什么是濕度傳感器

濕度傳感器是指檢測外界環(huán)境濕度的傳感器，它將所測環(huán)境濕度轉換為便于處理、顯示、記錄的電(頻率)信號等。它是一類重要的化學傳感器，在倉貯、工業(yè)生產(chǎn)、過程控制、環(huán)境監(jiān)測、家用電器、氣象等方面有著廣泛的應用。濕度傳感器是由濕度敏感元件、變換元件和測量電路三部分組成。對于濕度傳感器的敏感元件，常見的結構形式有三種:電容型、電阻型和電流型，分別通過檢測電阻、電容和電流的變化來傳感被測量。

作為理想濕敏元件應滿足下列要求:

(1) 靈敏度高，感濕特性曲線的線性度好; (2) 量程寬，實用溫度范圍廣，濕度溫度系數(shù)小; (3) 濕滯小，響應時間短。 (4) 使用壽命長，長期穩(wěn)定性好，耐水性好，抗污染能力強: (5) 能在有害氣氛的惡劣環(huán)境中使用; (6) 感濕特征量應在易測范圍以內(nèi): (7) 具有互換性，制造簡單，價格低廉。

濕度傳感器是現(xiàn)代傳感技術發(fā)展方向之一。世界各國對濕度傳感器的研究非常活躍，研究重點之一是開發(fā)新型濕度敏感元件，因為新型高靈敏度和適用范圍廣的濕度敏感元件是實現(xiàn)濕度傳感器技術新突破的前提。而敏感元件的性能主要取決于兩個重要因素，即構成元件的材料和制備元件的加工技術，因此應用新技術、新材料是研究開發(fā)新型濕度敏感元件的重要手段，也是設立本課題的著眼點所在。濕度敏感元件的性能除了由其功能材料決定以外，還與其加工工藝有關。將現(xiàn)代先進制造技術引入傳感器技術，例如水熱腐蝕制備納米薄膜技術、鈍化技術等，能制作出質地均勻、性能穩(wěn)定、可靠性高、體積小、重量輕的敏感元件。近幾年 ，以納米多孔硅為感濕材料的濕度傳感器開始在國際上受到關注，這是因為它初步顯示出了一些優(yōu)異的性能。