優(yōu)可測(cè)白光干涉儀

三維形貌光學(xué)膜厚白光干涉儀粗糙度高精度測(cè)量

型號(hào)： ER320

品牌： Atometrics(優(yōu)可測(cè))

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

像素 230萬(wàn)
掃描原理白光干涉
掃描范圍 5000um
最大掃描速度 400um/s
被測(cè)物反射率 0.02%~100%
顯示分辨率 0.001nm
RMS重復(fù)性 0.005nm

--- 產(chǎn)品詳情 ---

用途：為半導(dǎo)體、光學(xué)鏡片、材料、3C消費(fèi)類(lèi)電子、醫(yī)療、刀具等行業(yè)提供納米級(jí)別粗糙度、臺(tái)階高度、微觀形貌、三維形貌比對(duì)、高度、平面尺寸等要素測(cè)量。

特點(diǎn)：最高0.03nm精度，業(yè)內(nèi)最快速度，可客制化測(cè)量工具和在線測(cè)量。

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