在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，因?yàn)楝F(xiàn)有的接觸式測(cè)量方法具有測(cè)量速度慢、易劃傷測(cè)量表面的缺點(diǎn)，以及單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量，只有以白光干涉技術(shù)為基礎(chǔ)的3D光學(xué)表面輪廓儀能實(shí)現(xiàn)超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量，提供更高精度的檢測(cè)需求。

3D光學(xué)表面輪廓儀工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌。

中圖儀器SuperViewW13d表面光學(xué)輪廓儀支持自動(dòng)聚焦功能，只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動(dòng)聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。 采用經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收，其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測(cè)量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測(cè)量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差），主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測(cè)量，主要測(cè)量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓等。

中圖儀器3d表面光學(xué)輪廓儀具有測(cè)量精度高、分析功能強(qiáng)大、使用方便、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)。系統(tǒng)軟件為簡(jiǎn)體中文操作系統(tǒng)，操作方便。