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冠亞恒溫氣體制冷機(jī)采用全密閉循環(huán)技術(shù)，憑借±0.05℃的準(zhǔn)確控溫能力，為光刻機(jī)提供穩(wěn)定的高低溫環(huán)境# 制冷機(jī)
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