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　　微機械陀螺即微電子機械系統(tǒng)，是指對微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，主要是利用角動量守恒原理，制造出各種性能優(yōu)異、價格低廉、微型化的傳感器、執(zhí)行器、驅(qū)動器和微系統(tǒng)。