中圖儀器文章

• 白光干涉儀可以測曲面粗糙度嗎？2023-05-19 15:28

  

  白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化，能實(shí)現(xiàn)表面輪廓的三維重建并

  干涉儀 白光 1202瀏覽量

• 光學(xué)輪廓儀測量原理2023-05-18 13:33

  

  光學(xué)輪廓儀（白光干涉儀）是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋

  光學(xué) 光學(xué)測量 測量 1860瀏覽量

• 測量輪廓度用什么儀器測量2023-05-18 10:27

  

  中圖儀器SJ5700系列輪廓測量儀是測量各種機(jī)械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。該儀器工作臺采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動垂直道軌，移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長；測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計(jì)量室使用。SJ5700系列輪廓測量儀一次測量可同時評定粗糙度及輪廓參數(shù)，顯示Ra參數(shù)和Pt參數(shù)。1.表面粗糙度評定：R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)等多參數(shù)評定

  儀器 測量 3236瀏覽量

• 白光干涉儀的原理和測量方法2023-05-15 11:16

  

  白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。SuperViewW1白光干涉儀白光干涉儀掃描原理在利用白光干涉測量表面三維形貌的過程中，對于被測表面上

  干涉儀 測量 白光干涉儀 5339瀏覽量

• 三坐標(biāo)測量儀的作用2023-05-08 10:18

  

  三坐標(biāo)測量儀是一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)（x,y,z）及各項(xiàng)功能量測的儀器。作用三坐標(biāo)測量儀能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測，也可以對軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量。應(yīng)用汽車制造領(lǐng)域應(yīng)用

  三坐標(biāo)測量機(jī) 探測器 測量儀 2903瀏覽量

• 共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用2023-05-04 16:57

  

  半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片，然后再分割成各個單元，最后再進(jìn)行封裝和焊接，因此對晶圓切割槽尺寸進(jìn)行精準(zhǔn)控制和測量，是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。VT6000系列共聚焦顯微鏡是中圖儀器傾力推出的一款顯微檢測設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝，能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。VT6000系列共聚

  半導(dǎo)體 顯微鏡 1232瀏覽量

• 共聚焦顯微鏡3D成像更清晰，精準(zhǔn)測量晶圓激光切割槽，助力半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)2023-04-27 17:36

  

  VT6000共聚焦顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝，能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。清晰的成像系統(tǒng)能細(xì)致觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。

  半導(dǎo)體 工業(yè)顯微鏡 顯微鏡 輪廓測量儀 1551瀏覽量

• 航空發(fā)動機(jī)螺紋怎么測量？SJ5780輪廓掃描測量儀全自動在線檢測2023-04-21 11:11

  

  航空發(fā)動機(jī)是一種高度復(fù)雜的精密熱力機(jī)械。作為飛機(jī)飛行的動力，高性能航空發(fā)動機(jī)追求的是在有限的自身重量和工作空間，以及惡劣的工作條件下，達(dá)到長期穩(wěn)定的服役性能，所以它的設(shè)計(jì)、材料與制造技術(shù)的進(jìn)步起著關(guān)鍵性的作用。在航空發(fā)動機(jī)上，存在較多的通過螺紋連接方式連接的部件，所以作為發(fā)動機(jī)零部件之間的連接，對高強(qiáng)度連接螺紋的加工精度和表面質(zhì)量要求很高。中圖SJ5780在

  檢測 測量儀 1598瀏覽量

• 有哪些測量精密微納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)3D成像檢測儀？2023-04-21 11:08

  

  3D成像技術(shù)實(shí)現(xiàn)了二維到三維的升級。智能化制造下，具有3D成像功能的機(jī)器視覺系統(tǒng)可以更快，更準(zhǔn)確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場的組件。其中表面形貌的3D測量，包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量，是微納結(jié)構(gòu)測量最為基礎(chǔ)和重要的項(xiàng)目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運(yùn)用非接觸式測量技術(shù)的3D光學(xué)檢測儀器，大多是基于光學(xué)方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干

  3D成像 光學(xué)測量 檢測儀 測量 2671瀏覽量

• 納米級測量用的有哪些儀器？2023-04-20 11:03

  

  白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡同為微納米級表面光學(xué)分析儀器，都具有非接觸式、高速度測量、高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，適用范圍廣，可測多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)。SuperViewW1白光干涉儀VT6000共聚焦顯微鏡白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品，尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測，追求檢測數(shù)值的準(zhǔn)確；（SuperViewW1白光干

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