多芯片組件技術(shù)的基本類型有哪些?
根據(jù)多層互連基板的結(jié)構(gòu)和工藝技術(shù)的不同,MCM大體上可分為三類:①層壓介質(zhì)MCM(MCM-L);②陶瓷或玻璃瓷MCM(MCM-C);③硅或介質(zhì)材料上的淀積布線MCM(MCM-D)。表1給出MCM三種基本類型的結(jié)構(gòu)、材料和性能。
MCM-L是采用多層印制電路板做成的MCM,制造工藝較成熟,生產(chǎn)成本較低,但因芯片的安裝方式和基板的結(jié)構(gòu)所限,高密度布線困難,因此電性能較差,主要用于30MHz以下的產(chǎn)品。
MCM-C是采用高密度多層布線陶瓷基板制成的MCM,結(jié)構(gòu)和制造工藝都與先進(jìn)IC極為相似,其優(yōu)點(diǎn)是布線層數(shù)多,布線密度、封裝效率和性能均較高,主要用于工作頻率(30-50)MHz的高可靠產(chǎn)品。它的制造過程可分為高溫共燒陶瓷法(HTCC)和低溫共燒陶瓷法(LTCC),由于低溫下可采用Ag、Au、Cu等金屬和一些特殊的非傳導(dǎo)性材料,近年來,低溫共燒陶瓷法占主導(dǎo)地位。
MCM-D是采用薄膜多層布線基板制成的MCM,其基體材料又分為MCM-D/C(陶瓷基體薄膜多層布線基板的MCM)、MCM-D/M(金屬基體薄膜多層布線基板的MCM)、MCM-D/Si(硅基薄膜多層布線基板的MCM)等三種,MCM-D的組裝密度很高,主要用于500MHz以上的產(chǎn)品。
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