傳感器-壓阻傳感???
壓阻式傳感器是用集成電路工藝技術(shù)，在硅片上制造出四個(gè)等值的薄膜電阻，并組成電橋電路。當(dāng)不受力作用時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)，無(wú)電壓輸出；當(dāng)受到力作用時(shí)，電橋失去平衡，輸出與應(yīng)力成正比的電壓。壓阻式傳感器的工作原理與傳統(tǒng)的半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器的工作原理一樣，都是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。
壓阻系數(shù)
半導(dǎo)體電阻的相對(duì)變化近似等于電阻率的相對(duì)變化，而電阻率的相對(duì)變化與應(yīng)力成正比，二者的比例系數(shù)定義為
固態(tài)壓阻式傳感器壓阻系數(shù)。由下式可得：
??????????????
傳感器
影響壓阻系數(shù)的因素
影響壓阻系數(shù)的因素主要是擴(kuò)散電阻的表面雜質(zhì)濃度和溫度。
固態(tài)壓阻器件
利用固體擴(kuò)散技術(shù)，將P型雜質(zhì)擴(kuò)散到一片N型硅底層上，形成一層極薄的導(dǎo)電P型層，
裝上引線接點(diǎn)后，即形成擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片。若在圓形硅膜片上擴(kuò)散出四個(gè)P型電阻，構(gòu)成惠斯登電橋的四個(gè)臂，這樣的敏感器件通常稱為固態(tài)壓阻器件。
測(cè)量電路
壓阻式傳感器的輸出信號(hào)一般較小，需要用電路進(jìn)行放大。