原創(chuàng)作者：深圳市微納制造產(chǎn)業(yè)促進(jìn)會(huì)

村田（Murata）量產(chǎn)全球最小電感，采用“Thick film lithography”生產(chǎn)工藝，本文將簡(jiǎn)要介紹該創(chuàng)新型工藝技術(shù)。

村田開始量產(chǎn)面向5G智能手機(jī)的小型功率電感器

12月2日消息，株式會(huì)社村田制作所已開始量產(chǎn)面向5G智能手機(jī)的2012尺寸（2.0×1.2mm）功率電感器“DFE21CCN_EL系列”。與村田相同尺寸的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，該產(chǎn)品額定電流提高約20%，直流電阻降低約50%，有助于電路的穩(wěn)定化和小型化。2016年后，村田在無(wú)源元器件小型化領(lǐng)域的推進(jìn)速度明顯在加速。

電感是電路必備的被動(dòng)元件之一，主要用于電源轉(zhuǎn)換、濾波和信號(hào)處理等。隨著5G到來(lái)，各種智能終端將大幅增加電感的用量。以5G手機(jī)為例，手機(jī)內(nèi)的電感用量比4G手機(jī)增加了20-30%，在手機(jī)空間不變的情況下，器件會(huì)更加微小化。4G手機(jī)主要應(yīng)用的電感規(guī)格為0201電感，目前，5G手機(jī)切換為規(guī)格更小的01005電感。輕薄短小是電子元器件的發(fā)展趨勢(shì)。

圖：各種規(guī)格電感比較（來(lái)源：村田制作所官網(wǎng)）

作為被動(dòng)元件行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)，近年來(lái)，村田一直是各最小尺寸（從0201到01005，再到008004）的最先量產(chǎn)者，也是行業(yè)技術(shù)革新的引領(lǐng)者。早在2012年，村田就發(fā)布了世界最小008004尺寸電感，并于2016年量產(chǎn)。做為行業(yè)的引領(lǐng)者，村田率先將革新了電感制造技術(shù)，創(chuàng)新的將新型光刻技術(shù)應(yīng)用于多層陶瓷元器件制造。

全球高端電感廠商主要包括村田、TDK和順絡(luò)電子等，目前國(guó)內(nèi)能量產(chǎn)01005電感的只有順絡(luò)電子一家。01005及更小尺寸的008004電感技術(shù)壁壘較高，需要在原有的多層共燒技術(shù)（LTCC）中引入光刻工序進(jìn)一步提高線路精度，核心關(guān)鍵制造工藝技術(shù)需要單獨(dú)配置。

根據(jù)村田官網(wǎng)介紹，村田將高精度繞線技術(shù)、小尺寸磁芯成型技術(shù)與高頻繞線產(chǎn)品的共性技術(shù)相結(jié)合，以實(shí)現(xiàn)小型化。具體產(chǎn)品而言，村田采用創(chuàng)新技術(shù)的精細(xì)布線工藝是關(guān)鍵之一。

村田貼片式電感新技術(shù)工藝

圖：Thick film lithography工藝流程及產(chǎn)品示例（來(lái)源：村田制作所官網(wǎng)）

經(jīng)調(diào)研，我們發(fā)現(xiàn)，東麗（TORAY ）已開發(fā)適用于“Thick film lithography”工藝的電子漿料產(chǎn)品。如下圖所示。

圖：Thick film lithography工藝流程（來(lái)源：東麗官網(wǎng)）

據(jù)介紹，東麗RAYBRID? 電子元件用漿料（FHAG 系列）是具有感光特性的導(dǎo)電漿料，其專有的聚合物設(shè)計(jì)技術(shù)可以形成高清厚膜布線。通過(guò)絲網(wǎng)印刷、輥涂等將 RAYBRID? 均勻涂抹在板上后，用光刻形成所需的圖案。然后在使用前通過(guò)應(yīng)用 800°C 或更高的烘烤步驟來(lái)燒結(jié)圖案。

圖：使用東麗RAYBRID? 電子元件用漿料形成的陣型圖及產(chǎn)品特性（來(lái)源：東麗官網(wǎng)）

對(duì)這項(xiàng)“Thick film lithography”工藝大家有何看法？歡迎留言評(píng)論。

后續(xù)我們將更深入研究，并持續(xù)跟蹤其他廠商對(duì)“Thick film lithography”的跟進(jìn)情況。