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如何利用紫外激光加工技術(shù)制造可拉伸的多傳感器陣列

MEMS ? 來(lái)源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2022-11-28 10:43 ? 次閱讀
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近年來(lái),軟體機(jī)器人領(lǐng)域取得了巨大的進(jìn)展。尤其是軟體機(jī)器人手已被證明可以抓取甚至操縱形狀復(fù)雜、易碎或易變形的物體,解決了傳統(tǒng)的剛性機(jī)器人長(zhǎng)期面臨的挑戰(zhàn)?;谶@些功能,軟體機(jī)器人已成為工業(yè)、人機(jī)交互和醫(yī)療應(yīng)用的理想解決方案。然而,由于缺乏合適的傳感系統(tǒng),它們的性能受到一定阻礙。因此,開(kāi)發(fā)用于軟體機(jī)器人手的傳感器仍然是關(guān)鍵一環(huán)。

用于軟體機(jī)器人手的傳感器網(wǎng)絡(luò)需要具備可拉伸性和柔性,能夠貼合柔軟表面并隨其移動(dòng),并且傳感器信號(hào)不受應(yīng)變影響。雖然柔性傳感器網(wǎng)絡(luò)研究近期已取得一定進(jìn)展,但在制造成本、復(fù)雜性、定制化需求以及傳感器集成等方面,仍存在較大挑戰(zhàn)。此外,為了避免污染,食品處理和人機(jī)交互等應(yīng)用還對(duì)傳感器提出了易于更換(最好是一次性)的要求。

據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,近期,斯坦福大學(xué)(Stanford University)、國(guó)立首爾大學(xué)(Seoul National University)的研究人員提出一種柔性、可拉伸的多模態(tài)傳感器網(wǎng)絡(luò),可與軟體機(jī)器人手集成。該傳感器網(wǎng)絡(luò)制造和集成復(fù)雜性較低,成本接近于一次性用品,并且易于更換。該項(xiàng)工作中,研究人員展示了如何利用紫外激光加工技術(shù)來(lái)制造可拉伸的多傳感器陣列,從而解決軟體機(jī)器人和假肢應(yīng)用等問(wèn)題。相關(guān)研究成果已發(fā)表于npj Flexible Electronics期刊。

研究人員使用金屬化塑料薄膜,通過(guò)紫外激光進(jìn)行圖案繪制和切割加工,實(shí)現(xiàn)低成本制備可拉伸的傳感器網(wǎng)絡(luò)?;谠撛O(shè)計(jì)加工策略,3分鐘內(nèi)可以在50 × 50 mm的傳感器網(wǎng)絡(luò)上制造多個(gè)傳感器和線束,金屬化塑料薄膜的成本僅為0.005美元。通過(guò)改變光束參數(shù)(功率、頻率、占空比、速度),可以在柔性導(dǎo)電薄膜的每個(gè)金屬和塑料層上繪制不同的特征。通過(guò)拉伸切割圖案,可以將其包裹在各種形狀的商用軟體機(jī)器人表面上,輕松實(shí)現(xiàn)集成。通過(guò)修改模式尺寸,可以針對(duì)具有不同動(dòng)態(tài)范圍、空間分辨率和傳感元件的不同應(yīng)用進(jìn)行縮放和定制。

基于此,研究人員制備了機(jī)器人皮膚,它由可拉伸Kirigami線跡連接的傳感器組成,嵌入在透明、柔軟且可拉伸的硅膠表皮中,然后被拉伸包裹在柔軟的機(jī)器人手指上,當(dāng)手指彎曲和伸展時(shí)都不會(huì)出現(xiàn)褶皺。該項(xiàng)研究中展示的傳感器網(wǎng)絡(luò)由4個(gè)溫度傳感器、4個(gè)接近感器組成,通過(guò)互連提供8個(gè)信號(hào)和2根接地線連接到機(jī)器人手指背部。

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集成激光加工的Kirigami傳感器網(wǎng)絡(luò)的軟體機(jī)器人手

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傳感器網(wǎng)絡(luò)的制造和表征

通過(guò)將傳感器網(wǎng)絡(luò)包裹在軟體機(jī)器人手上,研究人員展示了其用于食物處理和醫(yī)療應(yīng)用的可行性。接近傳感器用于在不接觸物體的情況下檢測(cè)正在靠近的物體,從而避免物體磨損或損壞。在食物處理實(shí)驗(yàn)中,當(dāng)接近感應(yīng)顯示軟夾持器接觸時(shí),它會(huì)停止抓取并保持在當(dāng)前位置,同時(shí)溫度傳感器開(kāi)始測(cè)量溫度。此外,接近和溫度傳感的結(jié)合對(duì)于軟體機(jī)器人與人類(lèi)交互時(shí)非常有用,它能夠使機(jī)器人對(duì)人進(jìn)行溫和接觸,并能區(qū)分生命體的和非生命體表面,甚至可以檢查體溫是否升高。

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使用接近和溫度傳感的食品處理演示

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軟體機(jī)器人的人機(jī)交互演示

研究人員稱(chēng),未來(lái)計(jì)劃在傳感器網(wǎng)絡(luò)中集成更多其他類(lèi)型的傳感器,例如,原位制造的應(yīng)變傳感器用于本體感知,采用微結(jié)構(gòu)電介質(zhì)的邊緣場(chǎng)傳感器用于實(shí)現(xiàn)接近和壓力組合傳感。此外,為薄膜添加X(jué)Y載物臺(tái)或進(jìn)紙輥,將允許激光繪制并切割更大的區(qū)域。例如,一個(gè)由10 × 20個(gè)傳感器和線束組成的陣列,在未展開(kāi)狀態(tài)下為155 × 200 mm,展開(kāi)后可以擴(kuò)展覆蓋到一個(gè)520 × 1640 mm的軟體機(jī)器人手臂表面。相關(guān)研究將推動(dòng)軟體機(jī)器人在更多場(chǎng)景發(fā)揮重要作用。

審核編輯:郭婷

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原文標(biāo)題:紫外激光加工的可拉伸多模態(tài)傳感器網(wǎng)絡(luò),用于軟體機(jī)器人交互控制

文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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