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用于半導(dǎo)體外延片生長的CVD石墨托盤結(jié)構(gòu)

一、引言在半導(dǎo)體制造業(yè)中，外延生長技術(shù)扮演著至關(guān)重要的角色?；瘜W(xué)氣相沉積（CVD）作為一種主流的外延生長方法，被廣泛應(yīng)用于制備高質(zhì)量的外延片。而在CV...

2025-01-08 標簽：半導(dǎo)體外延片 CVD 364 0

半導(dǎo)體FAB中常見的五種CVD工藝

Hello,大家好，今天來分享下半導(dǎo)體FAB中常見的五種CVD工藝。化學(xué)氣相沉積（CVD）主要是通過利用氣體混合的化學(xué)反應(yīng)在硅片表面沉積一層固體膜的工...

2025-01-03 標簽：半導(dǎo)體 FAB CVD 4955 0

Aston Impact 高靈敏度質(zhì)譜分析儀 CVD 清洗終點優(yōu)化

上海伯東日本 Atonarp Aston Impact 高靈敏度質(zhì)譜分析儀, 基于四級桿的質(zhì)量分離, Aston 質(zhì)譜分析儀設(shè)計緊湊, 適用于氣體分析和...

2024-10-18 標簽：半導(dǎo)體分析儀 CVD 393 0

什么是無定形碳膜？為什么選碳作為3D NAND的硬掩模？

無定形碳膜（Amorphous Carbon Film），即非晶碳膜，指的是一種由碳原子構(gòu)成但沒有長程有序結(jié)構(gòu)的薄膜材料。

2024-03-22 標簽：NAND PVD CVD 3335 0

CVD成為工業(yè)制造應(yīng)用更優(yōu)選

金剛石具有低密度、高彈性模量、高強度、高熱導(dǎo)率、化學(xué)惰性和生物相容性等優(yōu)異特性，在聲學(xué)領(lǐng)域主要應(yīng)用于高保真喇叭、聲表面波器件、聲傳感器等。

2024-01-08 標簽：金剛石 CVD 工業(yè)制造 762 0

銅材料的CVD工藝是怎么實現(xiàn)的

介紹了銅材料的CVD工藝是怎么實現(xiàn)的以及什么情況下會用到銅CVD工藝。

2024-01-07 標簽：晶圓工藝 CVD 1897 0

CVD金剛石在機械密封領(lǐng)域中的應(yīng)用

隨著科技的不斷發(fā)展，金剛石在許多領(lǐng)域中都展現(xiàn)出了巨大的應(yīng)用潛力。其中，化學(xué)氣相沉積（CVD）金剛石由于其獨特的物理和化學(xué)性質(zhì)，尤其在機械密封領(lǐng)域中有著廣...

2024-01-04 標簽：金剛石機械密封 CVD 1271 0

金剛石晶體的不同類型及應(yīng)用梳理

金剛石是我們都非常熟悉的超硬材料，人造金剛石晶體有多種不同的類型，大致可分為單形和聚形，每種類型都具有不同的特性和應(yīng)用。本文梳理了金剛石晶體的不同類型及應(yīng)用。

2024-01-02 標簽：金剛石 CVD 3311 0

三種碳化硅外延生長爐的差異

碳化硅襯底有諸多缺陷無法直接加工，需要在其上經(jīng)過外延工藝生長出特定單晶薄膜才能制作芯片晶圓，這層薄膜便是外延層。幾乎所有的碳化硅器件均在外延材料上實現(xiàn)，...

2023-12-15 標簽：芯片半導(dǎo)體碳化硅 4012 0

90%的模具人都搞不懂模具爆裂是什么？模具爆裂原因分析

模具材質(zhì)不好在后續(xù)加工中容易碎裂

2023-11-25 標簽：PVD 壓力機 HRC 1966 0

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如何實現(xiàn)mTouch觸摸傳感解決CVD電容檢測方法的詳細資料概述立即下載

類別：傳感與控制 2018-06-15 標簽：ADC 觸摸傳感 mTouch 1758 0

cvd資訊

CVD薄膜質(zhì)量的影響因素及故障排除

本文介紹了CVD薄膜質(zhì)量的影響因素及故障排除。 CVD薄膜質(zhì)量影響因素以下將以PECVD技術(shù)沉積薄膜作為案例，闡述影響薄膜品質(zhì)的幾個核心要素。 PEC...

2025-01-20 標簽：薄膜 CVD 923 0

金剛石:從合成到應(yīng)用的未來材料

金剛石的優(yōu)異性能與廣闊前景金剛石，因其優(yōu)異的機械、電學(xué)、熱學(xué)和光學(xué)性能，被譽為“材料之王”，在多個領(lǐng)域展現(xiàn)出廣闊的發(fā)展前景：機械性能：極高的硬度和耐...

2025-01-03 標簽：金剛石 CVD 604 0

拓荊科技：超高深寬比溝槽填充CVD產(chǎn)品首臺已通過客戶驗證

來源：集成電路材料研究近日，拓荊科技在接受機構(gòu)調(diào)研時表示，公司自主研發(fā)并推出的超高深寬比溝槽填充CVD產(chǎn)品首臺已通過客戶驗證，實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，并獲得...

2024-09-25 標簽：CVD 582 0

2023年度國家自然科學(xué)獎 | 熱烈祝賀晟鵬創(chuàng)始人成會明院士

6月24日，全國科技大會、國家科學(xué)技術(shù)獎勵大會、兩院院士大會在人民大會堂隆重舉行。廣東晟鵬材料技術(shù)有限公司（廣東晟鵬科技有限公司）創(chuàng)始人成會明院士團隊的...

2024-06-30 標簽：半導(dǎo)體材料 CVD 1299 0

Element Six與Orbray同盟致力于頂尖晶圓級單晶(SC)制造

全球高性能先進材料的翹楚企業(yè)——Element Six（E6）與Orbray今日共同宣布達成戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，致力于聯(lián)手打造全球最高品質(zhì)的晶圓級單晶（S...

2024-06-11 標簽：晶圓金剛石 CVD 1087 0

超高靈敏度emICCD相機助力鉆石中氮空位的量子動力學(xué)研究

　　位于加拿大魁北克的舍布魯克大學(xué)(Université de Sherbrooke)的Denis Morris教授和Michel PioroLadri...

2023-12-25 標簽：相機 CVD 測溫計 628 0

旋涂絕緣介質(zhì)（SOD）是什么?

如果是用淀積溫度較低的PECVD，其生成介質(zhì)層的溫度普遍在300-450攝氏度之間，對于一些溫度敏感的器件，這么高的溫度無疑是致命的。但是SOD則只需要...

2023-10-22 標簽：薄膜 CVD 電介質(zhì) 4634 0

半導(dǎo)體用大尺寸單晶金剛石襯底制備及加工

金剛石是由單一碳原子組成的具有四面體結(jié)構(gòu)的原子晶體，屬于典型的面心立方(FCC)晶體，空間點群為 oh7-Fd3m。每個碳原子以 sp3雜化的方式與其周...

2023-08-08 標簽：激光器 SiC AFM 6819 0

前驅(qū)體市場仍將高速增長，六氟化鎢或再度緊缺

公司方面認為，特別是鎢的使用得益于垂直積累3d nand及所有市場的晶片投射量的增加。六氟化鎢WF6的供需平衡將持續(xù)到2023年，但wf6的供應(yīng)將被限制...

2023-07-31 標簽：3d 晶片 CVD 931 0

金剛石大尺寸晶圓屢創(chuàng)紀錄加速我國半導(dǎo)體行業(yè)“彎道超車”

金剛石、氧化鎵、氮化鋁等具有更寬的禁帶寬度，被稱為超寬禁帶半導(dǎo)體，未來有可能用來制造具有更低電阻、更高工作功率、更高耐溫能力的功率器件，因此研發(fā)熱度一直不減。

2023-07-19 標簽：半導(dǎo)體晶圓 CVD 2343 0

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