巨量轉(zhuǎn)移關(guān)鍵設(shè)備的國產(chǎn)化被重新“”定義”！

高性能的Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備，單機價格昂貴，技術(shù)含量超高，往往是Micro LED下游廠商眾多設(shè)備里最為“金貴”的那一臺。

作為近三年來，發(fā)展最為迅猛的顯示技術(shù)之一，制約Micro LED發(fā)展最為關(guān)鍵的巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備一直以來普遍依賴進口。

此前，國內(nèi)Micro LED應(yīng)用龍頭廠商利亞德就曾透露，目前公司巨轉(zhuǎn)設(shè)備均采自國外。

現(xiàn)在，這種情況正在開始得到改變。

2022年8月以來，已經(jīng)有多家國內(nèi)激光設(shè)備廠商透露其Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備順利出貨，交付客戶。

“巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)是Micro LED產(chǎn)業(yè)化必須解決的問題，也是降低成本的關(guān)鍵?！庇袠I(yè)界資深人士告訴高工LED，巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備國產(chǎn)化能夠大大加速Micro LED應(yīng)用的落地和成本的降低，為打開更多應(yīng)用場景奠定了基礎(chǔ)。

因此，任何有望實現(xiàn)巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備國產(chǎn)化的企業(yè)都會成為學(xué)術(shù)界、業(yè)界和資本方關(guān)注的焦點。

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巨量轉(zhuǎn)移“攔路虎”

一直以來，巨量轉(zhuǎn)移和紅光效率低下是制約Micro LED發(fā)展的兩大關(guān)鍵“攔路虎”。

其中巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)和設(shè)備難題尤為凸顯。

兆馳光元顯示事業(yè)部總經(jīng)理劉傳標就曾表示，“巨量轉(zhuǎn)移及相關(guān)的芯片一致性、良率、返修......”等因素，是影響Micro LED研發(fā)和量產(chǎn)進程的主要原因。

巨量轉(zhuǎn)移的難點在于，如何提升轉(zhuǎn)移良率到99.9999%(俗稱的”六個九”)，且每顆芯片的精準度必須控制在正負0.5μm以內(nèi)。

此外，現(xiàn)在針對Micro LED生態(tài)體系的設(shè)備和關(guān)鍵材料少的可憐，這需要產(chǎn)業(yè)鏈廠商對現(xiàn)有產(chǎn)品做出持續(xù)優(yōu)化或推陳出新，發(fā)現(xiàn)Micro LED生態(tài)特性，定制專屬設(shè)備和材料。起碼要在大規(guī)模商用之前，能夠補足符合Micro LED需要的產(chǎn)業(yè)鏈配套缺失。

高工LED在近兩年的巡回調(diào)研中了解到，目前產(chǎn)業(yè)鏈的包括設(shè)備等關(guān)鍵配套缺失已經(jīng)成為廠商們發(fā)展Micro LED最為擔(dān)憂的心腹大患。

“從芯片到最終的顯示產(chǎn)品，Micro LED量產(chǎn)過程中面臨著諸多的困難和挑戰(zhàn)?！崩麃喌录瘓F透明顯示事業(yè)部總經(jīng)理、利亞德智慧顯示總經(jīng)理汪生和此前表示，在這其中最主要的就牽扯到巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)、驅(qū)動IC技術(shù)和產(chǎn)品集成（即成品良率）。

因此，盡管Micro LED顯示在亮度、分辨率、對比度上均顯著優(yōu)于 OLED 和LCD。被業(yè)界譽為“終極”顯示技術(shù)。但數(shù)以百萬計的Micro LED芯片尺寸小至幾微米，使用傳統(tǒng)的機械抓手和真空噴嘴的抓取和放置技術(shù)來操控微器件變得越來越困難。

目前全球各地的技術(shù)團隊各顯神通，提出了眾多的解決方案，目前業(yè)界研發(fā)的方向主要有靜電力與磁力吸附、流體裝配與定位、激光轉(zhuǎn)移（Laser Release）、自組裝技術(shù)（Self Assembly）、轉(zhuǎn)印技術(shù)（Roll Printing）等。

在靜電吸附、流體自組裝、彈性印模等多種巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)路線中，激光巨量轉(zhuǎn)移響應(yīng)快速，轉(zhuǎn)移效率極高，同時具有高度可選擇性。高工產(chǎn)研LED研究所（GGII）認為，預(yù)計未來激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)將成為 LED 芯片巨量轉(zhuǎn)移的主流技術(shù)。

國內(nèi)的多家激光設(shè)備龍頭大廠近幾年來也紛紛投入重金意圖攻克激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)難題。

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國產(chǎn)化“曙光”初現(xiàn)

“從小間到微間的躍遷，是個障礙賽。Mini/Micro LED在技術(shù)、工藝、設(shè)備等方面尚不完善，也說明空間很大，在一定程度上國產(chǎn)和國外已經(jīng)保持著同步，甚至國產(chǎn)應(yīng)用更加超前?！备吖ED董事長張小飛博士認為，Mini/Micro LED的應(yīng)用大趨勢已經(jīng)不可阻擋。

這種熱度也已經(jīng)傳導(dǎo)至整個產(chǎn)業(yè)鏈。要滿足市場的高增長，Micro LED企業(yè)需要快速建立產(chǎn)線并實現(xiàn)產(chǎn)能爬坡，同時進一步提升產(chǎn)品良率并降低成本。

要實現(xiàn)上述目標，Micro LED設(shè)備的性能提升和供應(yīng)擴張就顯得尤為重要。

“Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備系公司自主研發(fā)，現(xiàn)已實現(xiàn)銷售?！贝笞寮す獯饲霸诨悠脚_表示，公司各業(yè)務(wù)板塊情況良好，將努力提升經(jīng)營管理水平和盈利能力。

先導(dǎo)智能和海目星激光也都在其官微宣布自主研發(fā)的Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備順利出貨。

2022年8月15日，先導(dǎo)智能表示，公司自主研發(fā)的Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備順利出貨，進入工藝驗證階段，成為國內(nèi)僅有幾臺實現(xiàn)巨量轉(zhuǎn)移的先進設(shè)備之一。

據(jù)高工LED了解，先導(dǎo)激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備在轉(zhuǎn)移良率、可靠性等諸多方面具有獨到優(yōu)勢。據(jù)驗證，該設(shè)備巨量轉(zhuǎn)移良率可達99.99%，轉(zhuǎn)移精度達到±1um以內(nèi)。設(shè)備本身基于先導(dǎo)家族式語言設(shè)計，結(jié)構(gòu)合理，操作性強，結(jié)合模塊化設(shè)計，能夠替換不同結(jié)構(gòu)以實現(xiàn)各項功能升級，并且采用先進的光學(xué)技術(shù)完成晶粒的全自動化轉(zhuǎn)移作業(yè)，提升轉(zhuǎn)移效率。應(yīng)對不同產(chǎn)品，先導(dǎo)激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備可同時兼容2寸、4寸、6寸晶圓及多種承接/驅(qū)動基板。

2022年9月26日，海目星激光也宣布海目星首批Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備順利出貨，交予客戶。

這意味著海目星已成功掌握Micro LED巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)，在新型顯示領(lǐng)域取得重要突破。

據(jù)介紹，海目星自2020年起開始對激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)進行布局，從而探索如何逐步解決轉(zhuǎn)移芯片數(shù)量巨大、轉(zhuǎn)移工藝良率和精度要求嚴苛、容錯率過低等問題。

海目星MicroLED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備不僅能達到≤ 50μm Micro LED應(yīng)用要求，同時還具備準分子光源和投影系統(tǒng)、高精度自動對位和全段設(shè)備兼容設(shè)計等特點。

海目星方面表示，海目星巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備已擁有在有效控制成本的前提下規(guī)?；a(chǎn)的可行性，未來將逐步布局設(shè)備量產(chǎn)。

GGII報告顯示，2022年，設(shè)備是Mini/Micro LED產(chǎn)業(yè)鏈增長最為快速的環(huán)節(jié)，封裝、應(yīng)用端對設(shè)備的規(guī)?；枨髮⒌靡钥焖籴尫拧?/p>

審核編輯 ：李倩