中圖儀器文章

• 3D光學(xué)表面輪廓儀工作原理2022-04-13 14:32

  

  在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，因?yàn)楝F(xiàn)有的接觸式測(cè)量方法具有測(cè)量速度慢、易劃傷測(cè)量表面的缺點(diǎn)，以及單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量，只有以白光干涉技術(shù)為基礎(chǔ)的3D光學(xué)表面輪廓儀能實(shí)現(xiàn)超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量，提供更高精度的檢測(cè)需求。3D光學(xué)表面輪廓儀工作原理光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后

  白光干涉儀 3267瀏覽量

• 光學(xué)3d表面輪廓儀是做什么2022-04-13 14:14

  

  各行業(yè)技術(shù)的快速更新?lián)Q代，對(duì)檢測(cè)儀器企業(yè)提出了更高的要求。其中光學(xué)3d表面輪廓儀是做什么的？光學(xué)3d表面輪廓儀是以白光干涉測(cè)量技術(shù)為基礎(chǔ)而研發(fā)生產(chǎn)的，采用的是非接觸式光學(xué)測(cè)量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測(cè)，沒(méi)有滯后性，從而減少不合格品，對(duì)表面缺陷檢測(cè)亦如此。中圖儀器SuperViewW1光

  白光干涉儀 1981瀏覽量

• 中圖儀器參與起草的《螺紋量規(guī)掃描測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》正式發(fā)布2022-04-09 01:07

  

  由中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院和深圳中圖儀器等單位起草的《JJF1950-2021螺紋量規(guī)掃描測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》發(fā)布，將于2022年6月28日正式實(shí)施。螺紋檢測(cè)問(wèn)題是一直困擾世界機(jī)械工業(yè)的一大難題，是阻礙我國(guó)機(jī)械行業(yè)質(zhì)量提高的一大瓶頸。隨著中圖儀器SJ5200系列螺紋綜合測(cè)量機(jī)的推出，其采用接觸掃描式原理，接觸式螺紋檢測(cè)技術(shù)顛覆了傳統(tǒng)的螺紋檢測(cè)方法，其突破性、歷史性地解

  測(cè)量?jī)x 1438瀏覽量

• 喜報(bào)|中圖儀器榮膺“深圳知名品牌”稱號(hào)！2022-04-09 01:05

  

  3月29日，第十九屆“深圳知名品牌”評(píng)審會(huì)議成功召開(kāi)，會(huì)上公布了新一屆“深圳知名品牌”榜單。中圖儀器憑借強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力、高知名度、自主創(chuàng)新能力突出及良好的社會(huì)信用等優(yōu)勢(shì)，成功入選。本次評(píng)選，深圳知名品牌評(píng)價(jià)委員會(huì)對(duì)各申報(bào)品牌進(jìn)行了嚴(yán)格審查，經(jīng)過(guò)企業(yè)內(nèi)部管理體系現(xiàn)場(chǎng)評(píng)審、社會(huì)公眾投票、行業(yè)專家評(píng)價(jià)和品牌價(jià)值評(píng)估等環(huán)節(jié)，并由深圳市深圳公證處公證員全程公證，最終審核

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• 3D光學(xué)表面輪廓儀工作原理2022-04-08 15:54

  

  非接觸3d光學(xué)輪廓儀主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測(cè)量，主要測(cè)量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。工作原理光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。中圖儀器Su

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• 三維光學(xué)輪廓儀測(cè)粗糙度2022-04-08 15:42

  

  SuperViewW1系列三維光學(xué)輪廓儀測(cè)粗糙度采用經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收，其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測(cè)量精度要求為

  光學(xué)儀器 1843瀏覽量

• 光學(xué)3d表面輪廓儀是干嘛的2022-04-08 15:18

  

  白光干涉儀屬于精度高達(dá)到亞納米級(jí)別的檢測(cè)儀器，對(duì)使用的現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境（地面振動(dòng)、空氣中聲波振動(dòng)）比較敏感，因此中圖的光學(xué)3d表面輪廓儀底下都是加了氣浮平臺(tái)進(jìn)行隔振的。光學(xué)3d表面輪廓儀是干嘛的？中圖儀器光學(xué)3d表面輪廓儀應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。為工件的微觀三維形貌和表面特征分析提供可靠依據(jù)，降低了勞動(dòng)

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• 光學(xué)表面輪廓儀優(yōu)勢(shì)2022-04-08 14:53

  

  3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀，但橫向測(cè)試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中，3DAOI（自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)）是對(duì)傳統(tǒng)精密加工上的升級(jí)，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)AOI由于2D成像原理上的一些缺陷，改進(jìn)設(shè)備性能以滿足各大電子廠對(duì)質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。拋開(kāi)光學(xué)光學(xué)表面輪廓儀格實(shí)惠不說(shuō)，基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的SuperViewW1系列能以非接觸的方式，無(wú)損檢測(cè)精密機(jī)

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• 有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測(cè)系統(tǒng)助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展2022-04-03 00:49

  

  有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測(cè)系統(tǒng)可對(duì)Wafer的關(guān)鍵尺寸進(jìn)行檢測(cè)，對(duì)套刻偏移量的測(cè)量，以及Wafer表面3D形貌、粗糙度的測(cè)量，包括鐳射切割的槽寬、槽深等自動(dòng)測(cè)量。300*300mm真空吸附平臺(tái)，最大可支持12寸Wafer的自動(dòng)測(cè)量，配置掃描槍，可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線的全自動(dòng)化生產(chǎn)需求。一.系統(tǒng)的布局結(jié)構(gòu)1.上料/下料區(qū)：Robot自動(dòng)抓取Wafer至尋邊器平臺(tái)；2.定位

  監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 2138瀏覽量

• 白光干涉儀自動(dòng)拼接測(cè)量功能的應(yīng)用場(chǎng)景2022-04-02 15:30

  

  場(chǎng)景一上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖，整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點(diǎn)，而圓環(huán)外呈高反射率特點(diǎn)，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。根據(jù)客戶精度要求，SuperViewW1白光干涉儀可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。場(chǎng)景二上圖是一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件，用于微小位移和

  測(cè)量 干涉儀 1834瀏覽量