說(shuō)到集成電路，可能大多數(shù)人都是“一頭霧水”，不過(guò)，在我們生活當(dāng)中可處處離不了它，計(jì)算機(jī)、互聯(lián)網(wǎng)、移動(dòng)通訊、多媒體、手機(jī)、電視、相機(jī)、汽車等各個(gè)領(lǐng)域都必不可少。在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里都只能從美日德等國(guó)進(jìn)口。不過(guò)，北京晨報(bào)記者日前從北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)了解到，截至今年11月，中芯國(guó)際北京廠使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備加工的12寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破一千萬(wàn)片次，這標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)設(shè)備在大生產(chǎn)中的充分驗(yàn)證和市場(chǎng)化，國(guó)產(chǎn)設(shè)備技術(shù)和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力邁上了一個(gè)新臺(tái)階。
北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)有關(guān)負(fù)責(zé)人表示，區(qū)域的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局為實(shí)現(xiàn)芯片制造設(shè)備國(guó)產(chǎn)化奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，目前，開(kāi)發(fā)區(qū)已形成集制造、封測(cè)、裝備、零部件及材料、設(shè)計(jì)企業(yè)在內(nèi)的完備產(chǎn)業(yè)鏈，集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模占北京市的1/2。
12寸集成電路國(guó)產(chǎn)設(shè)備是實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路芯片自主制造的基礎(chǔ)，設(shè)備要求高，系統(tǒng)復(fù)雜，相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間內(nèi)，主要由美日德等原設(shè)備供應(yīng)商供應(yīng)，國(guó)內(nèi)沒(méi)有成熟的生產(chǎn)鏈。2008年，國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)組織“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)合開(kāi)發(fā)，把目標(biāo)直接定在世界上最先進(jìn)的40納米和28納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)，并由行業(yè)的龍頭企業(yè)來(lái)牽頭。
隨著專項(xiàng)的順利實(shí)施，集成電路生產(chǎn)制造關(guān)鍵設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化并為國(guó)產(chǎn)設(shè)備在中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中的大面積應(yīng)用打開(kāi)了局面。2015年，中芯國(guó)際北京廠國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入晶圓產(chǎn)品量產(chǎn)階段，新增國(guó)產(chǎn)設(shè)備主機(jī)臺(tái)及附屬機(jī)臺(tái)數(shù)百臺(tái)，包括干法刻蝕機(jī)、物理氣相淀積設(shè)備、單片退火爐設(shè)備、單片清洗機(jī)、中束流離子注入機(jī)、化學(xué)氣相淀積設(shè)備、分片機(jī)設(shè)備等等。這些國(guó)產(chǎn)設(shè)備出色地通過(guò)了28納米-90納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)的大生產(chǎn)線驗(yàn)證，與進(jìn)口設(shè)備肩并肩滿負(fù)荷生產(chǎn)。今年11月，中芯國(guó)際北京廠國(guó)產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)12寸晶圓突破“千萬(wàn)大關(guān)”。
中芯北方副總經(jīng)理張昕介紹說(shuō)，大生產(chǎn)目標(biāo)是完全正確的，但挑戰(zhàn)也是最大的，參與企業(yè)和科研單位從開(kāi)發(fā)理念到管理方法都必須全面更新。在科研上，以往的探索式研究只需要單點(diǎn)突破，一百次嘗試有一次成功就可以宣告成功了?，F(xiàn)在要提供大生產(chǎn)技術(shù)，必須一百次都成功，而且成功的結(jié)果還必須完全一樣，發(fā)散一點(diǎn)兒都不可以。在裝備的設(shè)計(jì)上，以往都是自己在實(shí)驗(yàn)室里閉門(mén)造車，造成一個(gè)“鐵箱子”，然后搬到工廠里去，不行再搬回來(lái)改?，F(xiàn)在要預(yù)先知道生產(chǎn)的具體要求是什么，隨時(shí)改進(jìn)，共同開(kāi)發(fā)。
記者注意到，中芯國(guó)際北京廠使用的國(guó)產(chǎn)設(shè)備中，有相當(dāng)一部分都產(chǎn)自開(kāi)發(fā)區(qū)。拿與中芯國(guó)際北京廠“比鄰”的北方華創(chuàng)來(lái)說(shuō)，其已成功開(kāi)發(fā)了以刻蝕設(shè)備（ETCH）、化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD）、物理氣相沉積設(shè)備（PVD）三大類半導(dǎo)體裝備產(chǎn)品為基礎(chǔ)的20余類產(chǎn)品，成功替代國(guó)外廠商同類產(chǎn)品。
北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)投資促進(jìn)局局長(zhǎng)王延衛(wèi)介紹說(shuō)，北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)作為國(guó)內(nèi)重要的集成電路產(chǎn)業(yè)基地，已形成集制造、封測(cè)、裝備、零部件及材料、設(shè)計(jì)企業(yè)在內(nèi)的完備產(chǎn)業(yè)鏈。集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模已經(jīng)占到全市的1/2，率先在國(guó)內(nèi)建成首條12英寸集成電路生產(chǎn)線，一批代表企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)承接了系列國(guó)家重大科技專項(xiàng)任務(wù)，在關(guān)鍵裝備及材料、先進(jìn)工藝的開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國(guó)家最高水平的成果，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自主發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，也確立了北京在全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)布局中的領(lǐng)先地位。