無偏二極管的制作方法

材料

材料有硅粉、鉻粉、鍺粉、磷、鎢絲電極、載玻片、可伐合金、鎳鉻絲、金屬銻、氬氣和氮氣等。

儀器

儀器有超凈室、DMX-220A型真空鍍膜機、顯微鏡。

制作方法

圖1為二極管外觀圖，其中31是方形載玻片，作二極管的襯板；3是鉻層；2是硅層；1是銻層。制作方法見圖2，圖中的34是鍍膜機轉(zhuǎn)軸；26是模板；32是載料圓盤；31是方形載玻片；33是彈性壓片；23是蒸鍍膜用電極。

圖1 玻璃襯板無偏二極管外觀結(jié)構(gòu)圖

鉻層3制作過程為：將鎳鉻絲電極裝在圖2中的23處，將模板26和方形載玻片31放在載料圓盤上。抽真空至5×10-3Pa，將鎳鉻絲通電至發(fā)紅，由于鉻的升華特性，載玻片上便可得到一層好的鉻膜層。?

硅層2制作過程為:將螺旋型電極裝在圖2中的23處，電極上涂硅粉，將模板26和鍍好鉻的載玻片31放在載料圓盤上。抽真空至5×10-3 Pa，再加1.5 Pa氮氣，通電將電極加熱使硅熔化，在鉻層上便形成了一層硅膜。?

銻層1制作過程為：將螺旋電極裝在圖2中的23處，將銻塊夾到螺旋電極的螺旋中，將模板26和鍍好鉻和硅的載玻片31放在載料圓盤上。抽真空至5×10-3Pa，將電極通電，便可得到鍍銻層。二極管制作結(jié)束。

圖2 無偏二極管制作方法圖