一、準(zhǔn)備本次測(cè)試的DUT和相應(yīng)的探針與電纜，將相應(yīng)的探針擺放完畢，佩戴相應(yīng)的手套、防靜電手環(huán)等。

二、確認(rèn)打開壓縮空氣、真空、電源等廠務(wù)后，按下白色電源鍵開機(jī)。待主機(jī)啟動(dòng)完畢后預(yù)熱1-2分鐘，按下藍(lán)色的reset按鈕。

三、打開軟件進(jìn)入操作界面。

四、初始化：選擇一種模式做初始化。

五、打開探針臺(tái)屏蔽室的艙門，放wafer：把wafer放在chuck上，然后點(diǎn)擊真空開關(guān)或點(diǎn)“start”按鈕自動(dòng)選擇吸附wafer的尺寸。

六、設(shè)置扎針高度（contact值）: 操縱面板上長(zhǎng)按ENABLE Z-AXIS 然后按Z-up把chuck升到一定高度(做這個(gè)動(dòng)作之前建議把探針調(diào)到最高防止撞針)。然后調(diào)節(jié)camera的Z軸和適應(yīng)自己的顯微鏡倍率把圖像調(diào)節(jié)清晰（如果是電動(dòng)顯微鏡支架，請(qǐng)?jiān)跈C(jī)臺(tái)面板上選擇顯微鏡后再調(diào)節(jié)Z軸高低）。

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