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氣敏傳感器的結(jié)構(gòu)及原理

2019年08月07日 11:09 沈苗 作者: 用戶評論(0

  氣敏傳感器是什么

  氣敏傳感器是用來檢測氣體濃度和成分的傳感器,它對于環(huán)境保護(hù)和安全監(jiān)督方面起著極重要的作用。氣敏傳感器是暴露在各種成分的氣體中使用的,由于檢測現(xiàn)場溫度、濕度的變化很大, 又存在大量粉塵和油霧等,所以其工作條件較惡劣,而且氣體對傳感元件的材料會產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)物,附著在元件表面,往往會使其性能變差。所以對氣敏傳感器有下列要求:能夠檢測報(bào)警氣體的允許濃度和其他標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值的氣體濃度,能長期穩(wěn)定工作,重復(fù)性好,響應(yīng)速度快,共存物質(zhì)所產(chǎn)生的影響小等。

  

  氣敏傳感器的應(yīng)用

  氣敏傳感器的應(yīng)用主要有:一氧化碳?xì)怏w的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂(R11、R12)的檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。

  它將氣體種類及其與濃度有關(guān)的信息轉(zhuǎn)換成電信號,根據(jù)這些電信號的強(qiáng)弱就可以獲得與待測氣體在環(huán)境中的存在情況有關(guān)的信息,從而可以進(jìn)行檢測、監(jiān)控、報(bào)警;還可以通過接口電路與計(jì)算機(jī)組成自動檢測、控制和報(bào)警系統(tǒng)。

  氣敏傳感器的結(jié)構(gòu)

  材料是金屬氧化物,金屬氧化物半導(dǎo)體分成塑性半導(dǎo)體(如fqo)和F型半導(dǎo)體(如pbo)。為了提高某種氣敏電阻對某些氣體成分的選擇性和靈敏度,合成這些材料是,還會摻入催化劑,如N,PL。

  氣敏傳感器的原理

  聲波器件表面的波速和頻率會隨外界環(huán)境的變化而發(fā)生漂移。氣敏傳感器就是利用這種性能在壓電晶體表面涂覆一層選擇性吸附某氣體的氣敏薄膜,當(dāng)該氣敏薄膜與待測氣體相互作用(化學(xué)作用或生物作用,或者是物理吸附),使得氣敏薄膜的膜層質(zhì)量和導(dǎo)電率發(fā)生變化時(shí),引起壓電晶體的聲表面波頻率發(fā)生漂移;氣體濃度不同,膜層質(zhì)量和導(dǎo)電率變化程度亦不同,即引起聲表面波頻率的變化也不同。通過測量聲表面波頻率的變化就可以獲得準(zhǔn)確的反應(yīng)氣體濃度的變化值。

  氣敏傳感器的特點(diǎn)

  1.由于傳感器原理是基于物理變化的,因而沒有相對運(yùn)動部件,可以做到結(jié)構(gòu)簡單,微型化;

  2.靈敏度高,動態(tài)性能好,輸出為電量;

  3.采用半導(dǎo)體為敏感材料容易實(shí)現(xiàn)傳感器集成化,智能化;

  4.功耗低,安全可靠。同時(shí),半導(dǎo)體傳感器也存在以下一些缺點(diǎn):

  5.線性范圍窄,在精度要求高的場合應(yīng)采用線性化補(bǔ)償電路;

  6.與所有半導(dǎo)體元件一樣,輸出特性易受溫度影響而漂移,所以應(yīng)采用補(bǔ)償措施;

  7.性能參數(shù)離散性大。

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( 發(fā)表人:陳翠 )

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