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幾個(gè)激光芯片專利

電子工程師 ? 來(lái)源:芯片工藝技術(shù) ? 作者:芯片工藝技術(shù) ? 2020-10-25 10:38 ? 次閱讀
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1 2020年美國(guó)專利商標(biāo)局發(fā)布了蘋果公司的一項(xiàng)名為“使用量子阱混合技術(shù)的激光架構(gòu)”的專利申請(qǐng)。該專利的發(fā)明人來(lái)自蘋果的工程團(tuán)隊(duì),負(fù)責(zé)為蘋果產(chǎn)品設(shè)計(jì)未來(lái)的專用芯片。目前尚不清楚是否擴(kuò)展到新的Apple Silicon。

該專利是2020年最新的芯片專利,在業(yè)內(nèi)作為方向標(biāo)一樣的存在。

摘取一段background了解一下:

說(shuō):LD是一種廣泛應(yīng)用的技術(shù),比如用于氣體檢測(cè)、環(huán)境檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)診斷、通訊、工業(yè)控制。一些應(yīng)用是得益于LD較寬的Emitting。

該專利的一個(gè)目的就是要在同一片外延上做出能發(fā)射不同波段的激光條。且有一定的連續(xù)性,能覆蓋有效的光波段。

該技術(shù)采用了量子阱混合技術(shù)、芯片創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。

例如下圖,在wafer上設(shè)計(jì)了4條激光帶,通過(guò)摻雜可以使得每個(gè)激光帶,發(fā)射的波長(zhǎng)不同。用到的理論就是半導(dǎo)體的能帶理論。我們知道帶隙的大小直接決定了發(fā)射激光的波長(zhǎng)。

工藝過(guò)程

工藝步驟

1沉積外延成

2 通過(guò)光刻定義摻雜區(qū)域。

3 去掉外延其中的幾層。

4 沉積doped摻雜層

5做熱處理,也就是熱擴(kuò)散

6去掉doped層

7 長(zhǎng)cladding包層在刻蝕區(qū)域

8做電極

大概思想就是這么回事,主要工作在芯片制造,難點(diǎn)在于摻雜工藝,采用何種材料doped,采用什么條件annealing。

第二篇專利:

本發(fā)明屬于激光器技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種高速激光器芯片結(jié)構(gòu),包括:一襯底;一緩沖層;一第一漸變限制層;一腐蝕停止層3;一第一波導(dǎo)層4;一第二限制層5;一第一量子阱壘層6;一量子阱有源層7;一第二量子阱壘層8;一第二波導(dǎo)層9;一光柵層10;一第三漸變限制層11;一歐姆接觸層12;一絕緣介質(zhì)層13;一P型上電極14;一N型下電極15。本發(fā)明重新設(shè)計(jì)腐蝕層的結(jié)構(gòu)位置,與傳統(tǒng)比較,漏電流會(huì)減少,電容也會(huì)相應(yīng)減少,對(duì)整個(gè)高速激光器的光電特性有明顯提高。

這個(gè)專利就重點(diǎn)在于外延層的設(shè)計(jì)了,解決了LD芯片漏電流大的問(wèn)題。

這個(gè)專利在芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上做文章,解決發(fā)散角的問(wèn)題,不過(guò)這個(gè)東西一九六幾年好像都有人申請(qǐng)專利了,因看不到詳細(xì)的內(nèi)容,不知道作者的創(chuàng)新點(diǎn)在哪。

本申請(qǐng)公開了一種襯底、半導(dǎo)體器件及半導(dǎo)體器件的制作方法,涉及半導(dǎo)體的技術(shù)領(lǐng)域。本申請(qǐng)的襯底的材料為InxGa1?xAs,其中0

本發(fā)明提供一種接觸層的制作方法、半導(dǎo)體激光器及其制作方法,接觸層的制作方法為先在所述半導(dǎo)體激光器的外延層上形成非摻雜半導(dǎo)體層,再對(duì)所述非摻雜半導(dǎo)體層進(jìn)行摻雜。采用此制作方法制作的接觸層包括摻雜區(qū)域和非摻雜區(qū)域,非摻雜區(qū)域電流無(wú)法注入,只有摻雜區(qū)域能夠注入電流,并且摻雜區(qū)域內(nèi)能夠注入電流面積沿腔長(zhǎng)方向逐漸增大,以抵消諧振腔內(nèi)的光子密度分布不均導(dǎo)致的載流子密度和增益沿增反膜到減反膜方向不均勻分布的影響,使載流子在腔長(zhǎng)方向均勻分布,提高半導(dǎo)體激光器的輸出功率和性能穩(wěn)定性。半導(dǎo)體激光器的電極直接在接觸層上制作,電極與接觸層之間無(wú)介質(zhì)薄膜,電極與接觸層粘附牢固、不易脫落。

本發(fā)明公開了一種激光二極管及其制造方法,在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的激光二極管包括:襯底,所述襯底具有相對(duì)的第一表面和第二表面;形成在所述襯底的第一表面的外延層,所述外延層在頂部形成有脊;形成在所述脊的上方的第二電極接觸層;形成在所述脊的側(cè)壁及上方的光場(chǎng)包覆層,其折射率為1.3~1.9,所述光場(chǎng)包覆層包括包覆所述脊的側(cè)壁的第一部分及形成在所述脊的上方的第二部分,其中所述光場(chǎng)包覆層的第二部分在所述脊的上表面的面積占比為20%以上。本發(fā)明的激光二極管的光場(chǎng)包覆層進(jìn)一步形成了光場(chǎng)限制,同時(shí)可以保護(hù)脊的側(cè)壁,防止漏電;增大了出光面的絕緣層的面積,降低出光腔面端的增益,平衡了腔體的電流注入和光場(chǎng)的分布。

原文標(biāo)題:幾篇不錯(cuò)的激光芯片專利

文章出處:【微信公眾號(hào):芯片工藝技術(shù)】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

責(zé)任編輯:haq

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原文標(biāo)題:幾篇不錯(cuò)的激光芯片專利

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