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　　擴散爐是半導體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設備之一，由控制系統(tǒng)、進出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成，主要用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，能夠實現(xiàn)日志記錄，曲線記錄，程序編輯，遠程控制等多種功能。