--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 型號(hào) WLI 1000
- 掃描范圍 15mm
- 掃描速度 10um/s
- 干涉物鏡 標(biāo)配:10X選配:2.5X、5X、20X、50X、100X
- 視場(chǎng) 1mm*1mm 標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng)(10X物鏡+0.5X成像模組)
- XY尺? 300mm*300mm
- XY移動(dòng)范圍 100mm*100mm
- XY控制方式 電動(dòng)/手動(dòng)
- XY調(diào)節(jié)角度 ±5°
- Z軸自動(dòng)聚焦 是
- Z軸行程 100mm
- Z軸控制方式 電動(dòng)
- 重復(fù)度 0.01nm
- Z軸分辨率 0.1nm
--- 產(chǎn)品詳情 ---
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
——
普密斯3D白光干涉輪廓儀Meter View 系列 WLI-1000能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率實(shí)現(xiàn)“面”測(cè)量,非接觸式測(cè)量樣品表面形貌,不損傷產(chǎn)品本身。
廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析。

產(chǎn)品特點(diǎn)
——
1. 表征微觀形貌的粗糙度測(cè)量;
2. 臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量;
3. 自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;
4. 校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等數(shù)據(jù)處理功能;
5. 對(duì)比分析和多文件分析等輔助分析功能。
應(yīng)用領(lǐng)域
——
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表?的平?度、粗糙度、波紋度、?形輪廓、表?缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階?度、彎曲變形情況、加?情況等表?形貌特征進(jìn)?測(cè)量和分析。
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