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高精度加速度計(jì)分辨率測(cè)試方法

微電子小智 ? 來(lái)源:網(wǎng)站整理 ? 2020-04-04 12:21 ? 次閱讀
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在傳統(tǒng)的加速度計(jì)分辨率測(cè)試中,均采用機(jī)械結(jié)構(gòu)裝置或改變加速度計(jì)敏感軸與水平面夾角或改變引力塊與加速度計(jì)之間的間距,這都不可避免機(jī)械裝置由于震動(dòng)對(duì)高精度加速度計(jì)分辨率測(cè)量產(chǎn)生的影響。受制于測(cè)試裝置的加工制造極限,這些傳統(tǒng)測(cè)試方法只適用于一般精度的加速度計(jì)分辨率測(cè)試。

若要進(jìn)行分辨率優(yōu)于1×10-6g的分辨率測(cè)試,需要考慮一種全新的測(cè)試方法。

一種高精度加速度計(jì)分辨率測(cè)試方法,其特征在于:包括以下步驟:

⑴.選取兩只高精度加速度計(jì),將兩只加速度計(jì)置于隔震裝置上;

⑵.以差動(dòng)電容法測(cè)試為基礎(chǔ),分別在兩只加速度計(jì)傳感器同一端串同一個(gè)微小電容器,改變傳感器兩端電容平衡時(shí)擺片的位置;

⑶.用一數(shù)字開(kāi)關(guān)控制微小電容器與傳感器一端構(gòu)成的回路的通斷,開(kāi)關(guān)通斷頻率要與控制回路的滯后時(shí)間及工作帶寬相協(xié)調(diào),兩只加速度計(jì)輸出求和,用以消除共模噪聲影響;

⑷.改變微小電容器的電容值,實(shí)現(xiàn)微小加速度的輸入。

而且,步驟⑴所述的兩只高精度加速度計(jì)的標(biāo)度要一致或相近,標(biāo)度相近是指標(biāo)度差異<1×10-3V/g。

而且,步驟⑴所述的隔震裝置為隔震大理石基座。

而且,所述的微小電容器為pF電容器。

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