約束層次墊的交互式布局環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)和墊+標(biāo)準(zhǔn)
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本文圍繞半導(dǎo)體晶圓研磨工藝，深入剖析聚氨酯研磨墊磨損狀態(tài)與晶圓 TTV 均勻性的退化關(guān)系，探究其退化機(jī)理，并提出相應(yīng)的預(yù)警方法，為保障晶圓研磨質(zhì)量、優(yōu)化研磨工藝提供理論與技術(shù)支持。
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發(fā)表于 05-23 18:32
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