慣性開關(guān)是一種利用慣性力來實現(xiàn)開關(guān)功能的傳感器，是將機(jī)械和電子統(tǒng)一結(jié)合的產(chǎn)物。最早的慣性開關(guān)被用來關(guān)閉電動燃油泵，避免燃油泵在發(fā)生碰撞或翻轉(zhuǎn)后繼續(xù)工作。但是，傳統(tǒng)的機(jī)械慣性開關(guān)由于閾值精度比較差，可靠性比較低，在很大程度上限制了慣性開關(guān)的應(yīng)用。 隨著傳感器微型化趨勢的增長，MEMS慣性開關(guān)的研發(fā)受到了更大的重視。MEMS慣性開關(guān)又稱為沖擊傳感器、閾值開關(guān)、加速度開關(guān)，是一種無源電子器件，集傳感器與執(zhí)行器為一體，具有尺寸小、制造成本低、可批量生產(chǎn)等多種優(yōu)點，在汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)和消費電子等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。由于慣性開關(guān)具有在未觸發(fā)狀態(tài)時待機(jī)功耗為零的特點，其在遠(yuǎn)程監(jiān)控等電量有限的應(yīng)用場景下有著明顯的優(yōu)勢。例如，可將MEMS慣性開關(guān)附著到可穿戴的衣物上面，在人摔倒時開關(guān)閉合，可觸發(fā)無線報警系統(tǒng)，以便及時通知醫(yī)院采取救治。 MEMS慣性開關(guān)作為一種“近零功耗”的傳感器件，也可以用來監(jiān)測特殊貨物運(yùn)輸過程中可能發(fā)生的沖擊碰撞。在貨物的運(yùn)輸過程中，一旦環(huán)境受到超過其閾值水平的振動沖擊時，慣性開關(guān)能夠?qū)崿F(xiàn)瞬間機(jī)械閉合，輸出接通脈沖信號，然后無線發(fā)送到信息控制中心，以實現(xiàn)對整個物流過程得實時監(jiān)控。

那么，何為閾值？“閾”的意思是界限，故閾值又叫臨界值，是指一個效應(yīng)能夠產(chǎn)生的最低值或最高值。閾值在自動控制系統(tǒng)中能產(chǎn)生一個校正動作的最小輸入值，刺激引起應(yīng)激組織反應(yīng)的最低值。由此可見，對慣性開關(guān)閾值的準(zhǔn)確測定，對于MEMS慣性開關(guān)的靈敏度和穩(wěn)定性有非常大影響。

對于靜態(tài)閾值，智芯傳感提出了兩種不同的試驗方法：

（1）

（2）

在“慣性沖擊開關(guān)閾值的試驗方法”中，智芯傳感不僅對靜態(tài)閾值的測量試驗方法給出了解決方案，還對動態(tài)閾值也給出了試驗步驟和方法，由于篇幅所限，不再做詳細(xì)介紹。如有需要，請參見www.iec.ch/members_experts/refdocs 近年來，智芯傳感在MEMS傳感器理論與實踐方面建樹頗豐，不僅在擅長的壓力傳感器細(xì)分領(lǐng)域有深入的研究與創(chuàng)新，而且在其他相關(guān)領(lǐng)域亦有所突破，已成為國內(nèi)MEMS傳感器的佼佼者之一。

審核編輯 黃昊宇