來源：佳能集團

通過技術與數(shù)據(jù)優(yōu)勢，提升光刻機的生產效率

佳能將于2022年9月5日起發(fā)售解決方案平臺“Lithography Plus１”服務（以下簡稱“Lithography Plus”），該系統(tǒng)匯聚佳能在半導體制造領域超過50年的技術積淀，以包括曝光工藝在內的海量半導體制造數(shù)據(jù)為支持，在提升設備維護運轉率的同時，能夠實現(xiàn)半導體制造工藝的優(yōu)化。

佳能陸續(xù)推出了具有高處理性能的KrF光刻機和支持多種設備的i線光刻機等一系列產品，多年來一直積極地為購置佳能光刻機的客戶提供技術支持?！癓ithography Plus”通過綜合運用技術經驗與數(shù)據(jù)積累，在實現(xiàn)高效維護作業(yè)的同時，提高了光刻機運轉率，助力生產效率的提升。

1.為半導體光刻機帶來更高效的運營支持

該系統(tǒng)具有光刻機狀態(tài)分析、定期維護結果分析和光刻機停止原因分析多種功能。根據(jù)這些數(shù)據(jù)，光刻機操作員可以更輕松地制定部件更換與維護方案，做好光刻機的曝光質量控制。此外，該系統(tǒng)的“控制面板（Dash Board）”功能可實現(xiàn)工廠內多個光刻機數(shù)據(jù)可視化，進一步提高了操作員維護業(yè)務的效率。

2.搭載能夠有效提升半導體光刻機運轉率的功能

通過“異常檢測”功能，可監(jiān)視光刻機的工作狀態(tài)，檢測發(fā)生的異常及征兆，防止光刻機停止工作。此外，“自動恢復”功能也有助于故障修復作業(yè)。作業(yè)無法自動恢復時，可以通過分析設備狀態(tài)，提供故障修復手冊，詳細介紹修復方法，來確保故障的順利修復。此外，佳能的專家工程師可以通過遠程客服系統(tǒng)，遠程共享和了解設備狀態(tài)，詳細解答操作員提出的問題。

3. 工法（Recipe）2優(yōu)化功能助力實現(xiàn)高成品率

該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能匯集了佳能迄今為止積累的光刻機優(yōu)化案例，并對相關工法（Recipe）進行了優(yōu)化。通過精細對準和線寬控制設置，可提供自動優(yōu)化后的工法（Recipe），從新型半導體工藝投入初期開始，為實現(xiàn)高成品率3提供支持。此外，該系統(tǒng)還具備與APC4等工藝設備的接口，可與生產管理系統(tǒng)聯(lián)動運行。

1.產品詳細信息請參閱佳能官網(wǎng)

2.針對不同設備和制造流程的產品制造要求

3.產品合格率

4.Advanced Process Control : 按批次指示最佳處理條件的機構。具有反映上一次加工結果和顯示上一道工藝結果預測值等的功能

〈新產品特征〉

1.為半導體光刻機帶來更高效的運營支持

l “質量把控（Quality Control）”功能可通過分析光刻機的狀態(tài)，進行設備質量管理。用戶可以利用該功能實時掌握質量下降的征兆和對準精度，提前對性能進行維護。

l “數(shù)據(jù)趨勢監(jiān)測（Data Trend Monitor）”功能可實現(xiàn)設備傳感器數(shù)據(jù)和測量數(shù)值的可視化，進行經時變化、產品設備依賴性及設備事件相關調查。用戶可以利用該功能輕松地判斷是否做出響應，確定響應方法和時間等。

l “故障履歷”功能可以顯示設備停止原因排名，通過該功能可實時掌握需要處理的事項。

l 數(shù)據(jù)可視化“控制面板（Dash Board）”功能可在一個界面上顯示維護作業(yè)所需的數(shù)據(jù)，也可以根據(jù)用戶的角色和用途進行定制。

Dash Board示意圖

2.搭載能夠有效提升半導體光刻機運轉率的功能

l “異常檢測”功能，可根據(jù)從半導體光刻機內各種傳感器獲得的信息，監(jiān)視光刻機狀況，捕捉異常征兆，提前采取措施，防止設備停止工作。用戶可根據(jù)檢測結果采取必要的措施。

l 自動恢復功能可在設備停止工作的狀態(tài)下，判斷是否可以恢復，如果可以恢復，設備會自動恢復運轉。例如，發(fā)生地震等災害時，可使暫停工作的設備恢復到原來的工作狀態(tài)。

l 如果需要人工修復支持，該系統(tǒng)會根據(jù)設備停止狀態(tài)顯示有效的修復步驟實施手冊，為順利修復提供支持。

部件定位手冊

l 佳能的專家工程師能夠實時遠程檢查設備狀態(tài)，并提供遠程客戶服務。該系統(tǒng)搭載了從故障預防到故障發(fā)生后的處理等不同情形下的修復支持功能，以確保高水準的設備運轉率。

3.加入工法（Recipe）優(yōu)化功能，助力實現(xiàn)高成品率

l 通過對應用于不同產品器件、不同工藝的產品制造工法（Recipe）進行自動優(yōu)化，能有助于縮短從產品啟動制造到穩(wěn)定量產的周轉時間（TAT5）。該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能，可通過精細對準和線寬控制設置，自動提供相關優(yōu)化工法（Recipe），從新型半導體制造投入初期開始，為實現(xiàn)高成品率提供支持。未來，佳能將繼續(xù)提供技術支持服務，以幫助客戶解決各種問題。

5. 周轉時間。指從試制產品投入到穩(wěn)定量產所需的時間。

l 具備與APC（Advanced Process Control）等工藝設備的接口，可與生產管理系統(tǒng)聯(lián)動運行。

〈關于規(guī)格〉

產品規(guī)格詳情，請參閱佳能官網(wǎng)的相關內容。

〈關于佳能半導體光刻機〉

l 佳能產品矩陣，請參閱佳能官網(wǎng)產品主頁

l 機構與技術：半導體光刻機

<佳能光學設備（上海）有限公司介紹

佳能光學設備（上海）有限公司是佳能在中國大陸地區(qū)成立的提供半導體及液晶面板生產設備營業(yè)輔助業(yè)務和技術支持業(yè)務的公司。所經營的產品除了佳能股份有限公司制造的半導體及液晶面板生產用曝光裝置以外，還包括佳能機械公司，佳能安內華公司以及佳能特機公司承接的全部半導體及液晶面板生產設備。

佳能在中國大陸地區(qū)從事半導體及液晶面板生產設備業(yè)務的歷史可以追溯到20世紀80年代，當時開始向中國出口半導體曝光裝置（接近式曝光裝置、鏡面投影式曝光裝置）。20世紀90年代又為上海地區(qū)的半導體客戶企業(yè)提供了i線Stepper、等離子除膠設備、常壓成膜設備等各類佳能集團制造的半導體設備。進入21世紀，隨著中國半導體前道工藝的迅速發(fā)展，佳能進一步將KrF Scanner等高端的半導體曝光裝置引進到國內。當時，佳能與三井物產集團建立了合作伙伴關系，進一步擴大了在中國的產品銷售范圍，在中國的液晶面板生產設備市場也得到了順利的拓展，其中佳能的液晶面板曝光裝置從中國液晶產業(yè)初期開始始終保持著極高的市場占有率。

如今，在半導體、液晶面板以及有機EL板等高科技制造業(yè)領域，佳能正在加快向亞洲生產基地、尤其是向中國市場的投資轉移。今后佳能光學設備（上海）有限公司將作為佳能集團與顧客之間的橋梁，進一步加強對客戶企業(yè)的支持力度，力爭以此實現(xiàn)提高顧客滿意度、擴大事業(yè)規(guī)模的目標。

佳能集團介紹

佳能自1937年開始創(chuàng)業(yè)。秉承“共生”的企業(yè)理念，佳能以創(chuàng)造世界一流產品為奮斗目標，不斷向多元化和全球化發(fā)展。目前，佳能的事業(yè)以光學技術為核心，涵蓋了辦公產品、影像系統(tǒng)產品、醫(yī)療系統(tǒng)產品以及產業(yè)設備及其他產品等廣泛領域。位于東京的集團總部與美洲、歐洲、亞洲、大洋洲以及日本的各區(qū)域總部緊密聯(lián)系，構筑了全球化與本土化有機結合的經營體制。1996年，佳能啟動了旨在實現(xiàn)以技術服務社會，成為全球范圍內被信賴、受尊敬的企業(yè)為目標的“全球優(yōu)良企業(yè)集團構想”。（數(shù)據(jù)截止至2022年3月）

佳能（中國）有限公司介紹

佳能的中國事業(yè)始于上個世紀70年代。從最初的技術合作到獨資建廠再到成立銷售公司，經歷了多種經營模式的探索。1997年3月，佳能（中國）有限公司成立，全面負責佳能在中國市場銷售的各項工作。經過多年努力，已基本建成包括華北、華東、華南三大區(qū)域總部在內的13個分支機構以及展廳、快修中心、快捷服務站等，形成了覆蓋全國的銷售和服務網(wǎng)絡。目前業(yè)務范圍涉及影像系統(tǒng)產品、辦公產品、產業(yè)設備以及智能IT解決方案等多個領域，并在不斷拓展符合中國消費者需求的新業(yè)務。佳能（中國）深深植根于中國市場，致力于成為一家被中國人民所信賴、尊敬的企業(yè)。（數(shù)據(jù)截止至2022年3月）

審核編輯 黃昊宇