PECVD原理
2010年07月18日 11:29 www.brongaenegriffin.com 作者:本站 用戶評(píng)論(0)
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PECVD原理
PECVD作用:在硅片表面鍍上一層深藍(lán)色的氮化硅膜,可以充分吸收太陽(yáng)光,降低反射,并且氮化硅膜有鈍化的作用,保護(hù)電池片不受污染。
PECVD原理:利用硅烷(SiH4)與氨氣(NH3)在等離子體中反應(yīng),生成Si3N4沉積到硅片表面。
干法刻蝕化學(xué)方程式:
PECVD效果:
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