　　注：公司宣稱用532nm波長的綠激光，便能分別劃透Sno2、a-Si、Al三層薄膜 。

　　３．武漢三工光電

　　http://www.sunic.com.cn/

　　産品參數(shù)：A-SDF50B / SDF10D

　　B-SSF10B / SSF5D

　　http://www.sunic.com.cn/Article.asp？ArticleId=119

　　每臺售價：無資料

　　采用客戶：無錫尚德

　　廣州捷宏

　　深圳創(chuàng)益

　?。矗幍嘛w激光

　　http://www.delphilasersys.com/

　　産品參數(shù)：http://www.delphilasersys.com/medium2.htm

　　每臺售價：無資料

　　采用客戶：無資料

　?。担钲诖笞寮す?/p>

　　http://www.hanslaser.com

　　産品參數(shù)：A-S1407

　　http://www.hanslaser.com/content 。。. w.asp？ArticleID=147

　　每臺售價：無資料

　　采用客戶：無資料

　　６．***盟立自動化

　　http://www.mirle.com.tw/

　　産品參數(shù)：無資料

　　每臺售價：約1，000NTD（約合31萬美元）

　　采用客戶：源暢光電（消息有待進一步確認）

　　注：價格爲公司對外宣稱，不同客戶實際成交價格當依條件有別。

　?。罚?**杰蓁科技

　　http://bg007.598.com.tw/html/fro 。。. tml？Category=124085

　　産品參數(shù)：JT-532QW -SC

　　http://bg007.598.com.tw/html/fro 。。. tml？Category=124085

　　http://bg007.598.com.tw/html/ezc 。。. /JT-532QW-SC_VA.pdf

　　每臺售價：無資料

　　采用客戶：無資料

　　注：僅有532mm綠光。

　　３）薄膜沉積

　?。矗┌胁臑R射

　?。担╀X線焊接

　　１．深圳精焊達能

　　http://www.szjhdn.com.cn/

　　産品參數(shù)：A-BZD980A，半自動。

　　http://www.szjhdn.com.cn/products.asp？classID=6

　　B-JHDN-B450A，全自動。

　　産品售價：無資料

　　采用客戶：深圳創(chuàng)益、深圳拓日、福建歐德生、無錫尚德。

　?。罚訅悍庋b

　?。福?a target="_blank">電流檢測

　　９）自動輸送