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　　微驅(qū)動器是一種換能器，它可以將電、光、熱等多種形式的能量轉(zhuǎn)換為機械能輸出。因此，它有多種不同的動作原理和結(jié)構(gòu)形式。從能量轉(zhuǎn)換形式分類，有電磁驅(qū)動、靜電驅(qū)動、壓電驅(qū)動、形狀記憶合金驅(qū)動、熱驅(qū)動等多種形式。