過(guò)去五年，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁入前所未有的高速發(fā)展期，隨著國(guó)產(chǎn)芯片逐漸登上主舞臺(tái)，數(shù)以千計(jì)的芯片公司遍地開(kāi)花。國(guó)內(nèi)晶圓代工廠商也紛紛將12英寸晶圓廠列為投資重點(diǎn)，預(yù)計(jì)中國(guó)大陸未來(lái)5年（2022年-2026年）還將新增25座12英寸晶圓廠。

半導(dǎo)體制造行業(yè)屬于工業(yè)制造的最高級(jí)別，以去年IBM官宣的2nm制程為例，生產(chǎn)制造的步驟可以高達(dá)數(shù)千步之多，生產(chǎn)周期動(dòng)輒需要兩三個(gè)月的時(shí)間，這其中任何一個(gè)環(huán)節(jié)出差錯(cuò)都會(huì)直接影響良率和效率。

因此，借助計(jì)算機(jī)的控制與信息處理功能，幫助半導(dǎo)體工廠實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的自動(dòng)化生產(chǎn)的CIM系統(tǒng)發(fā)揮著無(wú)可替代的作用。目前國(guó)外成熟的代工廠大約99%以上的執(zhí)行和決策都依賴于CIM系統(tǒng)。海力士無(wú)錫工廠是其全球月產(chǎn)能最高的工廠，月產(chǎn)能為20萬(wàn)片，年產(chǎn)值接近300億美元，卻只有180個(gè)工人三班倒，這就是CIM生態(tài)發(fā)揮巨大效用的標(biāo)桿。高效可靠的半導(dǎo)體CIM工業(yè)制造軟件成為了支撐晶圓制造背后的隱秘與偉大。

01沉浮二十載，一朝破曉

都在說(shuō)，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體的破局極為困難，在堪比“制造環(huán)節(jié)EDA”的CIM領(lǐng)域中更是如此。CIM是生產(chǎn)控制類(lèi)工業(yè)軟件的“大集成”，集數(shù)十種工業(yè)軟件于一身，如制造執(zhí)行系統(tǒng)MES、設(shè)備自動(dòng)化EAP、先進(jìn)制程控制APC、實(shí)時(shí)調(diào)度系統(tǒng)RTD、自動(dòng)排產(chǎn)系統(tǒng)APS等。

在半導(dǎo)體CIM領(lǐng)域，絕大部分12英寸晶圓廠系統(tǒng)都被美國(guó)科技巨頭IBM和美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備巨頭應(yīng)用材料所壟斷，這兩家企業(yè)就占有了全球80%以上的市場(chǎng)份額。IBM更是憑借著其強(qiáng)悍的“know－h(huán)ow”能力，始終保持著領(lǐng)先地位。

在這樣一個(gè)門(mén)檻極高的領(lǐng)域，沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)累積的中國(guó)企業(yè)想要突破重圍更是困難。但隨著1999年上揚(yáng)創(chuàng)始人呂凌志放棄新加坡外國(guó)專(zhuān)家待遇回到中國(guó)創(chuàng)業(yè)開(kāi)始，猶如投石擊水，中國(guó)CIM行業(yè)發(fā)生了微妙的變化。

這是一次偶然的契機(jī)：紹興華越上一條五吋線進(jìn)口購(gòu)買(mǎi)日本設(shè)備，但忘記采購(gòu)CIM系統(tǒng)的主要子系統(tǒng)MES系統(tǒng)，如果再去購(gòu)買(mǎi)日本MES系統(tǒng)就需要花費(fèi)一百多萬(wàn)美金。當(dāng)時(shí)負(fù)責(zé)人找到呂博士，問(wèn)他：“你能不能做？”盡管此時(shí)的呂博士已經(jīng)擁有新加坡外國(guó)專(zhuān)家待遇，但他依舊不斷的追尋自我實(shí)現(xiàn)的價(jià)值感，加上游子歸家心情也正驅(qū)使著他尋找機(jī)會(huì)回國(guó)。

于是，他義無(wú)反顧地答應(yīng)了。2000年，呂凌志和上揚(yáng)軟件最初的12名員工一起完成了紹興華越微電子五英寸晶圓廠的MES項(xiàng)目開(kāi)發(fā)，同年在華越上線使用。這是上揚(yáng)軟件的第一個(gè)半導(dǎo)體MES項(xiàng)目。也是中國(guó)本土自主研發(fā)的用于晶圓廠流程的第一套MES系統(tǒng)。

創(chuàng)辦上揚(yáng)軟件的第二年，整個(gè)上揚(yáng)公司一張訂單都沒(méi)有收到。呂凌志回憶道：“那年過(guò)年別人問(wèn)自己‘今年賺了多少？’當(dāng)時(shí)總會(huì)很尷尬，但今天回想起來(lái)，為什么自己當(dāng)初會(huì)堅(jiān)持，也只能說(shuō)是一種‘迷信’明天會(huì)更好的。”

在不斷的堅(jiān)持之下，2019年，上揚(yáng)推出的新產(chǎn)品myCIM 4.0填補(bǔ)了12英寸半導(dǎo)體產(chǎn)線MES系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化的空白，成為國(guó)內(nèi)率先擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的半導(dǎo)體全自動(dòng)化CIM軟件方案的軟件公司。

現(xiàn)在，上揚(yáng)是中國(guó)CIM賽道的領(lǐng)航者，經(jīng)過(guò)20多年的經(jīng)驗(yàn)積累，逐漸具備了無(wú)可替代的優(yōu)勢(shì)。可能上揚(yáng)也沒(méi)想到，堅(jiān)守二十年后，“一不小心”成為了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體智能制造軟件領(lǐng)航者，更是在自主研發(fā)的道路上越走越遠(yuǎn)。

02“穩(wěn)”成為領(lǐng)航的核心能力

不同英寸晶圓廠對(duì)于智能化要求不一，4英寸線到6英寸線以人工為主，8英寸以半自動(dòng)廠為主，12英寸基本都是全自動(dòng)。12英寸產(chǎn)線前道晶圓制造，其困難程度可以用“半導(dǎo)體工業(yè)軟件的珠峰”來(lái)形容。

在12英寸方面，CIM系統(tǒng)的研發(fā)、中試、量產(chǎn)對(duì)于軟件的要求有著天壤之別。即使企業(yè)已經(jīng)突破了12英寸的研發(fā)和中試，但如果想要繼續(xù)突破量產(chǎn)，必須具備實(shí)際的工業(yè)場(chǎng)景應(yīng)用。為了保證12英寸晶圓制造近1000道工序的順暢運(yùn)行，需要經(jīng)過(guò)項(xiàng)目不斷地試錯(cuò)，不斷地積累經(jīng)驗(yàn)值，最后才能成為一款應(yīng)用于量產(chǎn)線的成熟軟件產(chǎn)品。

因此，作為一個(gè)技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)結(jié)合的硬科技領(lǐng)域CIM軟件需要不僅是專(zhuān)業(yè)的團(tuán)隊(duì)，更需要團(tuán)隊(duì)具備豐富的行業(yè)知識(shí)和項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)（know-how）。并且CIM軟件的成熟度往往是與客戶案例的數(shù)量和質(zhì)量掛鉤的，具體體現(xiàn)在這款軟件可用于多少條產(chǎn)線，能支撐多大量產(chǎn)能力，使用年限等。

實(shí)際上，CIM行業(yè)追求的就是一個(gè)“穩(wěn)”。無(wú)論是8/12英寸的晶圓廠，每一次停產(chǎn)都是會(huì)造成巨大上千萬(wàn)美元的損失，因此如果是軟件造成的損失對(duì)于晶圓廠來(lái)說(shuō)是非常致命的。所有的晶圓廠都需要一個(gè)穩(wěn)定、成熟的CIM系統(tǒng)。

無(wú)法一蹴而就成為CIM領(lǐng)域的特性，一個(gè)企業(yè)直接從4、6英寸CIM系統(tǒng)量產(chǎn)直接跳到12英寸量產(chǎn)是不現(xiàn)實(shí)的，而正是因?yàn)橛辛?英寸量產(chǎn)突破的基礎(chǔ)，上揚(yáng)才開(kāi)始穩(wěn)步進(jìn)行12英寸CIM的研發(fā)。

“穩(wěn)”成為了上揚(yáng)領(lǐng)航的核心能力。

第一，團(tuán)隊(duì)“穩(wěn)”。

由于涉及到眾多環(huán)節(jié)，開(kāi)發(fā)CIM需要非常深厚的積累和沉淀，既需要對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有深刻的認(rèn)知，也需要具有工業(yè)軟件領(lǐng)域的基礎(chǔ)。因此，CIM行業(yè)中的人才需要有兩個(gè)方面的背景，一個(gè)是對(duì)于晶圓廠本身生產(chǎn)工藝的了解，另一個(gè)是具備IT技術(shù)和知識(shí)。

上揚(yáng)的穩(wěn)，表現(xiàn)在核心團(tuán)隊(duì)穩(wěn)。上揚(yáng)的核心管理團(tuán)隊(duì)非常穩(wěn)定，基本上都是跟隨上揚(yáng)成長(zhǎng)20年的老員工，本身對(duì)CIM行業(yè)有相當(dāng)強(qiáng)的洞察力。在技術(shù)團(tuán)隊(duì)方面，上揚(yáng)現(xiàn)在有近20名的IT技術(shù)專(zhuān)家和行業(yè)專(zhuān)家。

上揚(yáng)軟件的技術(shù)團(tuán)隊(duì)中有好多位技術(shù)專(zhuān)家來(lái)自于成熟晶圓廠生產(chǎn)或IT領(lǐng)域的行家，這無(wú)疑凸顯上揚(yáng)軟件充分掌握了半導(dǎo)體行業(yè)的Know-how。

第二，技術(shù)“穩(wěn)”。

上揚(yáng)軟件作為CIM整體解決方案的提供商，不僅能夠提供穩(wěn)定成熟的MES服務(wù)，還有EAP（設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)）、APC(先進(jìn)制程控制)、FDC(設(shè)備故障偵測(cè)與分類(lèi)軟件)等其他成熟的子系統(tǒng)。

上揚(yáng)軟件的FA EAP非常有優(yōu)勢(shì)，可以適用于半導(dǎo)體6/8/12英寸晶圓制造廠和先進(jìn)/傳統(tǒng)封裝廠，使用易用的開(kāi)發(fā)工具便于系統(tǒng)開(kāi)發(fā)，上手簡(jiǎn)單，并且EAP Server以服務(wù)器模式運(yùn)行，控制設(shè)備自動(dòng)化跑貨，利用Backup Server和Failover機(jī)制保證EAP Server不宕機(jī)，還具有良好擴(kuò)展性，易于與其他系統(tǒng)集成，如MES，MCS，SPC，RMS，F(xiàn)DC，APC等。

而先進(jìn)制程控制（APC）應(yīng)用Run-to-Run控制方法，利用數(shù)據(jù)的正向補(bǔ)給和反饋來(lái)有效的監(jiān)控制程過(guò)程與設(shè)備狀態(tài)以及調(diào)整制程的偏移，消除對(duì)制程的各種干擾，以提高產(chǎn)品良率。上揚(yáng)軟件的APC目前已經(jīng)出口美國(guó)，作為國(guó)內(nèi)CIM領(lǐng)域首次出口，這也證明了上揚(yáng)APC的實(shí)力。

在設(shè)備故障偵測(cè)與分類(lèi)軟件（FDC）方面，上揚(yáng)在今年進(jìn)行了產(chǎn)品升級(jí)，布局CIM子系統(tǒng)。在備數(shù)據(jù)的高頻次采集方面，頻次非常高，至少支持100毫秒的頻率，約為10HZ；還擁有基于深度學(xué)習(xí)進(jìn)行邊緣AI計(jì)算，提高高頻數(shù)據(jù)采樣的效率，甚至達(dá)到100HZ。與市面上多數(shù)國(guó)產(chǎn)FDC產(chǎn)品采用的單變量分析相比，上揚(yáng)的FDC系統(tǒng)使用多變量分析，利用大數(shù)據(jù)技術(shù)，支持多元數(shù)據(jù)分析。

保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性，是上揚(yáng)的技術(shù)”穩(wěn)“。

第三，迭代“穩(wěn)”。

由于CIM系統(tǒng)的重要性對(duì)于整個(gè)晶圓廠來(lái)說(shuō)堪比大腦，晶圓制造企業(yè)在投資建廠時(shí)選擇供應(yīng)商上就更趨嚴(yán)格保守。晶圓制造的復(fù)雜流程，任何環(huán)節(jié)出現(xiàn)問(wèn)題都會(huì)影響最終的良率和芯片，也正是因?yàn)檫@個(gè)原因，使得CIM系統(tǒng)必須持續(xù)升級(jí)迭代，才能滿足和支撐行業(yè)的快速成長(zhǎng)。

CIM行業(yè)需要積累，如果沒(méi)有突破8英寸量產(chǎn)，需要想去突破12英寸的量產(chǎn)是不可能有這樣的跨度。上揚(yáng)的技術(shù)迭代從4、6、8、12英寸穩(wěn)步進(jìn)行。在2000年，上揚(yáng)滿足了紹興華越5英寸晶圓廠MES系統(tǒng)的需求，實(shí)現(xiàn)零的突破。

在工廠產(chǎn)線的不斷應(yīng)用迭代下，這套系統(tǒng)后來(lái)又被用于上海新進(jìn)半導(dǎo)體6英寸線。之后，應(yīng)用于士蘭微電子6寸量產(chǎn)線的MES已支持24萬(wàn)片/年。有了客戶零的突破，上揚(yáng)軟件MES系統(tǒng)的迭代推進(jìn)就變得順暢起來(lái)。去年，上揚(yáng)軟件開(kāi)始全力推進(jìn)其12英寸量產(chǎn)線MES系統(tǒng)的研發(fā)迭代。在未來(lái)，上揚(yáng)還計(jì)劃繼續(xù)迭代，完善自身EES系統(tǒng)的研發(fā)及其它軟件產(chǎn)品的研發(fā)升級(jí)。穩(wěn)定的迭代，是上揚(yáng)領(lǐng)航CIM領(lǐng)域的又一原因。

在國(guó)內(nèi)CIM群雄并起的時(shí)代，攻略工業(yè)軟件領(lǐng)域的市場(chǎng)“高地”絕非易事。深耕行業(yè)二十年，上揚(yáng)有自己始終堅(jiān)持的初心：客戶導(dǎo)向，技術(shù)為本。

2021年年底上揚(yáng)收到非常多的客戶感謝信，包括北京唯捷創(chuàng)芯封測(cè)、西安衛(wèi)光6英寸VDMOS前道、中芯紹興8英寸線、義烏晶澳光伏組件等客戶，都對(duì)上揚(yáng)提供的解決方案表示滿意。

在今年7月，上揚(yáng)軟件為隸屬于豪威集團(tuán)旗下的豪威半導(dǎo)體（上海）有限責(zé)任公司開(kāi)發(fā)實(shí)施12英寸半導(dǎo)體量產(chǎn)線的CIM“全家桶”解決方案。其中囊括了：制造執(zhí)行軟件MES myCIM、SPC、EAP、RMS、APC、FDC、YMS，控制管理每一片晶圓在數(shù)百臺(tái)設(shè)備間的流轉(zhuǎn)以及生產(chǎn)過(guò)程中的近千道工序，實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓廠的智能制造。

第四，融資“穩(wěn)”。

上揚(yáng)軟件的堅(jiān)持獲得了回報(bào)，資本用自己的方式給出了答案。2017年，上揚(yáng)軟件獲得了深創(chuàng)投的A輪融資；2019年獲得北京屹唐華創(chuàng)、上海物聯(lián)網(wǎng)的B輪融資；2021年5月，上揚(yáng)軟件完成以國(guó)家大基金、哈勃資本領(lǐng)投的數(shù)億元C輪融資。在資本緊縮的今年，上揚(yáng)軟件依舊獲得了上海半導(dǎo)體裝備材料基金領(lǐng)投，青島中科育成，水木梧桐創(chuàng)投，蘇州安芯同盈跟投的數(shù)億元D輪融資。

第五，內(nèi)心“穩(wěn)”。

企業(yè)文化是企業(yè)的內(nèi)心和靈魂，上揚(yáng)軟件的企業(yè)文化始終秉承誠(chéng)信、善良、勤勞，簡(jiǎn)稱為“誠(chéng)善勤”三字經(jīng)，誠(chéng)信經(jīng)商、善良為人、勤勞肯干，善待客戶、員工、股東、合作伙伴是每個(gè)上揚(yáng)人的行為準(zhǔn)則。

03下一個(gè)十年，未來(lái)追趕點(diǎn)在哪？

隨著國(guó)際環(huán)境日趨復(fù)雜，CIM面臨潛在的制裁風(fēng)險(xiǎn)不得不警惕。12英寸復(fù)雜工藝流程都是通過(guò)CIM來(lái)執(zhí)行的，隨著工藝的不斷升級(jí)，如果國(guó)外直接禁止CIM的使用，那意味著高端芯片將難以制造出來(lái)。如果半導(dǎo)體制造軟件也像EDA軟件那樣被卡，那么國(guó)內(nèi)的全自動(dòng)化的12英寸晶圓廠將難以開(kāi)工。

隨著中美貿(mào)易摩擦加劇，美國(guó)已經(jīng)開(kāi)始對(duì)國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體制造進(jìn)行了限制。CIM系統(tǒng)是負(fù)責(zé)晶圓制造廠生產(chǎn)過(guò)程的全管理，如果未來(lái)卡到軟件層面，那么對(duì)國(guó)內(nèi)制造影響極大。因此，上揚(yáng)希望能夠發(fā)揮底線思維，制造屬于自主可控的CIM軟件。

現(xiàn)在，從4英寸到12英寸的晶圓制造廠，都可以看到上揚(yáng)軟件的身影，4~6英寸產(chǎn)能夠達(dá)到20萬(wàn)片/月，8英寸產(chǎn)能達(dá)到10萬(wàn)片/月，12英寸已經(jīng)突破了研發(fā)線、中試線，產(chǎn)能可達(dá)5000片/月，非晶圓代工廠的12寸量產(chǎn)線，月產(chǎn)能也達(dá)到了15000片。

未來(lái)，上揚(yáng)計(jì)劃持續(xù)研發(fā)12英寸全自動(dòng)晶圓廠量產(chǎn)線智能制造軟件CIM/MES，突破12英寸全自動(dòng)量產(chǎn)線MES的壟斷；并在未來(lái)，實(shí)現(xiàn)泛半導(dǎo)體智能制造的“鐵人三項(xiàng)”，即完成CIM軟三項(xiàng)：MES, EES, Full Auto (Auto1→4)，以及智造硬三項(xiàng)：信息化 (CIM), ?自動(dòng)化 (AMHS+MCS), ?智能化 (Big Data + AI）。

編輯：黃飛

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