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　　鍍膜機(jī)是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，最終形成薄膜。