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　　微電子機(jī)械系統(tǒng)是指利用半導(dǎo)體技術(shù)設(shè)計和制造微米領(lǐng)域的三維力學(xué)系統(tǒng)，形成高度自動化、智能化，可以大批生產(chǎn)，價格低廉的微電子機(jī)械系統(tǒng)，具有廣闊的應(yīng)用前景，開辟了制造集成到硅片上的微米傳感器和微米電機(jī)的嶄新可能性。