中圖儀器文章

• 精密幾何測(cè)量技術(shù)在電子芯片制造中的重要性2025-02-28 14:23

  

  精密幾何測(cè)量技術(shù)在電子芯片制造中具有極其重要的地位，主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：1、確保芯片性能-晶體管性能優(yōu)化：在芯片中，晶體管的尺寸和結(jié)構(gòu)對(duì)其性能至關(guān)重要。通過精密幾何測(cè)量技術(shù)，能夠精確測(cè)量晶體管的柵極長(zhǎng)度、寬度、氧化層厚度等幾何參數(shù)。例如，在7nm制程中，柵極氧化層厚度每減少0.1nm，漏電流可能呈指數(shù)級(jí)增加。精確測(cè)量這些參數(shù)可確保晶體管性能穩(wěn)定，如實(shí)現(xiàn)低

  半導(dǎo)體晶圓 測(cè)量 電子芯片 粗糙度 774瀏覽量

• 激光跟蹤儀的檢測(cè)功能與應(yīng)用實(shí)例2025-02-24 09:48

  

  激光跟蹤儀的檢測(cè)功能及應(yīng)用實(shí)例如下：1、檢測(cè)功能-三維坐標(biāo)測(cè)量：能精確測(cè)量目標(biāo)點(diǎn)的三維坐標(biāo)，確定物體在空間中的位置和姿態(tài)，為后續(xù)的尺寸測(cè)量、形位公差檢測(cè)等提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)。-尺寸測(cè)量：可測(cè)量物體的長(zhǎng)度、寬度、高度、直徑等尺寸參數(shù)，通過測(cè)量物體上多個(gè)特征點(diǎn)的坐標(biāo)，計(jì)算出相應(yīng)的尺寸值，檢測(cè)物體尺寸是否符合設(shè)計(jì)要求。-形位公差檢測(cè)：能檢測(cè)直線度、平面度、圓度、圓柱度、

  檢測(cè) 激光測(cè)量 激光跟蹤儀 949瀏覽量

• SEM是掃描電鏡嗎？2025-02-24 09:46

  

  SEM是掃描電鏡，英文全稱為ScanningElectronMicroscope。以下是關(guān)于掃描電鏡的一些基本信息：1、工作原理：掃描電鏡是一種利用電子束掃描樣品表面，通過檢測(cè)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的各種信號(hào)來獲取樣品表面微觀結(jié)構(gòu)信息的電子顯微鏡。電子槍發(fā)射出的電子束，經(jīng)過電磁透鏡聚焦和加速后，形成一束高能量的細(xì)電子束，掃描線圈控制電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃

  SEM 掃描電鏡 電子束 1187瀏覽量

• 掃描電鏡能測(cè)定什么元素？2025-02-20 11:40

  

  掃描電鏡本身主要用于觀察樣品的微觀形貌，但與能譜儀（EDS）或波譜儀（WDS）等設(shè)備聯(lián)用后，可用于測(cè)定多種元素，具體如下：能譜儀（EDS）可測(cè)定的元素-輕元素：一般能測(cè)定原子序數(shù)大于等于4的元素，如鈹（Be）、硼（B）、碳（C）、氮（N）、氧（O）等。這些輕元素在許多材料中都廣泛存在，例如碳元素在各類有機(jī)材料、碳納米材料中是主要組成元素；氧元素在金屬氧化物、

  SEM 掃描電鏡 測(cè)量 2504瀏覽量

• 掃描電鏡SEM是什么？2025-02-20 11:38

  

  掃描電鏡SEM（ScanningElectronMicroscope）是一種用于觀察和分析樣品微觀結(jié)構(gòu)和表面形貌的大型精密分析儀器，以下從其構(gòu)造、工作過程、應(yīng)用等方面進(jìn)行具體介紹：一、基本構(gòu)造-電子光學(xué)系統(tǒng)：由電子槍、電磁透鏡等組成，用于產(chǎn)生并會(huì)聚電子束，使電子束具有足夠的能量和強(qiáng)度，以轟擊樣品表面。電子槍發(fā)射出高能電子束，電磁透鏡則對(duì)電子束進(jìn)行聚焦和調(diào)節(jié)，

  SEM 分析儀器 掃描電鏡 2264瀏覽量

• 影響激光跟蹤儀的精度因素有哪些？2025-02-20 11:35

  

  影響激光跟蹤儀精度的因素主要有以下幾個(gè)方面：一、儀器自身因素-激光發(fā)射系統(tǒng)-激光束發(fā)散角：發(fā)散角小的激光束更集中，傳播中擴(kuò)散慢，反射光信號(hào)強(qiáng)，測(cè)距精度高；發(fā)散角過大，信號(hào)易變?nèi)?，影響精度?激光器穩(wěn)定性：激光器的強(qiáng)度和頻率穩(wěn)定度會(huì)影響測(cè)量結(jié)果，不穩(wěn)定會(huì)使測(cè)量值波動(dòng)。-角度測(cè)量系統(tǒng)-角度編碼器精度：角度編碼器用于測(cè)量激光束的水平和垂直角度，其精度決定了目標(biāo)點(diǎn)角

  儀器 激光測(cè)量 激光跟蹤儀 1255瀏覽量

• 閃測(cè)儀和2.5次元的區(qū)別是什么2025-02-17 16:02

  

  閃測(cè)儀和2.5次元影像測(cè)量?jī)x有以下區(qū)別：1、測(cè)量原理-閃測(cè)儀：運(yùn)用新型的圖像影像測(cè)量技術(shù)，通過大視野大景深、高數(shù)值孔徑、低畸變雙遠(yuǎn)心鏡頭，將被測(cè)物體的影像輪廓縮小后傳遞到高像素相機(jī)上做數(shù)字化處理，再由后臺(tái)繪圖測(cè)量軟件按照編程指令，快速抓取產(chǎn)品輪廓，與相機(jī)像素點(diǎn)形成的標(biāo)尺比對(duì)后計(jì)算出產(chǎn)品尺寸。-2.5次元影像測(cè)量?jī)x：主要依賴于光學(xué)影像技術(shù)結(jié)合測(cè)針進(jìn)行接觸式測(cè)量

  影像測(cè)量?jī)x 測(cè)量?jī)x 1273瀏覽量

• 桌面式掃描電鏡是什么？2025-02-12 14:47

  

  桌面式掃描電鏡是掃描電子顯微鏡的一種類型，它在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、功能特點(diǎn)等方面都有自身獨(dú)特之處，以下從其定義、原理、特點(diǎn)、應(yīng)用場(chǎng)景等方面進(jìn)行具體介紹：1、定義與基本原理-定義：桌面式掃描電鏡是一種小型化、緊湊設(shè)計(jì)的掃描電子顯微鏡，通?？梢苑胖迷谄胀▽?shí)驗(yàn)室的桌面上使用，為用戶提供了一種相對(duì)便捷、經(jīng)濟(jì)的微觀結(jié)構(gòu)觀察和分析工具。-原理：與傳統(tǒng)掃描電鏡類似，桌面式掃描電鏡也

  掃描電鏡 電子顯微鏡 電子束 909瀏覽量

• 材料的哪些性質(zhì)會(huì)影響掃描電鏡下的成像效果？2025-02-12 14:45

  

  材料的物理和化學(xué)等諸多性質(zhì)都會(huì)影響掃描電鏡下的成像效果，以下是具體介紹：1、物理性質(zhì)（1）導(dǎo)電性：-對(duì)于導(dǎo)電性良好的材料，如金屬，電子束轟擊材料表面產(chǎn)生的電荷能夠迅速傳導(dǎo)散逸，使電子束穩(wěn)定地與材料相互作用，從而獲得清晰、穩(wěn)定的圖像。-而導(dǎo)電性差的材料，如陶瓷、高分子材料等，電子束照射后會(huì)在表面積累電荷，產(chǎn)生電荷積累效應(yīng)，導(dǎo)致圖像出現(xiàn)畸變、模糊，甚至無法正常成

  掃描電鏡 測(cè)量材料 電子束 862瀏覽量

• 掃描電鏡有哪些作用？2025-02-12 14:42

  

  掃描電鏡作為一種用于微觀結(jié)構(gòu)分析的重要儀器，在材料科學(xué)、生命科學(xué)、地質(zhì)科學(xué)、電子信息等多個(gè)領(lǐng)域都有重要作用。它具有以下顯著特征：1.高分辨率成像：能夠清晰呈現(xiàn)樣品表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)，分辨率可達(dá)納米級(jí)別，比如場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡分辨率甚至能達(dá)到亞納米級(jí)，可讓科研人員觀察到材料微觀世界的細(xì)節(jié)，如材料晶體的晶格結(jié)構(gòu)、生物細(xì)胞的表面紋理等。2.景深大：相比光學(xué)顯微鏡，掃描電鏡

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