該款反射高能電子衍射儀是專注于PCB抄板等反向研發(fā)的深圳世紀(jì)芯在破解原樣機(jī)的基礎(chǔ)上二次開(kāi)發(fā)而研制的，較原機(jī)毫不遜色，同時(shí)可根據(jù)客戶的個(gè)性化需求做相應(yīng)的設(shè)計(jì)及功能參數(shù)修改。

技術(shù)參數(shù)

1. 電子槍部分

RHEED電子槍是專門(mén)為進(jìn)行衍射研究所設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)，其能量范圍從10到30keV。通過(guò)結(jié)合靜電和磁部件，保證了電子槍具有高亮度、小斑點(diǎn)、低分散和極低放氣率的特征。電子槍可以完全安裝在腔體外面，可以原位保養(yǎng)，可以烘烤。如果配備了差分抽氣系統(tǒng)，還可以在高壓環(huán)境下使用。

2. 控制電源部分

設(shè)計(jì)緊湊的提供30KeV能量的電子槍電源控制部分，由的電子元件制造。電子槍的設(shè)置參數(shù)，如能量、燈絲電流、束流強(qiáng)度等都可以數(shù)字形式在顯示器上顯示，而且可以通過(guò)一個(gè)簡(jiǎn)潔的控制面板遠(yuǎn)程控制調(diào)節(jié)束流強(qiáng)度、聚焦位置等。系統(tǒng)具有自我診斷能力，可以快速全面地對(duì)RHEED系統(tǒng)進(jìn)行檢查。

3．電子束光闌

通過(guò)電子束光闌可以控制束流的開(kāi)關(guān)，這樣可以保證樣品上極低的電子負(fù)荷。光闌開(kāi)關(guān)信號(hào)也可同時(shí)被外部信號(hào)觸發(fā)，這樣就使得RHEED可以在有干擾磁場(chǎng)下使用，并可以用來(lái)研究旋轉(zhuǎn)樣品。

4. 電子束搖擺

為了做RHEED分析，電子束必須以掠角方式入射樣品。 獨(dú)特的電子束搖擺特征，允許調(diào)節(jié)和變化電子束入射角度，而不用移動(dòng)樣品。這個(gè)特征在對(duì)固定位置的樣品進(jìn)行分析測(cè)試時(shí)是非常有用的

5．差分抽氣系統(tǒng)

通常的電子槍是為在如10-4 torr 這樣較高壓力條件下工作設(shè)計(jì)的，但是這樣必然導(dǎo)致燈絲壽命的縮短。帶有差分抽氣系統(tǒng)選項(xiàng)的RHEED系統(tǒng)， 保證了可以在高壓和有反應(yīng)氣體存在的環(huán)境下進(jìn)行日常的操作。對(duì)燈絲部分的高效抽氣，使得RHEED系統(tǒng)同其他系統(tǒng)相比有無(wú)與倫比的靈活性。

6. 計(jì)算機(jī)控制

RHEED系統(tǒng)可以完全由計(jì)算機(jī)來(lái)控制。電子槍控制部分包括一個(gè)界面模塊和一個(gè)軟件包，這保證了RHEED的使用靈活性，和可重復(fù)性。 用戶自己設(shè)定的參數(shù)可以被保存并調(diào)入，通過(guò)電子束光闌可以控制電子束的開(kāi)關(guān)，使用電子束搖擺特征可以調(diào)節(jié)電子束入射角度。

7. 熒光屏

提供各種尺寸的熒光屏，它們有非常高的空間分辨率和極好的對(duì)比度。熒光屏上的鍍鋁保護(hù)涂層確保熒光屏有非常好的電接觸特性，并可以屏蔽掉從真空腔來(lái)的一些游離光線，從而提高RHEED圖像的對(duì)比度。

8．?dāng)?shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

RHEED Vision 是一套可以同現(xiàn)存的各種RHEED系統(tǒng)配套使用的功能非常強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集軟件， 它可以同時(shí)進(jìn)行圖像處理和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析。并且有很多可選的數(shù)據(jù)縮減程序。另外還提供其它的硬件控制模塊，如鎖相外延生長(zhǎng)，快門(mén)控制，激光脈沖觸發(fā)器等。