什么是濕敏器件

濕度敏感元件是基于其功能材料能與濕度有關(guān)的物理效應(yīng)或化學(xué)反應(yīng)的基礎(chǔ)上制造的。它具有可將濕度物理量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的功能。濕度敏感元件，同其他敏感元件一樣，具有能夠反映元件性能的特性參數(shù)。這些參數(shù)主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應(yīng)時(shí)間、濕滯回差、感濕特征量一相對(duì)濕度特性曲線等。

1938年，美國(guó)Dummore首次制成以氯化鏗和PVA混合物為感濕物的電阻型濕敏元件。1976-1978年間，日本Nita等人開發(fā)了MgCr204-TiO2系陶瓷濕敏材料，初步解決其穩(wěn)定性問(wèn)題，應(yīng)用于自動(dòng)微波爐。80年代后，濕度傳感器的研究主要集中在感濕機(jī)理方面，以及應(yīng)用新材料，新工藝，提高傳感器的感濕特性和穩(wěn)定性上。1983年，Seiyama等人根據(jù)導(dǎo)電性質(zhì)，把陶瓷型濕敏元件分為質(zhì)子型和電子型兩大類。日本東芝公司Y.Yo komizo等人首先開發(fā)了作為濕敏陶瓷的ZnCr2O4-LiZnVO4,并用XRD及電鏡研究了它們的微觀結(jié)構(gòu)。進(jìn)入90年代，濕敏材料濕敏元件的研究更是蓬勃發(fā)展。國(guó)內(nèi)的研究始于上世紀(jì)60年代初期，最先是1963年中國(guó)醫(yī)學(xué)科學(xué)院衛(wèi)生研究聽研制出柱狀LiCl探頭，之后數(shù)十種新型濕敏元件和傳感器被陸續(xù)研制出來(lái)。初期主要為半導(dǎo)體陶瓷類濕度傳感器，直到70年代末80年代初才引起普遍重視。并從1980年開始研制高分子濕度傳感器。90年代，半導(dǎo)體陶瓷與有機(jī)高分子濕敏材料并重，開展了高可靠、高穩(wěn)定的實(shí)用性材料及之相關(guān)的各類機(jī)理探索與研究。

有機(jī)高分子聚合物濕敏元件通常具有感濕靈敏度高、線性度好、響應(yīng)時(shí)間短、易小型化等優(yōu)點(diǎn)，但是穩(wěn)定性低、耐濕性差、抗干擾能力弱。半導(dǎo)體陶瓷濕敏元件通常具有靈敏度高、穩(wěn)定性高、耐濕性好、抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，但是響應(yīng)速率慢、需要加熱清洗，不能用于易燃易瀑環(huán)境，也不能實(shí)現(xiàn)濕度的連續(xù)測(cè)量。當(dāng)前，作為濕敏元件感濕體的絕大多數(shù)材料為半導(dǎo)體陶瓷和高分子聚合物，根據(jù)不同需要，用其所長(zhǎng)。