濕敏元件分類(lèi):
濕敏元件主要分為二大類(lèi):水分子親和力型濕敏元件和非水分子親和力型濕敏元件。利用水分子有較大的偶極矩,易于附著并滲透入固體表面的特性制成的濕敏元件稱(chēng)為水分子親和力型濕敏元件。例如,利用水分子附著或浸入某些物質(zhì)后,其電氣性能(電阻值、介電常數(shù)等)發(fā)生變化的特性可制成電阻式濕敏元件、電容式濕敏元件;利用水分子附著后引起材料長(zhǎng)度變化,可制成尺寸變化式濕敏元件,如毛發(fā)濕度計(jì)。金屬氧化物是離子型結(jié)合物質(zhì),有較強(qiáng)的吸水性能,不僅有物理吸附,而且有化學(xué)吸附,可制成金屬氧化物濕敏元件。這類(lèi)元件在應(yīng)用時(shí)附著或浸入被測(cè)的水蒸氣分子,與材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成氫氧化物,或一經(jīng)浸入就有一部分殘留在元件上而難以全部脫出,使重復(fù)使用時(shí)元件的特性不穩(wěn)定,測(cè)量時(shí)有較大的滯后誤差和較慢的反應(yīng)速度。目前應(yīng)用較多的均屬于這類(lèi)濕敏元件。另一類(lèi)非親和力型濕敏元件利用其與水分子接觸產(chǎn)生的物理效應(yīng)來(lái)測(cè)量濕度。例如,利用熱力學(xué)方法測(cè)量的熱敏電阻式濕度傳感器,利用水蒸氣能吸收某波長(zhǎng)段的紅外線的特性制成的紅外線吸收式濕度傳感器等。圖1是濕敏元件的分類(lèi)。