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伯東企業(yè)(上海)有限公司

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伯東企業(yè)(上海)有限公司文章

  • 美國KRi 離子源光通信應(yīng)用, 助力5G技術(shù)發(fā)展2023-08-07 14:08

    光通信的信息載體是光波, 為了進一步提高光通信系統(tǒng)中光信號的傳輸質(zhì)量, 滿足光通信系統(tǒng)的使用要求,  上海伯東美國 KRi 離子源通過離子束濺射, 輔助薄膜沉積等工藝在離子束鍍膜系統(tǒng)中實現(xiàn)光模塊, 光器件等薄膜元件的精密加工. 離子源典型應(yīng)用例如, 在光纖連接面鍍 AR 增透膜 (減反射膜), 達到減少光纖對光的損耗, 增加光的透過率, 減少反射的工藝效果.
  • 美國 KRi 考夫曼離子源應(yīng)用于雙腔室高真空等離子 ALD 系統(tǒng)2023-07-07 14:55

    上海伯東美國 KRi 考夫曼離子源 KDC 40 應(yīng)用于雙腔室高真空等離子 ALD 系統(tǒng), 實現(xiàn)小規(guī)模試驗中 2-4 英寸硅片等半導(dǎo)體襯底表面的清潔, 確保樣品表面清潔無污染, 滿足 TiN, ZnO, Al2O3, TiO2 等制備.
    離子源 系統(tǒng) 1012瀏覽量
  • Aston™ 質(zhì)譜儀 ALD 工藝控制的原位計量2023-06-20 16:58

    上海伯東 Aston™ 質(zhì)譜分析儀是一款快速, 強大的化學(xué)特異性氣體質(zhì)譜儀, 提供 ALD 過程控制解決方案, 可在這些非等離子體(“lights-off”)過程中提供原位計量和控制. 它可以實現(xiàn)快速, 化學(xué)特定的原位定量氣體分析, 低至十億分之幾的水平, 提供 ALD 過程控制所需的實時數(shù)據(jù).
  • Aston 質(zhì)譜儀對小開口區(qū)域的蝕刻有更高的靈敏度2023-06-20 16:49

    上海伯東日本 Aston™ 質(zhì)譜儀能夠進行準(zhǔn)確且可操作的端點檢測, OA% 是傳統(tǒng) OES 計量解決方案的一個數(shù)量級(1/10). Aston™ 質(zhì)譜儀解決方案適用于具有高蝕刻吞吐量和大量重復(fù)相同步驟的工藝中的實時 EPD. 這是通過高信噪比 SNR 實現(xiàn)的, 從而避免了 OES 設(shè)備中常見的模棱兩可和復(fù)雜的多變量分析算法.
  • Aston 過程質(zhì)譜應(yīng)用于 EUV 極紫外光源鹵化錫原位定量2023-06-20 16:21

    上海伯東日本 Atonarp Aston™ 過程質(zhì)譜分析儀通過快速, 可操作, 高靈敏度的分子診斷數(shù)據(jù)實現(xiàn)了更佳的反射板鍍錫層清潔, 并且 Aston™ 過程質(zhì)譜的實時氫氣 H2 監(jiān)測也降低了每個 EUV 工具的氫氣消耗
    EUV EUV光刻機 晶圓 774瀏覽量
  • Aston™ 質(zhì)譜分析儀保護 CVD 工藝免受干泵故障的影響2023-06-20 16:17

    上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計, 作為一個強大的平臺, Aston™ 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷并在一系列應(yīng)用中提供更高的控制水平, 適用于光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配
    CVD 半導(dǎo)體 687瀏覽量
  • Pfeiffer 渦輪分子泵創(chuàng)新專利 Laser Balancing™ 技術(shù)2023-06-02 13:23

    上海伯東德國 Pfeiffer 的復(fù)合軸承轉(zhuǎn)子動平衡一直是其一項核心競爭力, 憑借這種技術(shù), 我們可以提供振動水平非常低的高尖端的渦輪分子泵. 現(xiàn)如今, 德國 Pfeiffer 在真空技術(shù)領(lǐng)域又有了一項創(chuàng)新的技術(shù). 公司開發(fā)出了全新的 Laser Balancing 技術(shù)并獲得了專利.
    測試 激光 782瀏覽量
  • X 射線應(yīng)用中的真空系統(tǒng)2023-06-02 13:17

    由于各種 X 射線應(yīng)用中都需要低真空壓力, 因此對組成真空系統(tǒng)的分子泵, 前級泵均需要滿足低振動, 低能耗和高可靠性的要求.上海伯東德國 Pfeiffer 提供渦輪分子泵和各種干式前級泵, 如隔膜泵, 多級羅茨泵或渦旋泵,
    系統(tǒng) 自動化 1029瀏覽量
  • Gel-Pak 膠膜在器件 QC 檢查中的應(yīng)用 (替代常用夾具)2023-05-26 11:39

    上海伯東美國 Gel-Pak 公司生產(chǎn)的膠膜, 特別是 WF-A 膠膜可以在器件 QC 檢查等制程中將器件固定, 替代常用的夾具, 提高效率, 降低 QC 的成本.
    器件 芯片 945瀏覽量
  • 美國 Gel-Pak 芯片包裝盒為 Chiplets 的運輸安全性保駕護航2023-05-26 11:26

    上海伯東美國 Gel-Pak 以 Vertec® 技術(shù)開發(fā)了新一代專利的 BTXF 芯片盒, 使用了一種非粘性的微紋理彈性體, 將其涂覆在 JEDEC 托盤上, 可以將 Chiplets 產(chǎn)品固定其上, Gel-Pak BTXF 芯片盒可以廣泛的應(yīng)用在 Chiplets 的內(nèi)部流轉(zhuǎn), 整體運輸上.
    晶片 芯片 1306瀏覽量